1 MEMStationサービス始まる
当センターではMEMSの一層の利用促進を図るため、製造設備を有しない企業でも容易にＭＥＭＳビジネスに参入できるように、MEMSファンドリー事業の確立が必須と考え、平成14年7月にファンドリーサービスネットワークの整備に着手し、参加メンバーとともに、わが国のＭＥＭＳファンドリーサービス産業発展に貢献してきております。
このたび、ファンドリーサービス産業委員会（委員長：松下電工(株)毛野拓治氏）では、平成17年7月1日（金）から新たにＭＥＭＳファンドリーサービスご依頼の共通窓口業務：MEMStation（メムステーション）サービスを開始しました。MEMStationサービスは、どこのファンドリーサービス企業に依頼するかお決まりでないご依頼主の方のため、ホームページに共通窓口を設け、各企業への取次ぎ業務を行うものです。
ホームページＵＲＬ：http://fsic.mmc.or.jp
なお、従来からのファンドリー各社の窓口へ直接コンタクトする方法も継続して行っています。
2 第1回MEMS懇談会（MEMS産業研究会）の開催
平成17年6月30日（木）、パレスホテル（2階・若草の間）に於いて、第1回懇談会（MEMS産業研究会）が開催されました。
懇談会の座長は、三菱電機㈱上席常務執行役 尾形仁士氏で、懇談会のメンバーは、MMCの一般賛助会員および特別賛助会員企業の役員クラス有志の方々にお集まりいただきました。また、経済産業省製造産業局産業機械課長をゲストにお迎えして、メンバーの方々とのMEMS協議会設置の検討並びにMEMS産業発展に向けた忌憚のない意見交換が行われました。なお、懇談会の意見を踏まえて詳細な検討は、MMCに設置された産業小委員会において検討することになりました。
3 高集積・複合MEMS、NEDOPOSTで意見募集開始
独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）は新規プロジェクトを開始するに当たり、その事業の適格性を判断するために事前評価として幅広く意見を収集するNEDOPOSTを実施します。
MMCは昨年度より行った調査研究において、次世代のMEMSデバイスを生み出し産業界に広く貢献する基盤技術として、MEMS－半導体とMEMS－MEMSという2種類の高集積化技術とMEMS－ナノテクの複合化による高機能化技術やその共通基盤技術が重要開発課題として提案してきましたが、それに関連した「高集積・複合MEMS製造技術開発」について7月にNEDOPOSTとして意見募集されることになりました。募集期間は、7月11日より8月1日までとなっています。
4 第5回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」の開催近づく
当センターファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に、下記のとおり第5回MEMS講習会「MEMSの設計 ・加工技術と応用例」を開催いたします。積極的なご参加をお願い致します。なお、賛助会員企業の連絡窓口担当者には既に別途ご案内を差し上げてあります。
第5回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
◇日 時：2005年7月26日（火）13:00～17:50～19:00
◇場 所：アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館）6階霧島及び6階伊吹
〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
TEL：03-3261-9921（代表）
地図URL: <http://www.arcadia-jp.org/acsses/top.htm>
◇参加費：8，000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。
参加費は当日、受付でお支払い下さい。（領収書をご用意します。）
◇定 員：100名 （定員になり次第、締切りさせて頂きます。）
◇参加申込：最終部分の申込欄に必要事項をご記入の上、メール又はFAXにて
ご送信ください。
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ プログラム ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第5回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
13:10 新産業創出のキーとなるMEMSテクノロジー
杉山 進 （立命館大学理工学部 教授）
14:00 MEMSセンサー設計技術
宮島 久和 （松下電工(株) 高度MEMS開発センター 技師）
14:35 MEMS加工・製造プロセスと集積化
小澤 信男 （沖電気工業(株) SiMC MEMS事業推進チーム 課長）
15:10 MEMS実装技術
末益 龍夫 （(株)フジクラ 電子デバイス研究所 グループ長）
15:45～16:15 ---- 技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩 ----
16:15 MEMS応用例(1) センサーシステムにおけるMEMS応用の可能性
武田 宗久 （三菱電機(株) 先端技術総合研究所 センシング技術部
部長）
16:50 MEMS応用例(2) ロボット分野におけるMEMSの可能性
田中 秀治 （東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻 助教授）
17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
