１ MEMS2006報告
MEMS関連の国際学会MEMS 2006(19th IEEE International Conference on Micro
Electro Mechanical Systems)が、2006年1月22日から26日の5日間、トルコのイスタンブールで開催されました。今回は大雪に見舞われたこともあり、参加者数は昨年を少し下回り646名(昨年702名)でしたが、アブストラクトの投稿論文数は789件(昨年750件)と過去最高を記録しました。遠方での開催にもかかわらず、日本からの参加者は多く、事前登録者リストによると全登録者数の20%にあたる74名もの方々が登録されており、３／４が大学等の研究機関、１／４が企業からの参加でした。
発表件数は、招待講演3件(昨年3件)、口頭発表42件(昨年41件)、ポスター発表194件(175件)の計239件でした。発表論文の採択率は投稿論文数に対し30％以下と例年通りかなり低く、大学や企業等では発表することが難しい学会であり、オリジナリティーのある論文が多く発表されていることで知られています。発表は昨年と同様にシングルセッションで行われ、午後の部でポスターによる発表がありました。
国別の発表件数を見ると、19ヶ国から239件の発表がされており、昨年と同様、トップが米国の81件(昨年107件)、2位が日本の58件(昨年47件)、3位が韓国の24件(昨年16件)でした。また、４位は台湾の22件(昨年4件)、５位はドイツの15件(昨年9件)と、台湾の発表件数の著しい増加に驚かされました。地域別の発表件数を見ても、北米の83件(昨年108件)、日本の58件(昨年47件)、ヨーロッパの48件(昨年35件)、日本を除くアジアの50件(28件)で、本学会の発表件数の45％がアジア地域で行なわれており、アジアでMEMS研究が活発に行われていることがよく分ります。また、トップの米国においても、韓国、中国系の研究者による発表がかなり目立ちました。技術はアジアで、金融は欧米でということでしょうか。
また、研究機関別の発表件数を見ると、研究は世界19ヶ国165ヶ所の研究機関で行なわれていますが、ほとんどが大学等の研究機関であり、発表件数の多い順に、東京大学の28件、University of Freiburg(ドイツ)の11件、立命館大学、University of Michigan(米国)、Stanford University(米国)、Korea Advanced Institute of Science & Technology (KAIST)(韓国)の各9件、National Tsing Hua University(台湾)の8件、University of Illinois (米国)、Georgia Institute of Technology(米国)、University of California at Los Angeles(米国)、University of California at Berkeley(米国)の各7件の発表がなされました。日本からは、他に名古屋大学の6件、東北大学の5件、京都大学、兵庫県立大の各４件等があり、企業からは、大学との共同発表を含め、日立製作所、太陽誘電、東海理化の各2件、旭硝子、NTT、セイコーエプソン、三菱電機、ソニー、東京エレクトロン、キヤノン、松下電工、多摩川精機、Lightnixの各1件の発表が行なわれていました。企業からの発表は全体の6%に過ぎませんが、参加者の１／４近くが企業からの参加者でした。
研究テーマ別に見ると、口頭発表は12セッション(Cell、Optical、Particles、Physical
Sensor、Power MEMS、Fabrication & Packaging、Nano、Wireless、Actuators等)、ポスター発表は10セッション(Design
Analysis & Theoretical Concepts、Materials & Device Characterization、Fabrication
& Packaging、Biological & Chemical Device/System、Mechanical &
Physical Micro Sensor/Systems、Actuator、Micro-Optical Device/Systems、Wireless、Nano、Power
MEMS等)に分けて行なわれましたが、発表件数の最も多いテーマはバイオ関連であり、全体の1/4以上を占めていました。各国共にバイオ関連のテーマが資金援助を受け易いからであろうと思われます。バイオ関連に続いて、センサー、アクチュエータ、製造／パッケージ技術等の発表が多く見られました。日本、米国はこれまでと同様にあらゆるセッションで発表がされており、MEMS研究の層の厚さが感じられます。しかし、韓国はこれまで特化した分野で研究が進められていましたが、今回を見ると、かなり広範な分野で研究が進められ、さらに、台湾も広範囲に力を入れており、両国の政府や企業がMEMSの研究開発に注力しているいることが分りました。
