| 目 次 |
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PDFファイル |
| 概 要 |
3 |
5-1-01.pdf |
| Ⅰ．事業の目的政策的位置付けについて |
21 |
| １．NEDO の関与の必要性制度への適合性 |
21 |
| 1.1 NEDO が関与する意義 |
21 |
| 1.2 実施の効果（費用対効果） |
24 |
| ２．事業の背景目的位置づけ |
26 |
| 2.1 事業の位置付け必要性 |
26 |
| 2.2 国のプログラムとの関連性 |
27 |
| Ⅱ．研究開発マネジメントについて |
29 |
| １．事業の目標 |
29 |
| ２．事業の計画内容 |
31 |
| 2.1 研究開発の内容 |
31 |
| 2.2 研究開発の実施体制 |
36 |
| 2.3 研究開発の運営管理 |
39 |
| ３．情勢変化への対応 |
40 |
| ４．中間評価結果への対応 |
41 |
| ５．評価に関する事項 |
41 |
| Ⅲ．研究開発成果について |
42 |
| １．事業全体の成果 |
42 |
| ２．各テーマの成果まとめ |
46 |
| Ⅳ. 実用化の見通しについて |
55 |
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| V．委託テーマの成果詳細 |
57 |
5-1-02.pdf |
| V-１．研究開発項目① ＭＥＭＳ/ナノ機能の複合技術の開発 |
57 |
| （１）選択的ナノ機械構造体形成技術（東京大学） |
57 |
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| （２）バイオ材料（タンパク質など）の選択的修飾技術（産業技術総合研究所） |
201 |
5-1-03.pdf |
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| （３）ナノ材料（CNT など）の選択的形成技術 （産業技術総合研究所） |
243 |
5-1-04.pdf |
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| V-２．研究開発項目② ＭＥＭＳ ／半導体の一体形成技術の開発 |
271 |
5-1-05.pdf |
（１）ＭＥＭＳ-半導体プロセス統合モノリシック製造技術
－新たなセンシング原理の探索 （立命館大学） |
271 |
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| （２）ＭＥＭＳ－半導体横方向配線技術 |
344 |
5-1-06.pdf |
| (2)-1．ＭＥＭＳー半導体横方向配線技術の研究開発（東北大学） |
344 |
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(2)-2．ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術の開発
－ＭＥＭＳ-半導体横方向配線技術 （産業技術総合研究所） |
364 |
5-1-07.pdf |
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| V-３．研究開発項目③ ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳ の高集積結合技術の開発 |
460 |
5-1-08.pdf |
（１）多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
（レーザー技術総合研究所／東北大学） |
460 |
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V-４．研究開発項目④ 高集積複合ＭＥＭＳ 知識データベースの整備
（マイクロマシンセンター） |
504 |
5-1-09.pdf |
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V-５．研究開発項目⑤ 高集積複合ＭＥＭＳ システム化設計プラットフォームの開発
（マイクロマシンセンター） |
532 |
5-1-10.pdf |
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| （添付資料） |
651 |
5-1-11.pdf |
| １．「ロボット新機械イノベーションプログラム」基本計画 |
651 |
| ２．（新製造技術プログラム）「高集積複合ＭＥＭＳ製造技術開発プロジェクト」基本計画 |
657 |
| ３．技術戦略マップ |
670 |
| ４．事前評価関連資料 |
701 |
| ５．特許論文リスト |
706 |
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プロジェクト委託元のNEDOが作成した「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術開発プロジェクト」の事業原簿（公開版；2009年9月）です。