毛野 拓治 （松下電工(株) 生産技術研究所 高度MEMS開発センター
グループ長）
17:50～18:00 ---- 休憩 ----
18:00～19:00 懇談会 （６階伊吹）
◆ 参加申込
下記に必要事項をご記入の上、E-メール又はFAXにてご送付ください。
E-mail: mems-ws@mmc.or.jp / FAX: 03-5835-1873
<http://fsic.mmc.or.jp/mems-koshu/koshu-5/koshu-5.html>
====== お申込は下記の申込欄のみをご返信下さい。========
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ 参加申込み欄 ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第5回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」参加申込
申込者氏名：
氏名フリガナ：
会社・団体名：
所属部署：
役職：
勤務先〒番号：
勤務先住所：
TEL：
FAX：
E-mail：
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1 平成17年度第1回MEMS産業化共同調査研究委員会の開催
平成17年6月17日（金）、マイクロマシンセンター会議室において第1回MEMS産業化共同調査研究委員会（委員長 オリンパス株式会社 太田 亮氏）が開催されました。
今回の委員会では本事業の最終年度ということを踏まえ、平成17年度実施計画を重点的に討論し、策定しました。また今年度具体化させる事業の一つとしてマイクロマシンセンターにおけるファンドリー共通窓口業務
「MEMStation」の内容について細部を詰め、ファンドリーサービス委員会への提案資料を作成しました。
なお、この事業は7月1日付けでマイクロマシンセンターのホームページを通して実働に移されております。この活動を通して日本のMEMS産業化の加速が期待されます。
2 平成17年度第1回調査研究事業委員会の開催
平成１７年6月16日（木）、マイクロマシンセンターにおいて平成17年度第1回「調査研究事業委員会」（委員長、東京大学教授 藤田 博之氏）が開催されました。
本委員会では今年度の調査研究事業として既に推進中の(1)次世代MEMSプロジェクト検討（自主事業）、(2)国内外技術動向調査（自主事業）、(3)MEMSの規格化戦略調査研究（日機連受託事業）の本年度事業内容、進捗等の報告がなされました。また（４）「長期ビジョン懇談会」（自主事業）では、中長期でMEMS/NEMSに取り組むべき課題を検討しました。最後に、比較的直近において調査研究の対象として取り上げるべきテーマの掘り出しについて議論をして、来年度の調査事業の企画に参考となりました。
3 平成17年度第1回国際交流事業委員会の開催
平成17年6月22日(水)に今年度の第1回国際交流事業委員会(委員長、東京大学教授、下山勲)が開催されました。委員の交代があり、㈱沖センサデバイスの原田吉明委員から同社の宮田敏夫委員に交代しました。
今年度の国際交流事業等ついて事務局から報告がありました。この中で、5月に米国のダラスで開催された第10回国際マイクロマシンサミット、6月に韓国で開催されたTransducer05、スイスで開催されたDTIP(Design,
Test and Package Integration of MEMS & MOEMS)､ ドイツで開催された Nanotrends
2005の調査報告が各参加者からありました。また11月10日（木）に開催予定の第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムのプログラムやその関連事項について報告がありました。
国際交流の二大事業であるマイクロマシンサミットと国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムについて、次のような意見交換が交換されました。
(1) マイクロマシンサミットについて
①今回のサミットはアルゼンチンを含め世界24ヶ国から96名の参加者があり正真正銘の国際会議
であると認識した。
②会議の運営費に苦労しているようであり、資金を提供したスポンサーに引きずられている。
③パーマネントな事務局がないので求心力がなく、会議の運営がずれ易い。
④コミュニティサロン的な風潮から脱皮している。
大きくなると発散していくが、大きくならざるをえない。
⑤発表がテクノロジーに偏ると他の学会との区別がなくなる。
等々のサミットに関する感想がありました。マイクロマシンセンターはサミットの永久事務局として
開催スケジュールの管理、記録の保存、ホームページを開く役割を担っており、今後の対応等につ
いて本委員会の中で検討していくことが決まりました。
(2) 第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムについて
①特別企画として、6月に発足しましたMEMS協議会の活動を示すセッションを設けることになりまし
た。
②今回は多方面からパネラーを招きパネルディスカッションを行うこととなり、効果的な方法について
検討しました。海外からのパネラーを招くと効果的であり、実際に会場に呼ばなくてもVTRレター、
テレビ会議、インターネット会議等を事前に準備し、当日に放映する等の工夫がある。海外からの
講演者をパネラーに入れると良い。等々の意見が出ました。これらの意見を参考にパネルディスカ
ッションのプランを考えていきます。
4 第15回ファンドリーサービス産業委員会の開催
第15回ファンドリーサービス産業委員会（委員長：松下電工（株）毛野拓治氏）が6月17日（金）に開催されました。
