| 1）管内自走環境認識用試作ｼｽﾃﾑ |
| 研究開発項目 |
主要開発アウトプット |
管内自走環境認識試作ｼｽﾃﾑの研究
(ﾃﾞﾝｿｰ) |
● 移動ﾃﾞﾊﾞｲｽ､ｴﾈﾙｷﾞｰ供給ﾃﾞﾊﾞｲｽ､駆動回路を組み込んだ14mmφの移動ﾏｼﾝ
● 画像送信ｼｽﾃﾑ制御回路と45mW 通信ﾁｯﾌﾟ
● 光電変換ﾃﾞﾊﾞｲｽ一体型ﾏｲｸﾛ波ｱﾝﾃﾅ・移動ﾃﾞﾊﾞｲｽ､ｴﾈﾙｷﾞｰ供給ﾃﾞﾊﾞｲｽ､駆動回路を組み込んだ14mmφの移動ﾏｼﾝ
● 画像送信ｼｽﾃﾑ制御回路と45mW 通信ﾁｯﾌﾟ
● 光電変換ﾃﾞﾊﾞｲｽ一体型ﾏｲｸﾛ波ｱﾝﾃﾅ |
光ｴﾈﾙｷﾞｰ伝送ｼｽﾃﾑ化研究
(三洋電機) |
● ﾚｰｻﾞ光2 積層光電変換素子､出力1.8 倍対白色光
● ﾚｰｻﾞCVD 法立体的微細配線形成技術(10μm/s)
● 干渉抑制多重波長伝送技術(高強度ﾚｰｻﾞ光+通信用光)
● 光電変換ﾃﾞﾊﾞｲｽ温度上昇解析 |
ﾏｲｸﾛ視覚ｼｽﾃﾑ化研究
(東芝) |
● CCD 撮像素子､画素密度40K/mm2(当初目標の3 倍)
● CCD 制御回路高密度実装技術､10mmφ 筐体収納可
● 多段化低電力静電ｱｸﾁｭｴｰﾀによる広域観察
● 2-3mmφ 反射屈折光学系鏡筒､分解能20μm |
移動ﾃﾞﾊﾞｲｽｼｽﾃﾑ化研究
(ﾃﾞﾝｿｰ) |
● 管内駆動ｼﾐｭﾚｰｼｮﾝ､駆動電圧±15V ､負荷5g で､垂直移動13mm/sec を実現
● 8mmφ ｱｸﾁｭｴｰﾀ構造開発 |
ﾏｲｸﾛ波ｴﾈﾙｷﾞｰ供給・通信ｼｽﾃﾑ化研究
(ﾃﾞﾝｿｰ) |
● 24GHz 周波数領域ｴﾈﾙｷﾞｰ供給下通信ｼｽﾃﾑ
● 円形ﾊﾟｯﾁｱﾝﾃﾅ開発､大幅長さ短縮
● ﾄﾗﾝｽﾎﾟﾝﾀﾞｰ方式管内ﾏｲｸﾛ波通信実現
● 2 重ﾊﾟｯﾁｱﾝﾃﾅと整流・変調回路実装技術 |
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| 2) 細管群外部検査用試作ｼｽﾃﾑ |
| 研究開発項目 |
主要開発アウトプット |
細管群外部検査用試作ｼｽﾃﾑの研究
(三菱電機) |
● 1.6mmφ×長さ2mm 駆動ﾃﾞﾊﾞｲｽ､外形5mm×5mm×1.5mm 減速・走行ﾃﾞﾊﾞｲｽ､
● 体格5mm×9mm×6.5mm､重量0.42g 単体ﾏｼﾝ(自重の2 倍以上押し､曲線走行可能)
● ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ量産技術
● 各種ﾃﾞﾊﾞｲｽの熱特性考慮設計法開発
● ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ言語使用ｼﾐｭﾚｰﾀ開発 |
駆動ﾃﾞﾊﾞｲｽのｼｽﾃﾑ化研究
(三菱電機) |
● 1.6mmφ×長さ2mm ﾓｰﾀ使用駆動ﾃﾞﾊﾞｲｽ
● 垂直磁気異方性80μm 厚円筒形Nd-Fe-B 薄膜磁石
● SiO2 絶縁膜多層化高性能高占積率ｺｲﾙ |
減速・走行ﾃﾞﾊﾞｲｽのｼｽﾃﾑ化研究
(松下技研) |
● 寸法5mm×3.5mm×1.5mm､重さ0.14g､減速比1/200
