| オープニング 司会： （財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
| 9:00− 9:05 |
開催挨拶 |
（財）マイクロマシンセンター 理事長 野間口 有 |
| 9:05− 9:10 |
来賓挨拶 |
経済産業省 製造産業局 産業機械課長 高橋 泰三 |
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| 基調講演 次世代MEMS開発に向けて 司会： （財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
| 9:15−10:00 |
日本におけるMEMS開発の方向性と高集積・複合MEMS製造技術
開発プロジェクト |
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東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授 下山 勲 |
| 10:00−10:45 |
米国におけるMEMS開発の方向性とMEMSインテグレーション |
| Thomas W. Kenny ( Stanford University ) |
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| セッション１ マイクロ・ナノ科学技術の最先端 司会： 京都大学 教授 田畑 修 |
| 10:45-11:15 |
中性粒子ビームによるトップダウンプロセスとボトムアッププロセスの融合 |
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東北大学 流体融合研究センター 教授 寒川 誠二 |
| 11:15-11:45 |
半導体/磁性体ナノ結晶の超格子生成、及び物性制御 |
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Christpher B. Murray , IBM, The T.J. Watson Reserch Center |
| 11:45-12:15 |
有機、有機/無機ハイブリッド分子デバイス |
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Cherie R. Kagan, IBM, The T.J. Watson Reserch Center |
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| 12:15-13:30 |
============ 昼 食 ============ |
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| セッション２ 期待されるMEMS応用 司会： 東京大学 教授 下山 勲 |
| 13:30-14:00 |
CMOS/ MEMS集積： シリコン共振器実現のKFS(Key for Success) |
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Emmanuel Quevy, Silicon Clocks Inc. |
| 14:00-14:30 |
未来の携帯端末を実現させるコンフィギュアラブル RF サーキット |
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NTTドコモ 総合研究所 ワイヤレスデバイス研究グループ
主幹研究員 楢橋 祥一 |
| 14:30-15:00 |
マイクロ/ナノテクノロジーを用いた低侵襲検査・治療機器の開発 |
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東北大学 先進医工学研究機構 助教授 芳賀 洋一 |
| 15:00-15:30 |
MEMS@ボッシュ: 自動車向けアプリケーションを越えて |
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Peter Ernst, Robert BOSCH GmbH |
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| 15:30-15:50 |
============ 休 憩 ============ |
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| セッション３ MEMS/半導体集積化MEMS 司会： 産業技術総合研究所 室長 臼田 孝 |
| 15:50-16:20 |
多結晶SiGeによるCMOS/ MEMS集積 |
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Kris Baert, IMEC |
| 16:20-16:50 |
CNTを用いたナノスケールメカ：死の谷を越えるには何が必要か？ |
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Martin Culpepper, Massachusetts Institute of Technology |
| 16:50-17:20 |
最先端パッケージング：MEMS事業化へのブレークスルー |
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Joerg Froemel, Fraunhofer IZM |
| 17:20-17:50 |
光MEMS技術の集積化と大面積化 |
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東京大学 マイクロメカトロニクス国際研究センター
助教授 年吉 洋 |
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| クロージング |
| 17:50-17:55 |
閉会挨拶 |
（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
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