ファンドリーサービス産業委員会の今年度の事業内容に関する主な議論の概要はつぎの通りです。
(1)ネットワークシステム構築について
①当委員会が行うファンドリーサービスの共通の依頼窓口用ネットワークシステム
「MEMStation」に関する討議・決定事項は以下のとおりです。
・ホームページ上でのMEMStationサービスは7月1日(金)から実施。これに伴い、テストバージョン
（http://fsic.mmc.or.jp/test）による試行を事前に行います。
・顧客からの依頼内容を、そのまま転送する各社のファンドリー窓口担当者を最低2名決定し、内
容をMMC事務局へ連絡。
②第16回マイクロマシン展における出展者プレゼンテーションに関する討議・決定事項は以下のとお
りです。
・開催日時：11月9日（水）13:00～15:00で２コマとする。
・プレゼン内容：みずほ情報総研、松下電工、フジクラ、日立製作所、オリンパス、オムロン、
（休憩）、沖電気工業、アルバック、産総研、FSIC紹介、パークコンソーシアムの順で、各社10分
間の講演。
(2)MEMS講習会について
①第5回MEMS講習会に関する討議・決定事項は以下のとおりです。
・開催日時：2005年7月26日（火）13:00～17:50～19:00
開催場所：アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館）、6階霧島および6階伊吹
・技術相談会で使用する展示パネルは、最大形状A1版で各社２枚以下。
(3)各社の得意技術紹介
①フジクラ（株）滝沢委員から自社の技術紹介が行われた。
(4)その他
①次回第16回ファンドリサービス産業委員会は10月7日（金）14:00～17:30～に開催。
5 MEMS-ONE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1)第7回知識DB委員会の開催
6月16日（木）に、第6回知識DB委員会（委員長：京都大学 小寺秀俊教授）が開催されました。
今回は、(1)知識データ登録ソフトを使用して、入力をした知識データの登録状況と内容分析、
(2)知識データの著作権に関する扱い方について議論がされました。
(1)では、知識データの現在の登録件数および、登録データの内容分析結果と付随する検討事項、要望事項について議論されました。また、知識データ登録ソフトの機能に関する要望もでました。
(2)では、知識データ提供者が、データベース化した登録データを利用する際のルールが明確にされました。
次回は、知識データベースの利用面における今回指摘された課題を中心に検討を行う予定で、第11回ソフトウェア委員会と同じ8月23日（火）の予定です。
(2)第6回プロジェクト推進委員会の開催
6月23日（木）に、第6回プロジェクト推進委員会（委員長：東京大学 藤田博之教授）が開催されました。
今回も従来の状況報告形式により、4・5月の実績並びに6月の計画について、月間進捗状況の総括表および補足資料を用いて、各機能の開発責任者および各委員会の委員長より報告があり、報告内容に関する質疑応答がありました。
これらの報告から、ソフト開発の状況、知識データおよび材料データの本格的な取得状況、委員会が果している役割等が把握でき、本プロジェクトは概ね計画通り進行している ことが推測されます。
次回の開催は、10月19日（水）に予定されています。
(3)第8回材料･プロセスDB委員会の開催
6月30日（木）に、第8回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田龍太郎氏）が開催されました。
前回までに概ね完成した解析に必要な「材料特性データマップ」のデータ取得が、今後の課題となっています。このマップのデータ取得方法には、このプロジェクトで計測または委員や参加企業から入手するデータ、材料メーカ等の外部から入手するデータ、文献から検索するデータ等があります。
今回のテーマは、データ取得における材料データベースの整理状況に関する報告（データ取得上の課題や検討事項を含む）および、プロセスデータマップに関するものでした。
具体的な報告および検討項目は、以下の通りです。
・材料DBの分類・構造について
・材料メーカへのデータ提供依頼に関して
・成膜材料の残留応力データについて
・材料特性データの登録事例について
・プロセスDBのマップについて
これらの検討により、今後のデータ取得方法や手順、分担が明確になり本格的なデータ取得が開始されます。
次回は、データ登録方法に関連性があることから、知識DB委員会と合同で8月23日（火）に開催することになりました。
1 第2回産業小委員会の開催案内
第2回産業小委員会を、下記のとおり開催します。
記
(1)．開催日時 平成17年７月28日（木）15:00～
(2)．開催場所 財団法人マイクロマシンセンタ－会議室
東京都千代田区神田佐久間河岸67 ＭＢＲ99ﾋﾞﾙ6階
ＴＥＬ03-5835-1870
(3)．議 題 ①第1回懇談会（MEMS産業研究会）の意見を踏まえての協議会設置
案の検討について
②１１月開催のＭＥＭＳフォーラム（国際シンポジウムの特別セッション）
の内容検討について
③その他
(4)．委 員 一般賛助会員および特別賛助会員企業のうち委員に委嘱された者
1 月例経済報告 （平成17年７月）
内閣府が発表した月例経済報告(平成17年７月)の総論部分は以下のとおりです。
（我が国経済の基調判断）
景気は、弱さを脱する動きがみられ、緩やかに回復している。
・ 企業収益は改善し、設備投資は緩やかに増加している。
・ 個人消費は、持ち直している。
・ 雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
・ 輸出、生産は横ばいとなっている。