MEMS 2006は奇抜なアイデアの論文が多く登場することで知られていますが、今回も新しい概念･原理、新しい加工法を報告･情報交換する機会を得る場であると感じられました。今回の発表の中で、企業からの発表は少ないですが、フィリップ社による液滴の表面張力を電圧で制御する技術をディスプレイに応用した｢Electrowetting-Based
Displays: Bringing Microfluidic Alive On-Screen｣やアナログデバイス社によるMEMS技術により低コストSiマイクを作った｢A
MEMS Condenser Microphone for Consumer Application｣ 等の発表はアイデアが製品化に結びついた非常に興味深い講演でした。なお、MEMS
2006での詳細な内容についてはセンターにて実施しています分野別動向調査にてまとめますので、これをご参照下さい。
本学会は米国電気電子工学会IEEE主催の学会ですが、日本国内でも奈良、大磯、名古屋、宮崎、京都で開催されており、国内外で広く市民権を得ています。記念すべき20回目となる次回のMEMS 2007は、平成19年1月21日から25日の5日間、神戸で開催されます。是非、この機会を利用して、日本のMEMSの研究開発力、産業化力を内外に発信し、MEMS技術をもの作り立国復権の大きな旗印にしたいものです。
２ 第6回MEMS講習会の開催
ファンドリーサービス産業委員会（委員長：松下電工(株)毛野拓治氏）主催の第６回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」を、1月19日（木）ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）で開催しました。講習会の内容は下記に示す通りです。
関西で3回目の講習会となりましたが、最近のMEMS産業に対する関心の高さから、一般参加者、講習会発表者および事務局担当者を含め、70名と盛況な講習会となりました。
今回の講習会（プログラムは下記参照）では前回に引き続き、MEMS応用例を2例（非シリコンMEMSの用途及びバイオMEMSの医療応用）紹介するとともに、講習会の中間に技術相談会（各社パネル展示説明）を設けて、個別の相談が可能としました。また、講習会の終了後、別室においてファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者との懇談会を開催しましたが、これも大変盛況でした。
プログラム
13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
13:10 新産業創出のキーとなるＭＥＭＳテクノロジー
杉山 進 （立命館大学理工学部 教授）
14:00 光ＭＥＭＳ（マイクロミラーデバイス）の設計技術
宮島 博志 （オリンパス(株) 研究開発センター ＭＥＭＳ事業推進部 グループリーダー）
14:35 ＭＥＭＳ加工技術（半導体プロセス～機械加工）
高橋 敏幸 （オムロン(株) セミコンダクタ統括事業部 ＭＥＭＳ事業部 グループリーダー）
荒井 剛 （オムロン(株) エンジニアリングセンター グループリーダー）
15:10 ドライエッチングの基礎
林 俊雄 （(株)アルバック 半導体技術研究所 第１研究部 部長）
15:45～16:15
技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩
16:15 ＭＥＭＳ応用例(1) 非シリコンＭＥＭＳとその用途
飛永 芳一 （(株)ナノデバイス・システム研究所 取締役CTO）
16:50 ＭＥＭＳ応用例(2) バイオＭＥＭＳ・ナノテクノロジーの医療応用
馬場 嘉信 （名古屋大学大学院 工学研究科 化学・生物工学専攻 教授）
17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
毛野 拓治 （松下電工(株) 生産技術研究所 高度ＭＥＭＳ開発センター グループ長）
---- 休憩 17:50～18:00 ----
18:00～19:00 懇談会 （６階会議室５）
３ 平成１７年ロボット３団体賀詞交歓会の開催
1月18日（木）（社）日本ロボット工業、（財）製造科学技術センターおよび（財）マイクロマシンセンター合同の新年賀詞交歓会が虎ノ門パストラル新館１階「鳳凰の間」にて、372人出席のもと開催されました。
平成19年は開催日は1月17日（水）で、同会場で開催する予定です
《イベント開催案内》
１ 第7回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催
第7回マイクロ・ナノ先端技術交流会が下記のとおり開催されますので、お知らせいたします。先端技術交流会へのご参加方よろしくお願いします。
記
開催日時：平成18年2月16日（木）15:00～17:00～18:30
開催場所：（財）マイクロマシンセンター 会議室
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸６７
MBR99ビル ６階
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5834-1873
