MEMS技術は、既存部品の小型化の進展としての単機能デバイス（第１世代MEMS）から、MEMS／ナノテク機能の複合技術、MEMS／半導体の一体成形技術、MEMS／MEMSの高集積化技術による多機能デバイス（第２世代MEMS）、さらにはナノ・バイオ融合による革新的デバイス第３世代MEMS（BEANS：Bio Electro-mechanical Autonomous Nano Systems）へと進展しています。 　その応用分野も知能ロボットやプラント等の信頼度を高めるための高機能メンテナンス、診断や治療に伴う患者の苦痛を低減させる高度医療への応用、化学・生化学分析システムの小型化や製薬創薬のための高効率化学合成など多岐にわたる応用方法が提案されており、ナノテクノロジーとの融合による新産業創出への期待も高まっています。 　企業にとって今後どのような分野へ開発投資すべきかを判断するのに市場予測は重要な指針となります。そこで一般財団法人マイクロマシンセンター（MMC）では、これまで定期的にMEMS関連デバイスの市場予測を行ってきました。MEMSは何らかの最終製品の中に組込まれて使用されるため、正確な市場の絶対値を求めるのは困難ですが、MMC独自の算出方法を用いて市場予測を行ってきました。その結果は、これまでMEMS関連企業や大学、官公庁等の多くの方に参考して頂きまして、MEMS産業及び技術の発展に少しはお役に立てたのではないかと考えます。 　第1回目は2002年に2001年度の市場規模を算出しました。第2回目は2003年度に2002年度、2010年度の市場予測を行いました。第3回目は2006年度に2005年度、2010年度、2015年度の市場予測を行いました。 　2006年度に行った市場予測から5年の歳月が流れましたので、2011年度の産業動向調査は、2010年度、2015年度、2020年度の市場予測を行うことになりました。　 　これまでの調査結果比較検討を行えるように算出方法は同じ方法を採用しました。今回の調査結果が、MEMS関係者の皆様に何らかの形でお役に立てましたら幸甚です。