走行ﾃﾞﾊﾞｲｽ実現(不思議遊星歯車機構採用)
● 減速・走行ﾃﾞﾊﾞｲｽの性能評価手法と減速方式の基本設計法の
確立
● ﾏｲｸﾛ領域高精度加工技術(最小歯車､直径0.47mm､厚さ0.25mm
可能)
● ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ高精度ｱｯｾﾝﾌﾞﾘ技術 |
ﾏｲｸﾛｺﾈｸﾀのｼｽﾃﾑ化研究
(住友電気工業) |
● 製作精度0.5μm 以下の犠牲層X 線ﾘｿﾞｸﾞﾗﾌ技術
● 直径2.5mm､厚さ2mm 自動脱着・自己保持型ｺﾈｸﾀ実現 (電流
150mA/端子)
● 3 台の単体ﾏｼﾝ連結による自動脱着､通電達成 |
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| 3) 機器内部作業用試作ｼｽﾃﾑ |
| 研究開発項目 |
主要開発アウトプット |
機器内部作業用試作ｼｽﾃﾑの研究
(ｵﾘﾝﾊﾟｽ) |
● 多機能集積化薄膜技術応用ﾃﾞﾊﾞｲｽの3 次元折畳み実装技術の開発
● 顕微鏡下微細操作用高精度間ﾏﾆｭﾋﾟﾚｰﾀ開発
● ﾚｰｻﾞ溶接ﾃﾞﾊﾞｲｽ搭載双腕補修用ﾏﾆｭﾋﾟﾚｰﾀ製作(作動範囲
18mm×16.8mm､長さ100mm 補修可)
● 2 倍長焦点深度組立て用光学顕微鏡実現 |
多自由度湾曲管状ﾕﾆｯﾄのｼｽﾃﾑ化研究
(ｵﾘﾝﾊﾟｽ) |
● 外径8mmφ､3 湾曲部付き空気圧ｱｸﾁｭｴｰﾀ
● 上記ｱｸﾁｭｴｰﾀに観察機能､姿勢検出ﾃﾞﾊﾞｲｽ､ﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞﾃﾞﾊﾞｲｽ､溶接ﾃﾞﾊﾞｲｽ搭載可能性確認｡ |
補修用ﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀのｼｽﾃﾑ化研究
(ｵﾘﾝﾊﾟｽ) |
● ﾋｰﾀ､歪ｾﾝｻ､温度ｾﾝｻ内臓双腕補修用ﾏﾆｭﾋﾟﾚｰﾀ試作(位置決め精度±0.25mm)
● 冷却機構付き外径3mmφ､長さ10mm ﾚｰｻﾞ溶接ﾃﾞﾊﾞｲｽ試作､溶接作動性確認｡
● ﾚｰｻﾞ溶接ﾃﾞﾊﾞｲｽ搭載補修用ﾏﾆｭﾋﾟﾚｰﾀ長さ10mm の微小傷補修作業可能) |
姿勢検出ﾃﾞﾊﾞｲｽのｼｽﾃﾑ化研究
(村田製作所) |
● 機器作業ｼｽﾃﾑに搭載可能ﾏｲｸﾛｼﾞｬｲﾛ実現(寸法4×3.5×1mm､角速度分解能0.3 度/秒)
● 共振型ﾏｲｸﾛｼﾞｬｲﾛ試作(角速度分解能0.1 度/秒) |
ﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞﾃﾞﾊﾞｲｽのｼｽﾃﾑ化研究
(ｵﾑﾛﾝ) |
● ｽｷｬﾅ用高性能PZT 圧電薄膜素子製作技術
● 発光素子､微小光学素子､ﾏｲｸﾛ光ｽｷｬﾅ､受光素子を基板に積層集積化ﾃﾞﾊﾞｲｽ実現｡
● 光走査式高精度物体計測技術の確立 |
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| 4) ﾏｲｸﾛ加工・組立用試作ｼｽﾃﾑ |
| 研究開発項目 |
主要開発アウトプット |