講 師： 香川大学 工学部 知能機械システム工学科
橋口 原 教授
講演題目： 「MEMSによる機能化プローブ技術」
開催案内先 MMC賛助会員企業等
参加費 賛助会員 １，０００円／人
一 般 ５，０００円／人
１ 第3回材料特性標準化委員会（引張試験）の開催
第3回材料特性標準化委員会(引張試験)(委員長：委員長 国際標準化工学研究所 大和田邦樹所長)が1月12日(月)に開催されました。
日本がIECに提出しました引張試験法(47/1812/CDV)と引張試験用試験片(47/1813/CDV)のCDV(Committee
Draft for Vote)に対する各国による投票の結果、賛成多数で了承され、投票結果の正式報告が回付されました。最終段階のFDIS(Final
Draft International Standard)を提出し、順調に行きますと、最終投票により今秋には専門用語規格に次ぐ第二、第三弾の国際規格として決定される予定です。
また、規格協会からの申し出により、今回の二つの規格案は研究開発と国際標準化活動を一体化して実施しており、標準化のモデルとして小冊子にまとめることになりました。
２ 第4回調査研究委員会（疲労試験）の開催
マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化調査研究における第4回調査研究委員会（委員長：東京工業大学 肥後矢吉教授）が1月12日（木）に開催されました。
平成15年度より開始された薄膜材料の疲労試験の規格案検討も最終年度の終わりとなり山場に差し掛かってまいりました。今回、東京工業大学、名古屋大学、京都大学、兵庫県立大学（試験結果提出のみ）から試験結果の報告がなされ、ラウンドロビンテストも大詰めとなりました。また、実験と平行して、疲労試験法規格案の骨子作りが進められており、熊本大学高島委員より日本語案が提案され、今春のIECへのNP提案のための準備が着実に進められています。
３ 第6回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会の開催
第6回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会（委員長：産総研 石川雄一氏）が2月1日（水）に開催されました。
当日は先に行われたアンケート結果ニーズに基づき抽出された個別課題（前回第５回委員会にて確定）に対し、技術の現状と規格化に向けた課題について、微小計測、材料、パッケージ、デバイスの4分科会に分かれて討議がされました。具体的には既存規格、学術文献、有識者ヒアリング、独自アンケートなどを利用し下記出口イメージとした調査活動です。
ⅰ、規格としての項目、内容
（規格化項目に関して、何を規定すれば役に立つ規格になるか）
ⅱ、上記に対する現状シーズの把握（有無、技術ﾚﾍﾞﾙ）
ⅲ、規格化の為に必要な技術要件の明確化
各分科会から報告では規格化ニーズに対して我が国の強みが発揮できる可能性を有するシーズ技術について何件かの報告がなされました。本調査活動は引き続き２月末を目標に分科会単位で継続とまとめを行い、最終的に本調査研究のまとめと今後の提言に結び付けていくこととなりました。
４ 第35回標準化事業委員会の開催
標準化活動の親委員会である第35回標準化事業委員会（委員長：(社)機械技術協会 大山尚武氏）が2月2日(木)に開催されました。
今回は平成17年度の活動状況と平成18年度標準化事業計画案について報告および審議が行なわれました。
平成17年度は、
①専門用語規格がIECのMEMS 関連規格の第一号として英語、仏語併記で発刊(IEC62047-1)
②引張試験法および標準試験片の両規格案がIECで順調な審議により最終段階のFDIS化が決定
③疲労試験法のラウンドロビンテストと平行して規格案骨子を作成
④活発化する韓国の国際標準化活動(MEMS通則、RF-MEMSスイッチ等)に対しワーキンググループ
を作り対応策を審議
⑤海外の標準化活動の情報交換のため第1回日韓中MEMS標準化ワークショップを東京で開催
⑥MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究において標準化へのニーズとシーズを調査等につ
いて実施しており、海外からの外圧もあり、標準化活動に対する課題の多い年度となりました。
平成18年度は今年度の結果を踏まえ、
①専門用語IEC規格のJIS化
②引張試験法、標準試験片さらに疲労試験法の規格化のためのフォローアップ
③韓国より続々と提案される規格案(MEMSフィルターFBAR(Film Bulk Acoustic
Resonator)、接合
方法とパッケージ評価法、曲げ試験法)の対策
④第2回日韓中MEMS標準化ワークショップの開催(韓国にて開催予定)
⑤新しい規格案創出のための基準認証研究(寿命加速試験等)の遂行
⑥MEMS標準化ロードマップの策定等を実施する予定です。来年度は標準化活動の正念場を向か
える年度となりそうです。
５ MEMS-ONE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1) 第８回プロジェクト推進委員会の開催
