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マイクロマシン展（現在のマイクロマシン/MEMS展）は、当初マイクロマシン技術の国内での認知度を上げるため、およびプロジェクトの成果を公表、宣伝するために平成２年(1990 年)からスタートし、以降毎年、(財)マイクロマシンセンターの主催で開催されてきた。平成18 年は第17 回目になるが年々活況を呈している。
入場者数は平成16 年にはやや減少したが、以降再び多くなっている。特に平成18 年の入場者は前年比の約30％増であった。展示企業・団体数は一貫して増加している。また、出展企業に製品の分野を設定しているが、その出展分野も確実に増加している。製品の分野は平成14
年には８分野であったが、平成15 年以降はナノテクノロジーを分割し10 分野となり、平成18 年には微小化学分析システム(μＴＡＳ）分野ができ11
分野となった。
分野の内訳で、マイクロメカトロニクス関連システムが平成17 年にＭＥＭＳ(微小電気機械システム)に、精密加工・製造装置、材料分野がＭＥＭＳ製造装置・設計ツールと発展的に変化し、ＭＥＭＳとしての拡大、進展がうかがえる。
平成18 年にはその出展企業にアンケート及びヒアリング調査を行いその実態を把握し
た。すなわち製品を出展している企業約230 社にアンケートを出し、その約40％にあたる85 社より回答が得られた。
回答企業から140製品以上の照会があり、その内製品の要素技術がプロジェクト開発技術よりある程度啓発されたか影響を受けたと推定される製品が約1/3 あり、僅かでも触発された可能性のある製品は約４割で、多少なりともプロジェクト技術の波及効果と想定される製品は全体の７割以上になっている。これらの企業はプロジェクトに参加していない中小企業がほとんどであることから、プロジェクト成果が技術者、研究者に広く普及しており、プロジェクトのアウトカムとして評価できる。
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| （マイクロマシン技術に係るアウトカム調査報告書（2007年3月、NEDO調査）より） |
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