ﾏｲｸﾛ加工・組立試作ｼｽﾃﾑの研究
(ｾｲｺｰｲﾝｽﾂﾙﾒﾝﾂ) |
● ﾃﾞｽｸﾄｯﾌﾟｻｲｽﾞのﾏｲｸﾛﾌｧｸﾄﾘｼｽﾃﾑ開発(加工､組立､搬送､検査の工程に対応)
● ﾏｲｸﾛ電解加工における高精度距離制御技術
● ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾌﾟﾛｰﾌﾞ2 段ｴｯﾁﾝｸﾞ技術(深さ100μm 達成)
● ﾏｲｸﾛ光加工における0.1μm の加工分解能の達成 |
ﾏｲｸﾛ加工・組立技術の研究
(ﾌｧﾅｯｸ) |
● 超音波ﾓｰﾀ両面駆動化達成(ﾄﾙｸ性能1.5 倍)
● 超音波ﾓｰﾀの多層化成功(ﾄﾙｸ倍増)
● 超音波ｻｰﾎﾞﾓｰﾀによる高分解能位置決め(ｱｰﾑ長75mm 半径円周上､1.2μm 以内可能)
● 超精密加工により直径10mm の円周上に215 のV 溝回折格子の加工成功｡ |
ﾏｲｸﾛ液体操作技術の研究
(日立製作所) |
● 低表面ｴﾈﾙｷﾞｰ化処理ﾌﾟﾛｾｽ開発(撥水性皮膜処理､水接触角171度達成)
● 耐食性PPS 樹脂製ﾄﾛｺｲﾄﾞﾎﾟﾝﾌﾟ(外寸20×20×30mm)で圧力差
10kPa､流量34m ﾘｯﾄﾙ/分を達成｡
● 超小型部品把持ﾃﾞﾊﾞｲｽ開発(把持力60μN)
● 超小型電磁ﾁｬｯｸ(外寸3×3×1mm)試作0.52μN |
ﾏｲｸﾛ光駆動技術の研究
(ｱｲｼﾝ・ｺｽﾓｽ研究所) |
● 光駆動ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑﾏｲｸﾛﾎﾟﾝﾌﾟ開発(数μ ﾘｯﾄﾙ/分の微量送液可能)
● 寸法3.5×1.5×14mm のﾀﾞｲｱﾌﾗﾑﾎﾟﾝﾌﾟ実現(ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑ変位15μm､3n ﾘｯﾄﾙ/分実現)
● ﾏｲｸﾛﾌｧｸﾄﾘｼｽﾃﾑ用塗布ﾃﾞﾊﾞｲｽ製作 |
ﾏｲｸﾛ電気駆動技術の研究
(安川電機) |
● 位置・速度制御可能ﾏｲｸﾛｻｰﾎﾞｱｸﾁｭｴｰﾀ実現(5mmφ､ｻｰﾎﾞ性能20000rpm/20ms)
● 開発ﾏｲｸﾛｻｰﾎﾞｱｸﾁｭｴｰﾀによる2μm 分解能位置決め可能検査ﾕﾆｯﾄ開発 |
ﾏｲｸﾛ部品搬送技術の研究
(富士電機総研) |
● 1mm ｺｲﾙﾀﾞｲｵｰﾄﾞﾓｼﾞｭｰﾙよりなるｱｸﾁｭｴｰﾀ試作､作動性実証｡
● 搬送ﾊﾟﾚｯﾄの速度減速による停止位置精度制御(100μm 以内可能確認)
● 静電式搬送ﾕﾆｯﾄでも基本的2 次元搬送動作実証 |
ﾏｲｸﾛ検査技術の研究
(三菱電線工業) |
● 検知分解能10nm 以下の光ﾌｧｲﾊﾞｰ式接触覚ｾﾝｻによる先端位置検出機構と60 度首振り可能2mmφ 環境認識ﾃﾞﾊﾞｲｽ実現｡
● 輻輳角0～5 度の視差可変機構付き立体ｽｺｰﾌﾟの実現 |
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| 5) 機能ﾃﾞﾊﾞｲｽの高度化技術 |
| 研究開発項目 |
主要開発アウトプット |
人工筋肉の研究
(SRI ｲﾝﾀｰﾅｼｮﾅﾙ) |
