 
１ ＭＥＭＳ２００５報告
MEMS2005（IEEE The 18th International Conference on Micro Electro Mechanical
Systems）が、１月３０日（日）～２月３日（木）に米国、マイアミビーチ市のFontainebleau Hilton Resortで開催されました。参加者数は７０２名（事前登録者数：６４２名）で、前回の約６００名を大きく上回りました。事前登録者でみて、３７６名が北米、ヨーロッパが１０４名、アジアが１６２名という内訳になっています。
発表件数は、招待講演３件、口頭発表３８件、ポスター発表１７５件の計２１６件（昨年２１７件）で、昨年同様にシングルセッション形式で運営されました。投稿論文数は７５０件で、昨年の６２９件よりもさらに増加しています。国別の発表件数では、米国：１０５件、日本：４７件、韓国：１６件、以下、ドイツ、デンマーク、オランダ、スイス、台湾と続いています。また、分野別に見ると、化学・バイオ関係（Bio
MEMS、Bioanalytical systems）の発表件数が多く、パッケージング、メカ・フィジカルがこれに次いでいます。
今回の招待講演では、原子時計、液体レンズ、燃料電池の３件について原理的な紹介、技術的な見通し、最近の動向などの報告があり、それぞれが応用を期待されている分野であり、大きく注目されていました。
全体の傾向としては、RF MEMS、Physical Microsystemsは多くの発表がCMOSベースとなり、実用化に向けた展開を感じました。また、今回の会議では、Polymer
MEMSのセッションが設けられ、ポリマー自身のオンチップ加工法の他、加工されたポリマー（プラスチック）とシリコン基板を組み合わせて作製したデバイスなどが報告され、異種材料集積化の動向を感じました。この他、Bioanalytical
Systemsでは細胞のパターニング、特にバクテリオロドプシンをパターニングして作製したイメージャーや、Nano Systemsでのナノ材料の物性測定などの報告に、バイオ、ナノ材料の実用化に向けての大きな進展を感じました。
次回のこの会議は、２００６年１月２２日～２６日の期間でトルコ・イスタンブールにて開催されます。
 
１ 第４回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術の応用」の開催
ファンドリーサービス産業委員会（委員長：オリンパス(株)三原孝士氏）主催の第４回ＭＥＭＳ講習会「ＭＥＭＳ設計・加工技術と応用例」を、１月１７日（月）ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）で開催しました。講習会の内容は下記に示す通りです。
関西で２回目の講習会となりましたが、最近のＭＥＭＳ産業に対する関心の高さから、一般参加者、講習会発表者および事務局担当者を含め、８０名と盛況な講習会となりました。
今回の講習会ではＭＥＭＳ応用例を２例（流体装置用及び自動車用ＭＥＭＳ）紹介するとともに、講習会の中間に技術相談会（各社パネル展示説明）を設けて、個別の相談が可能としました。また、講習会の終了後、別室においてファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者のみなさんとの懇談会を開催しましたが、これも大変盛況でした。
なお、第５回ＭＥＭＳ講習会は７月末に東京で開催の予定です。
プログラム
13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
13:10 新産業創出のキーとなるＭＥＭＳテクノロジー
杉山 進 （立命館大学理工学部 教授）
14:00 ＲＦ－ＭＥＭＳ（マイクロマシンドリレー）の設計技術
西尾 英俊 （オムロン(株) 技術本部 先端デバイス研究所 主事）
14:35 ＭＥＭＳにおける設計・解析支援ソフトの特徴と利用法（フレームワーク環境を中 心に）
前田 幸久 （日本ユニシス・エクセリューションズ(株) ＫＣ推進部
ＭＥＭＳプロジェクト担当部長）
15:10 ＭＥＭＳ加工・製造プロセス
富井 和志 （松下電工(株) 高度ＭＥＭＳ開発センター 部長）
15:45～16:15
技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩
16:15 ＭＥＭＳ応用例(1) 日立における流体装置へのＭＥＭＳ技術の展開
小出 晃 （(株)日立製作所 機械研究所 ＭＥＭＳプロジェクト 主任研究 員）
16:50 ＭＥＭＳ応用例(2) 自動車用ＭＥＭＳの現状と将来動向
鈴木 康利 （(株)デンソー IC技術２部 開発企画室 室長）
17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