第8回プロジェクト推進委員会（委員長：東京大学 藤田博之教授）が1月16日（月）に開催されました。
今回も従来の状況報告形式により、11～12月の実績並びに1月の計画について、月間進捗状況総括表および補足資料を用いて、各機能の開発責任者および各委員会の委員長より報告があり、報告内容に関する質疑応答がありました。また、当センターより平成17年度委託事業の完了に伴う事務処理および平成18年度の実施計画に関する説明と関係者への対応依頼がありました。
本プロジェクトの現状はシステムの開発途上にあり、今年度は新たな機能も追加されて、より充実化が図られています。このため開発負荷は増加していますが、開発は計画通り進行しています。
今回の委員会が今年度の最終回となり、次回は年度が変わった4月18日（火）に予定されています。
(2) 第12回材料・プロセスDB委員会の開催
第12回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田龍太郎氏）が1月17日（火）に開催されました。
議題は今回も、下記研究テーマの進捗状況に関する報告および意見交換が行われました。
・ 材料・プロセスデータの取得状況
・ ナノインプリント解析用材料特性データの取得状況
・ 本プロジェクトで測定しない材料特性データの材料メーカへの依頼状況
材料特性データの取得は進んではいるものの、全体の取得状況が掴めないことから、今後はこれまでに作成した材料データマップを活用して、進捗状況を把握して行くこととなりました。
今年度は本委員会を持って終了し、次回開催は来年度の４月７日（金）に予定されています。
(3) 第14回ソフトウェア委員会の開催
第14回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス 三原孝士氏）が1月17日（火）に開催されました。
議題は前回までの機能検証デモを一時中断し、今年度新たに立ち上げたナノインプリント加工解析システムの開発計画と開発状況、各解析ソフトの検証用デバイス製作における進捗状況と課題対策についての報告並びに意見交換が行われました。また、次回の合宿形式による総合検証デモの進め方についても検討が行われました。
次回は今年度の集大成として、開発済み機能の総合検証デモを合宿形式により、2月28日（火）～3月1日（水）に掛けて、ＫＫＲホテル名古屋にて開催する予定です。
１ 第７回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催
第7回マイクロ・ナノ先端技術交流会が下記のとおり開催されます。参加申し込みは、当センターホームページより行っておりますのでよろしく御願いします。
記
開催日時：平成１８年２月１６日（木）15:00～17:00～18:30
開催場所：（財）マイクロマシンセンター 会議室
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸６７
MBR99ビル ６階
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5834-1873
講 師： 香川大学 工学部 知能機械システム工学科
橋口 原 教授
講演題目： 「MEMSによる機能化プローブ技術」
開催案内先 ＭＭＣ賛助会員企業等
参 加 費 賛助会員 １,０００円 / 人
一 般 ５,０００円 / 人
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技術交流会プログラム
15:00～ 主催者挨拶
（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
15:10～ ご講演
「MEMSによる機能化プローブ技術」
17:00～18:30 技術相談及び交流会
１ 月例経済報告 （平成17年1月）
内閣府が発表した月例経済報告（平成18年1月）の総論部分は次の通りです。
（我が国経済の基調判断）
景気は、緩やかに回復している。
・企業収益は改善し、設備投資は増加している。
・個人消費は、緩やかに増加している。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
・輸出、生産は持ち直している。
先行きについては、企業部門の好調さが家計部門へ波及しており、国内民間需要に支えられた景気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要がある。
（政策の基本的態度）
政府は、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2005」に基づき、構造改革を加速・拡大する。12月19日、「平成18年度の経済見通しと経済財政運営の基本的態度」を閣議了解し、12月24日、平成18年度予算政府案（概算）を閣議決定した。
政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするため、政策努力の更なる強化・拡充を図る。