● 電歪ﾎﾟﾘﾏｰｱｸﾁｭｴｰﾀ(歪63%､圧力/密度比0.8kPa-m3/kg､理論効率80%､応答時間1ms)
● ﾕﾆﾓﾙﾌ型機能ｱｸﾁｭｴｰﾀ(歪25%､ｻｲｽﾞ0.3mm3､駆動電圧300V)
● ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑ型機能ｱｸﾁｭｴｰﾀｰ､0.15mmφ 62 個連結ｱﾚｰ作製 |
ﾏｲｸﾛｼﾞｮｲﾝﾄの研究
(ﾌｼﾞｸﾗ) |
● 貫通孔ﾏｲｸﾛｼﾞｮｲﾝﾄ(口径4.4μm 角､深さ480μm､35 個/mm2､ｱｽﾍﾟｸﾄ比109)
● 貫通孔金属埋め戻し､open 及びclosed 法とも達成
● open 法ｱｽﾍﾟｸﾄ比<40､closed 法>40 が有効 |
極低摩擦ｻｽﾍﾟﾝｼｮﾝﾃﾞﾊﾞｲｽの研究
(王立ﾒﾙﾎﾞﾙﾝ工科大学) |
● 最適ﾏｲｸﾛ磁気ﾍﾞｱﾘﾝｸﾞの設計(電磁石と永久磁石の組合わせ)
● 2.6mmφ 機械巻きｺｲﾙ使用磁気ﾍﾞｱﾘﾝｸﾞで性能・動作試験実施 |
ﾏｲｸﾛﾊﾞｯﾃﾘｰの研究
(三菱ﾏﾃﾘｱﾙ) |
● ﾘﾗｸｻｰ固溶PZT 系圧電体使用電圧ﾄﾗﾝｽ作製(平面型､ｻｲｽﾞ26×4×1mm､昇圧比250)
● ﾃｰﾌﾟ形状自在二次電池試作(ｻｲｽﾞ155×30×1mm､直径40mm 円柱巻き付け作動状態確認)
● ｿﾌﾄ化学的手法によりLiMnO2 系正極材料の高容量化達成(170mAh/g 以上) |
光駆動自由関節ﾃﾞﾊﾞｲｽの研究
(ﾃﾙﾓ) |
● 光電変換素子搭載小型DC ﾓｰﾀにおいて､ﾚｰｻﾞ光による非接触ｴﾈﾙｷﾞｰ供給技術成功
● 中心軸周りに3 対のSMA ｺｲﾙ配置自由関節機構を設計､簡素な構造で傾斜角可変 |
ﾏｲｸﾛﾚｰｻﾞｰｶﾃｰﾃﾙの研究
(ﾃﾙﾓ) |
● 石英ﾌｧｲﾊﾞｰ先端にﾚｰｻﾞ励起固体ﾚｰﾀﾞを実装し､機能確認(ｻｲｽﾞ2mmφ×2mm､出力167mW)
● 光ﾌｧｲﾊﾞｰ先端部発熱対策､流体を用いた強制冷却により､発振後の出力低下防止
● ｶﾃｰﾃﾙ(内径1mm､外形1.5mm)先端部に4 個のｾﾝｼﾝｸﾞﾃﾞﾊﾞｲｽ搭載技術開発 |
ﾏｲｸﾛ触覚ｾﾝｻｶﾃｰﾃﾙの研究
(ｵﾘﾝﾊﾟｽ) |
● 圧覚ｾﾝｻｶﾃｰﾃﾙ(外形2.5mm)､多機能集積化薄膜圧覚ｾﾝｻ3 個を実装して動作確認
● 全方位湾曲機構を持つ外径1.5mm の形状記憶合金ｶﾃｰﾃﾙ実現､湾曲制御操作確認
● 圧覚ｾﾝｻ押圧力依存特性改良 |
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| 6) 共通基盤技術の研究開発 |
| 研究開発項目 |
主要開発アウトプット |
分散多ﾏｲｸﾛﾏｼﾝのﾊﾟﾀｰﾝ形成技術の研究
(川崎重工業) |
● 隣接移動体間の局所的情報交換による順次ﾊﾟﾀｰﾝ形成ｱﾙｺﾞﾘｽﾞﾑを考案
● 移動体台数､ﾊﾟﾀｰﾝ所要台数､形成するﾊﾟﾀｰﾝ形状を変化させ実機検証を行い､5～10 台程度の移動体で､数分程度で成功率90%以上のﾊﾟﾀｰﾝ形成を実証した｡ |
階層型群制御技術の研究開発
(三菱重工業) |