先行きについては、企業部門の好調さが持続する中で、家計部門も改善しており、世界経済の着実な回復に伴って、景気回復は底堅く推移すると見込まれる。一方、情報化関連分野でみられる在庫調整の動きや原油価格の動向等には留意する必要がある。
（政策の基本的態度）
政府は、６月21日、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2005」を閣議決定した。今後、本基本方針に基づき、構造改革を加速・拡大する。
政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするため、政策努力の更なる強化・拡充を図る。
情報入手：http://www5.cao.go.jp/keizai3/getsurei.html
2 経済産業省「新産業創造戦略2005」の公表
経済産業省は、産業構造審議会新成長政策部会において「新産業創造戦略2005」をとりまとめ、6月13日の経済財政諮問会議に、中川大臣より同戦略を報告しました。
この「新産業創造戦略2005」は、昨年5月に策定した「新産業創造戦略」のフォローアップに加え、今後重点的に取り組むべき政策の具体化・進化を行うものとしてとりまとめられました。「新産業創造戦略2005」の策定にあたっては、広く有識者から意見を求めるべく、産業構造審議会新成長政策部会（部会長・（株）東芝
取締役会長 西室 泰三）を6月8日（水）に開催して了承されています。
同戦略においては、新産業創造の重点分野として(1)燃料電池、(2)情報家電、(3)ロボット、(4)コンテンツ、(5)健康・福祉、(6)環境・エネルギー、(7)ビジネス支援の７分野を挙げ、同時にこれらの産業を支援する高度部材・基盤産業（サポーティングインダストリー）への施策の重点化も重要としている。MEMS産業はサポーティングインダストリーとして位置づけられています。
→ http://www.meti.go.jp/press/20050613003/20050613003.html
1 当センター主催のイベント
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1) 第5回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例
開 催 日： ２００５年７月２６日（火）13:00～17:50～19:00
開催場所： アルカディア市ヶ谷（私学会館）６階
(2) 第１６回マイクロマシン展
開 催 日： ２００５年１１月９日（水）～１１日（金）
開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園
(3) 第１１回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
開 催 日： ２００５年１１月１０日（木）
開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号）
２ その他のイベントのお知らせ
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) IEEE-NANO2005 (5th IEEE Conference on Nanotechnology) (第５回IEEEナノテクノロジーに関する国際会議)
開 催 日：2005年07月11日(月) ～ 15日(金)
開催場所：Nagoya Congress Center
主 催：IEEE 他
情報入手：http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/IEEE-NANO/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(2) SEMICON West 2005
開 催 日：2005年07月11日(月) ～ 13日(水)
開催場所：San Francisco, CA-USA
主 催：semi
情報入手：http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/123/_pa.123/302
(3) IEEE IEMT 2005 (IEEE International Electoronics Manufacturing Technollogy
Symposium)
開 催 日：2005年07月11日(月) ～ 12日(火)
開催場所：San Francisco, CA USA
主 催：IEEE, semi, etc.,
情報入手：http://www.cpmt.org/iemt/
(4) インターオプト'05 (interOptro'05)
開 催 日：2005年07月13日(水) ～ 15日(金)
開催場所：幕張メッセ、国際展示場
主 催：（財）光産業技術振興協会
情報入手：http://www.oitda.or.jp/main/io/io05home-j.html
New
(5) ICMENS 2005 - The 2005 International Conference on MEMS, NANO, and
Smart Systems
開 催 日：2005年07月24日(日) ～ 月日(水)
開催場所：Banff, Alberta, Canada
主 催：ICMENS
情報入手：http://www.icmens.org/ICMENS2005/
(6) Optical MEMS 2005 (IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs
and Their Applications)
開 催 日：2005年08月01日(月) ～ 04日(木)
開催場所：Holiday Club Eden, Oulu, Finland
主 催：IEEE, VTT, etc.
