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 MEMSはセンサーからマンマシンインターフェースや医療、自動車産業からITやAVなど多くの分野に用いられる世界的な先端成長産業となってきましたが、一方では世界共通の標準が殆ど無い分野でもあり、産業発展の大きな障害の一つとなっています。

 そこで、財団法人マイクロマシンセンターでは日韓中MEMS標準化ワークショップに加えて、世界的に最も先端的かつ優れた成果を出している研究者を招聘、MEMSに関するマイクロ/ナノ技術と評価の最前線を講演して頂くとともに国際標準制定に向けた各国との意見交換・相互理解を深めることを目的にMEMS国際標準化ワークショップを開催致しました(2006年11月6日(月)@東京・三菱ビル)

 当日は肥後実行委員長(東工大・教授)の開会挨拶ののち、<MEMSデバイスの最前線>、<MEMS評価法と標準化>の2つのシリアルセッションに分かれ、欧州(3件)、北米(2件)、韓国(2件)、日本(1件)計8件の講演が行われ、最後に(財)マイクロマシンセンター標準化事業委員会 大山委員長からの閉会挨拶で締めくくられました。

 今回のワークショップはマイクロ/ナノスケールの材料特性評価を中心とした第一線の研究者が集う貴重な機会となりましたが、中でも韓国から標準化に関連した2名の研究者と意見交換を行うことができたことは今後の国際的なネットワーク作りという観点からは大きな意義があったと思われます。 また欧米の関連研究者に対しても我が国が進めている標準化活動に対して理解を得られたことは大きな成果であり、今後、我が国の標準化活動の大きな指針となりました。
 

MEMS国際標準化ワークショップ
The 2nd Workshop on Characterization of Materials for MEMS/MST Devices

ワークショップのプログラムや会議のスナップを以下に示します。
MEMS国際標準化ワークショップ】
目的:世界的に先端的かつ優れた成果を出している研究者を
    招聘し、MEMSに関するマイクロ/ナノ技術と評価の
    最前線を講演して頂くとともに国際標準制定に向けた
    各国との意見交換・相互理解を深める

日時:2006年11月6日(月) 10:00~16:25
会場:東京・三菱ビル コンファレンススクエア
主催:マイクロマシンセンター ワークショップ実行委員会
東京・三菱ビル ワークショップ会場
 

【プログラム】

<<開催挨拶>>

   ワークショップ実行委員会 委員長 肥後 教授(東工大)

<<主催挨拶>>

   NEDO 機械システム技術開発部 小澤 部長

<<MEMSデバイスの最前線>>

"Glass Properties for Electrostatic Bonding in Process of the Packaging of MEMS Devices" 
         Park教授 (韓国Kyunpook National Univ)

"CNT Nano Electromechanical Transducers"

         Hierold教授(スイスETH Zurich)

"MEMS-based Nanopatterning: New Challenges and Opportunities for Materials Science" 
            
Brugger教授(スイスEPFL)

<<MEMS評価法と標準化>>
 
"Measurement of Micro-Tensile Properties for Gold Thin Film Using Micro-ESPI Technology"

            
Huh教授(韓国KRISS(標準科学研究所))

"Mechanical Material Characterization at the MEMS Materials Laboratory of IMTEK"
            
Paul教授(ドイツFreiburg大)

"Deformation and Fatigue Mechanisms of Structural Films"
            Muhlstein教授(米国Pennsylvania州立大)

"Round-Robin Test on Fatigue of Thin Films for MEMS Applications in Japan"
            
高島和希教授(日本熊本大学)

"A Comprehensive Assessment of Fatigue Failure in Micron-Scale Polycrystalline Silicon Structural Films for MEMS"
            
Ritchie教授(米国California州立大Berkeley校)
 
<<閉会挨拶>> 

  MMC標準化事業委員会 委員長  大山 尚武


肥後教授
(東京工業大学)
大山委員長
(MMC標準化事業委員会)

ワークショップ講演者・実行委員 ほか
     

  
発表を行う各国スピーカーの面々
 

Park教授
韓国Kyunpook National Univ

Hierold教授
 スイスETH Zurich

Brugger教授
スイスEPFL

Huh教授
韓国KRISS(標準科学研究所)

Paul教授
ドイツFreiburg

Muhlstein教授
米国Pennsylvania州立大

高島和希教授
熊本大

Ritchie教授
米国California州立大Berkeley

 
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