次回のマイクロナノ先端技術交流会は、以下のとおり予定しています。
皆様からの参加申込をお待ちしております。
今回は、半導体・MEMS等の新製造プラットフォームとして近年大変注目を集めている「ミニマルファブ」をテーマに、国家プロジェクト「ミニマルファブ技術研究組合」の取り組みについて、産業技術総合研究所ファブシステム研究会代表、ミニマルファブ技術研究組合 研究開発部長の原史朗氏を中心に全体概要、要素技術、そして試作・製造ラインについてマイクロ・ナノオープンイノベーション（MNOIC）との連携も含めてご講演をいただきます。
開催日時： 平成２６年９月９日（火） 14：00～17：15
懇親会 ～ 18：30
開催場所： 一般財団法人 マイクロマシンセンター・新テクノサロン
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 7階
地図 http://www.mmc.or.jp/gaiyou/map/
参 加 費：
* ＭＥＭＳ協議会メンバー 1人 2,000円 → メンバーリスト
（正メンバー、アソシエートメンバー、MEMSフェロー）
* 一般 1人 5,000円
* 学生 1人 2,000円
参加締切(定員)： 定員（40人）になり次第締め切りさせて頂きます
 参加申込： （定員となりましたので事前の参加申込を締切りました）
■ インターネット 参加申込
■ メール・FAX 参加申込 (インターネット申込ができない方）
大変ご好評につき、椅子のみのお席となりますが、当日席を設けます。
当日会場にて受付ますので、ご参加を希望されます方は、９月９日、直接会場受付へお越し頂きたくお願いいたします。
懇親会： 「第27回先端技術交流会」にご参加された方は無料で参加いただけます。
【プログラム】
14:00-14:05 主催者挨拶
（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
［概要］
14:05-14:45 「ミニマルファブ構想とその概要」
ミニマルファブ技術研究組合 研究開発部長 原 史朗
［要素技術］
14:45-15:05 「ミニマル搬送系とその性能」
ミニマルファブ技術研究組合 前川 仁
15:05-15:20 「ミニマルスパッタプロセス」
ミニマルファブ技術研究組合 小木曽 久人
15:20-15:35 「ミニマルエッチングプロセス」
ミニマルファブ技術研究組合 清水 禎樹
15:35-15:50 「ミニマルCVDプロセス」
ミニマルファブ技術研究組合 池田 伸一
15:55-16:10 「ミニマル後工程、実装の取組み」
ミニマルファブ技術研究組合 井上 道弘
［試作・製造ライン］
16:10-16:50 「ミニマルデバイス製造ラインの開発とデバイス試作」
ミニマルファブ技術研究組合 クンプアン ソマワン
16:50-17:05 「ミニマルファブとMNOICとの連携」
（財）マイクロマシンセンター 太田 亮
17:00-17:15 総合Q&A
17:15～18:30 ----- 講師の先生を囲む交流会 （立食形式） -----
（会場：（財）マイクロマシンセンター本部会議室 同ビル6階）
(プログラムがやむを得ず変更になる場合がございますのでご了承下さい。)
お問合せ：
一般財団法人マイクロマシンセンター
産業交流部長 今本 / 酒向
E-mail： event@mmc.or.jp
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸６７ ＭＢＲ９９ビル６階
TEL： 03-5835-1870 FAX： 03-5835-1873 |
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