● 変態制御ｱﾙｺﾞﾘｽﾞﾑでは､超多自由度(72自由度)のｵｸﾄﾊﾟｲﾀﾞの連続段差
● 狭隘部の移動を可能にする低負荷移動ｱﾙｺﾞﾘｽﾞﾑを開発
● ｻｲｽﾞの異なる連続段差及び狭隘部移動ｱﾙｺﾞﾘｽﾞﾑを開発
● 省配線多自由度ｵｸﾄﾊﾟｲﾀﾞﾒｶﾆｽﾞﾑ構築 |
ﾏｲｸﾛﾏｼﾝの計測技術の研究
(横河電機) |
● 高速動作微小物体のﾚｰｻﾞ光により2次元連続断層像を1ms/断面で計測できた
● 微小力測定ﾌﾟﾛｰﾌﾞの測定分解能10μNを達成
● 単結晶ｼﾘｺﾝ赤外検出素子を作製し､光路長45mm で､分解能100ppm のCO2 ｶﾞｽ濃度測定実証 |
微小運動機構の評価
(機械技術研究所) |
● 高分解能を持つ新規な微小材料引張試験機､接合強度試験機､ﾏｲｸﾛ機構ﾄﾗｲﾎﾞﾛｼﾞｰ特性評価試験装置開発
● ﾅﾉﾒｰﾄﾙｵｰﾀﾞの突起による微小荷重下での摩擦力の効果的低減法を解明 |
ｼｽﾃﾑ化技術の評価
(電子技術総合研究所) |
● 物体操作指令を多数台ﾛﾎﾞｯﾄの制御指令に変換する1対多のｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ構築
● 完全自立型小型ﾛﾎﾞｯﾄを構築し､協調行動機能拡充のｱｰｷﾃｸﾁｬｰを考案
● ｽﾃﾚｵ顕微鏡ｼｽﾃﾑにおける､ﾏｲｸﾛ部品の3 次元距離と形状の計測方法を開発 |
3次元微細加工技術の評価
(電子技術総合研究所) |
● 電解放射ｴﾐｯﾀと引出し電極及び収束ﾚﾝｽﾞ電極を一体化した極微小収束電子銃を開発
● 前項電子銃に電界効果型ﾄﾗﾝｼﾞｽﾀを内蔵させ電流揺らぎ±5%以内の安定収束ﾋﾞｰﾑを開発
● 反応性ｶﾞｽ中での収支電子ﾋﾞｰﾑ照射により､3 次元構造の形成ができることを実証 |
微小機械要素の評価
(計量研究所) |
● 加速度ｾﾝｻの校正技術として､加速度入力をﾚｰｻﾞ干渉計で計測する手法を開発
● 最高周波数(30MHz)までの振動測定用ﾚｰｻﾞ振動計の校正技術を開発
● 記憶形状合金薄膜を二元同時ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞにより可能にした。 |
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| 7) 総合調査研究 |
| 研究開発項目 |
主要開発アウトプット |
ﾒﾝﾃﾅﾝｽ用ﾏｲｸﾛﾏｼﾝの調査研究
(発電設備検査協会) |
● 発電施設保全等に関するﾏｲｸﾛﾏｼﾝの機能・性能調査
● 既設診断設備等とのﾏｲｸﾛﾏｼﾝの対応調査 |
ﾏｲｸﾛﾌｧｸﾄﾘ化影響調査研究
(電気安全環境研究所) |
● 各種ﾃﾞﾊﾞｲｽの集積化､ﾏｲｸﾛﾌｧｸﾄﾘ化による電磁干渉､放射性､等の要素機器に与える影響調査 |
ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ技術総合調査研究
(ﾏｲｸﾛﾏｼﾝｾﾝﾀｰ) |
● ﾏｲｸﾛﾏｼﾝの生産分野､ﾒﾝﾃﾅｽ分野､医療分野における技術調査
● 本ﾌﾟﾛｼﾞｪｸﾄの効率的推進 |