情報入手： http://www5.cao.go.jp/keizai1/2006/0120mitoshi.pdf
1 当センター主催のイベント
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(１) 第7回マイクロ・ナノ先端技術交流会開
開 催 日 ： ２００６年２月１６日（木） 15:00～17:00～18:30
開催場所： （財）マイクロマシンセンター 会議室
講 師： 香川大学 工学部 知能機械システム工学科
橋口 原 教授
講演題目： 「MEMSによる機能化プローブ技術」
２ その他のイベントのお知らせ
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
New
(1) 鳥取大学ビジネス交流会
開 催 日：2006年02月13日(月) 15：00～17：00
開催場所：キャンパス・イノベーションセンター東京 国際会議場 (田町駅前）
主 催：国立大学法人 鳥取大学
情報入手：http://www.venturelabo.co.jp/news/060124_tottori.html
New
(2) 第4回ナノテクノロジー総合シンポジウム(JAPAN NANO
2006)
開 催 日：2006年02月20日(月) ～ 21日(火)
開催場所：東京ビッグサイト（東京，江東区有明）
主 催：文部科学省ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰ総合支援プロジェクトセンター
情報入手：http://www.nanonet.go.jp/
New
(3) nano tech 2006 -
国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
開 催 日：2006年02月21日(火) ～ 23日(木)
開催場所：東京ビッグサイト東4・5ホール＆会議棟
主 催：nano tech 実行委員会
情報入手：http://www.ics-inc.co.jp/nanotech/
(4) Photonics
Europe 2006
開 催 日：2006年04月03日(月) ～ 07日(金)
開催場所：Strasbourg, France
主 催：SPIE Europe
情報入手：http://spie.org/conferences/calls/06/epe
(5) センサエキスポジャパン 2006 (旧名称：センサ総合展)
開 催 日：2006年04月05日(水) ～ 07日(金)
開催場所：有明・東京ビッグサイト
主 催：ﾌｼﾞｻﾝｹｲﾋﾞｼﾞﾈｽｱｲ(日本工業新聞社)
情報入手： http://www.business-i.jp/event/sensor
(財)マイクロマシンセンター 後援
New
(6) センサ・アクチュエータ・マイクロマシン／ウィーク 2006
総合シンポジウム
開 催 日：2006年04月05日(水) ～ 07日(金)
開催場所：東京ビッグサイト
主 催：次世代センサ協議会
情報入手：http://www.cnt-inc.co.jp/jisedai/2006week.htm
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(7) International Workshop on Waferbonding for MEMS Technologies
開 催 日：2006年04月09日(日) ～ 11日(火)
開催場所：Halle, Germany
主 催：IWM, etc.
情報入手：http://www.microtesting.de/
(8) 第26回 2006モータ技術シンポジウム
開 催 日：2006年04月20日(木) ～ 22日(土)
開催場所：日本コンベンションセンター (幕張メッセ）
主 催：（社）日本能率協会
情報入手：http://www.jma.or.jp/TF/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(9) HANNOVER
MESSE - MicroTechnology 2006
ハノーバー・メッセ2006 『マイクロテクノロジー』
マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市
開 催 日：2006年04月24日(月) ～ 28日(金)
開催場所：Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場）, Germany
主 催：Deutsche Messe AG
情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/
http://www.hannovermesse.de/
(10) DTIP
2006
(Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of
MEMS/MOEMS)
開 催 日：2006年04月26日(水) ～ 28日(金)
開催場所：Stresa, Lago Maggiore, Italy.