情報入手：http://www.vtt.fi/ele/new/omems2005/
(7) COMS2005
開 催 日：2005年08月21日(日) ～ 25日(木)
開催場所：Baden, Baden, Germany
主 催：Forschungszentrum Karlsruhe and MANCEF
情報入手：http://www.mancef-coms2005.org/
(8) シンポジウム「マイクロ化学チップ研究開発の全容－インテグレーテッドケミストリーからマイクロ・ナノ化学システム」
開 催 日：2005年08月23日(火)
開催場所：神奈川サイエンスパーク
主 催：（財）神奈川科学技術アカデミー
情報入手：http://www.chem.t.u-tokyo.ac.jp/appchem/labs/kitamori/symp2005/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(9) ESSDERC-ESSCIRC 2005
開 催 日：2005年09月12日(月) ～ 16日(金)
開催場所：Grenoble, France
主 催：TIMA Labs, LETI, and IMEP
情報入手：http://www.essderc2005.com/
(10) 第２３回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日：2005年09月15日(木) ～ 17日(土)
開催場所：慶應義塾大学日吉キャンパス
主 催：（社）日本ロボット学会
情報入手：http://rsj2005.sd.keio.ac.jp/
(財)マイクロマシンセンター 後援
(11) MNE 2005 (Micro- and Nano-Engineering 2005)
開 催 日：2005年09月19日(月) ～ 22日(木)
開催場所：Hofburg Conference Center, Vienna, Austria
主 催：MNE 2005 Organising Committee
情報入手：http://www.mne05.org/
(12) MICRO SYSTEM Technologies 2005
開 催 日：2005年10月05日(水) ～ 06日(木)
開催場所：Munich, Germany
主 催： Mesago Messe Frankfurt, Fraunhofer IZM,
情報入手：http://www.mesago.de/
(13) μTAS2005
(The 9th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry
and Life Sciences)
開 催 日：2005年10月09日(日) ～ 13日(木)
開催場所：Boston Marriott Copley PlaceBoston, Massachusetts, USA
主 催：microTAS2005 conference
情報入手：http://www.microtas2005.org/
(14) メカトロテック・ジャパン2005
開 催 日：2005年10月19日(水) ～ 22日(土)
開催場所：ポートメッセ名古屋
主 催：名古屋国際見本市委員会
情報入手：http://www.mect2005.com/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(15) IEEE Sensors 2005
開 催 日：2005年10月31日(月) ～ 11月03日(木)
開催場所：Irvine, California, USA
主 催：IEEE
情報入手：http://ewh.ieee.org/tc/sensors/sensors2005/
New
(16) Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology
開 催 日：2005年11月11日(金) ～ 月日(月)
開催場所：Brisbane, Australia
主 催：SPIE
情報入手：http://spie.org/conferences/calls/05/au/
(17) European Nano Systems 2005 (ENS 2005)
開 催 日：2005年11月14日(月) ～ 16日(水)
開催場所：Paris, France
主 催：TIMA Labs.
情報入手：http://tima.imag.fr/conferences/ENS
New
(18) PowerMEMS 2005 (15th International Workshop on Micro and Nanotechnology
for Power Generation and Energy Conversion Applications）
開 催 日：2005年11月28日(月) ～ 月日(水)
開催場所：東京大学 本郷キャンパス
主 催：東京大学 21世紀CEOプログラム 機械システム イノベーション
情報入手：http://www.conferences.jp/powermems05/
(19) 2005国際ロボット展
開 催 日：2005年11月30日(水) ～ 12月03日(土)
開催場所：東京国際展示場（東京ビッグサイト）
主 催：(社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社
情報入手：http://www.nikkan.co.jp/eve/05ROBOT/index4.html
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(20) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart
Systems
開 催 日：2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所：Sydney, Australia
主 催：SPIE
情報入手：http://spie.org/conferences/calls/04/au/
(21) MEMS 2006 (the 19th IEEE International Conference on Micro Electro
Mechanical Systems)
開 催 日：2006年01月22日(日) ～ 26日(木)
開催場所：Lutfi Kirdar Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催：IEEE, IMTEK
情報入手：http://www.imtek.de/anwendungen/mems2006/
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