【わが国提案の国際規格・規格案】 　2002年にマイクロマシン/MEMS分野では国際的に初めての規格となる「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」を皮切りに、順次IEC(International Electrotechnical Commission：国際電気標準会議)に対してMEMS関連の規格提案を行ってまいりました。以降、提案活動と審議を経て、2005年に「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」、2006年に「MEMS薄膜材料の引張試験法」及び「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片」、2009年に「MEMS用薄膜材料の疲労試験法」、2011年に「共振振動を用いた曲げ疲労試験法」、2012年に「曲げせん断接着強度試験法」、2013年に「薄膜曲げ試験法」及び「電子コンパス」、2014年に「小型ジャイロ」、そして2016年に「形状計測法」の計10件が国際規格(International Standard)発行に至っています。また、「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」は改訂版を2016年に発行しています。 　現在審議中のわが国提案の規格案は、「MEMSエレクトレット振動発電デバイス」及び「MEMS圧電薄膜の特性計測方法」の計2件で、今後とも国際規格発行に向けて審議を進めるとともに、新たな規格提案を行うための検討を続けてまいります。 【規格案のIEC審議状況】 ①マイクロマシン及びMEMSに関する用語 　　2002年7月　NP(New Proposal)提案 　　2005年9月　国際規格発行【IEC62047-1:2005】 　　2008年3月　JIS制定 【JIS C 5630-1:2008】 　　2013年11月　改正提案CD回付 　　2016年1月　国際規格発行【IEC62047-1:2016】 　　2017年3月　JIS制定 【JIS C 5630-1:2017】 ②MEMS用薄膜材料の引張試験法　及び ③MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片 　　2003年7月　NP提案 　　2006年8月　国際規格発行【IEC62047-2】　【IEC62047-3】 　　2009年3月　JIS制定【JIS C 5630-2】　【JIS C 5630-3】 ④MEMS用薄膜材料の疲労試験法 　　2006年5月　NP提案 　　2009年4月　国際規格発行【IEC62047-6】 　　2011年8月　JIS制定 【JIS C 5630-6】 ⑤MEMS薄膜材料の共振振動を使用した曲げ疲労試験法 　　2009年2月　NP提案 　　2011年9月　国際規格発行【IEC62047-12】 　　2014年2月　JIS制定【JIS C 5630-12】 ⑥MEMS構造体曲げせん断接着強度試験法 　　2009年7月　NP提案 　　2012年2月　国際規格発行【IEC62047-13】 　　2014年2月　JIS制定【JIS C 5630-13】 ⑦薄膜曲げ試験法 　　2010年2月　NP提案 　　2013年7月　国際規格発行【IEC62047-18】 　　2014年2月　JIS原案作成終了【JIS C 5630-18】 　　2014年12月　JIS制定【JIS C 5630-18】 ⑧電子コンパス 　　2011年2月　NP提案 　　2013年7月　国際規格発行【IEC62047-19】 　　2014年2月　JIS原案作成終了【JIS C 5630-19】 　　2014年12月　JIS制定【JIS C 5630-19】 ⑨小型ジャイロ 　　2011年7月　NP提案 　　2014年6月　国際規格発行【IEC62047-20】 　　2014年8月　JIS原案作成開始【JIS C 5630-20】 　　2015年11月　JIS制定【JIS C 5630-20】 ⑩形状計測法 　　2013年4月　NP提案 　　2016年1月　国際規格発行【IEC62047-26】 ⑪MEMSエレクトレット振動発電デバイス 　　2014年3月　NP提案 　　2017年1月　国際規格発行【IEC62047-28】 ⑫MEMS圧電薄膜の電気機械変換特性の測定方法 　　2015年6月　NP提案 　　2017年9月　国際規格発行【IEC62047-30】