主 催：
情報入手：http://tima.imag.fr/conferences/dtip
(11) ロボティクス・メカトロニクス講演会2006
(ROBOMEC 06 早稲田)
開 催 日：2006年05月26日(金) ～ 28日(日)
開催場所：早稲田大学理工学部 大久保キャンパス
主 催：（社）日本機械学会
情報入手： http://www.rt-coe.waseda.ac.jp/robomec2006/
(財)マイクロマシンセンター 後援
(12) JPCA
SHOW 2006
開 催 日：2006年05月31日(水) ～ 06月02日(金)
開催場所：東京ビッグサイト
主 催：社団法人日本電子回路工業会
情報入手： http://www.jpcashow.com/show2006/index.html
(財)マイクロマシンセンター 後援
New
(13) COMS 2006 (The 11th Annual
International Conference of Micro and Nano Systems Conference)
開 催 日：2006年08月27日(日) ～ 31日(木)
開催場所：ST. Peterburg, Florida, U.S.A.
主 催：MANCEF
情報入手：http://www.mancef.org/coms2006.htm
(14) 第24回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日：2006年09月14日(木) ～ 16日(土)
開催場所：岡山大学 津島キャンパス
主 催：（社）日本ロボット学会
情報入手： http://rsj2006.sys.okayama-u.ac.jp/
財)マイクロマシンセンター 後援
New
(15) 4M2006 Conference on
Multi-Material Micro Manufacture
開 催 日：2006年09月20日(水) ～ 22日(金)
開催場所：Grenoble, France
主 催：4M
情報入手：http://www.4m-net.org/node/1069/
１ 平成17年度第2回運営政策小委員会及び第3回運営委員会の開催
開催日時 平成18年3月16日（木） 14：00～運営政策小委員会
15：15～運営委員会
開催場所 東京都千代田区神田佐久間河岸67MBR99ビル6階
財団法人 マイクロマシンセンター会議室
議 題 運営政策小委員会
１、今後のセンターの研究活動の展開について
・MEMS-ONEプロジェクトの進捗状況について
・ファンドリーサービス事業の進捗状況について
２、次世代MEMS開発プロジェクトについて
３、MEMS協議会について
運営委員会
１、平成18年度事業計画について
２、平成18年度収支予算について
３、平成18年度借入金限度額について
４、任期満了に伴う役員及び評議員の改選について
５、平成18年度研究会賛助会費について
６、平成18年度委員会構成について
７、賛助会則規則等の改正及び運営要領等の制定について
８、平成17年度事業の実施状況について
２ 平成17年度第3回評議員会及び第２回通常理事会の開催
開催日時 平成18年3月24日（金） 14：00～評議員会
15：15～通常理事会
開催場所 東京都千代田区神田佐久間河岸67MBR99ビル6階
財団法人 マイクロマシンセンター会議室
議 題 評議員会
１、平成18年度事業計画について
２、平成18年度収支予算について
３、任期満了に伴う役員の改選について
４、平成18年度委員会構成について
５、MEMS協議会について
通常理事会
１、平成18年度事業計画について
２、平成18年度収支予算について
３、平成18年度借入金限度額について
４、任期満了に伴う評議員の改選について
５、平成18年度委員会構成について
６、MEMS協議会について
７、組織規程の改正について
８、賛助会費規則の改正について
９、平成18年度研究賛助会費について
３ 第4回産業小委員会の開催
開催日時 平成18年2月15日（水）16：00～17：00
開催場所 東京都千代田区神田佐久間河岸67MBR99ビル6階
財団法人 マイクロマシンセンター会議室
議 題 １、ＭＥＭＳ協議会のメンバーの拡大について
２、第１回ＭＥＭＳ協議会の開催について
３、ＭＥＭＳ協議会運営要領（案）について
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