三原 孝士 （オリンパス(株) 未来創造研究所 上席研究員）
---- 休憩 17:50～18:00 ----
18:00～19:00 懇談会 （６階会議室５）
２ 第４回専門用語委員会の開催
１月２８日(金)、第4回専門用語委員会が開催されました。今回、IECマイクロマシン専門用語の国際標準化提案がIEC（国際電気標準会議）/ TC47（半導体デバイス）にされており、投票用委員会原案(CDV:
Committee Draft Vote)が承認されましたが、その際に指摘された用語の掲載順序、用語集の共通タイトルの定義と用語集への追加、既存規格(IEC,ISO)での定義との比較について審議しました。３月中に最終国際標準原案(FDIS:
Final Draft International Standard)を完成させる予定です。
３ ２００５年国際マイクロマシンサミット開催案内
２００５年の第１１回国際マイクロマシンサミットが５月１日～４日に米国のダラスにて開催されます。今回のサミットは日本代表団として、東京大学下山勲教授をチーフデリゲートとし、下山敏郎オリンパス(株)最高顧問(MMC名誉理事長)、尾形仁士三菱電機(株)上席常務執行役(MMC理事)、青柳桂一MMC専務理事、平野隆之技術顧問の4名のデリゲートで臨むことになりました。正式な開催案内が届き次第、賛助会員の皆様にお知らせすると共に、オブザーバー参加者の募集を行います。
第１１回マイクロマシンサミット
開催日：2005年5月1日～4日
場所：Renaissance Dallas Richardson Hotel（米国 ダラス）
主催：MANCEF(Micro and Nanotechnology Commercialization Education Foundation)
NIST(The National Institute of Standards and Technology)
Zyvex Corporation
スケジュール：
5月1日：15:00～21:00 参加登録
18:00～21:00 レセプション
5月2日：8:30～17:30 会議
Countries’Meeting
5月3日：8:30～17:30 発表
1. Techno-historical session on MEMS/MST Micromachine
2. Session on industry groups
5月4日: 8:30～13:30 見学
1. Texas Instruments
2. Zyvex Corporation
3. University of Texas at Dallas
４ 平成１７年ロボット３団体賀詞交歓会の開催
１月１３日（木）、（社）日本ロボット工業、（財）製造科学技術センターおよび（財）マイクロマシンセンター合同の新年賀詞交歓会が虎ノ門パストラル新館１階「鳳凰の間」にて、３９３人出席のもと開催されました。
平成１８年は開催日は１月１８日（水）で、同会場で開催する予定です。
５ ＭＥＭＳ―ＯＮＥ関係委員会（ＮＥＤＯ委託研究）の動き
（１）第４回知識ＤＢ／材料・プロセスＤＢ合同委員会の開催
第４回知識DB委員会（委員長：京都大学 小寺秀俊教授）と第４回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田龍太郎氏）の合同委員会が１月１４日（金）に東海大学校友会館において、先生方１０名、研究機関・企業２０名が出席して開催されました。
今回は、データベース画面イメージに関するアンケートが昨年末に実施され、このアンケート集計結果に関する検討が行われました。今後、このアンケート検討結果を基にして、データベースの画面設計およびデータ入力様式の設計が行われます。知識データを担当される先生方は、このデータ入力様式に準じて知識データを作成されることになっています。
また、材料・プロセスＤＢ委員会の議事としては、解析等で使用される材料データの種類、測定項目、計測方法に関する絞込み、材料と解析パラメータに関するマップ作成等に関する検討が行われ、今後の進め方や作業分担が決定されました。
次回の検討課題も相互関係が深いため、２月２４日に合同で行うことが決まりました。
（２）第４回プロジェクト推進委員会の開催
第４回プロジェクト推進委員会（委員長：東京大学 藤田博之教授）が１月１８日（火）に開催されました。今回は１１月、１２月の実績及び１月の予定について、報告及び質疑応答が行われました。報告はプロジェクト全体が俯瞰できる月間進捗報告シートに基づいて、また必要に応じ補足資料を用いて、各機能の開発責任者から開発状況報告が、各委員長からは委員会の活動報告がなされました。本格的な活動が開始されて６ヶ月が経過していますが、これらの報告から、研究開発においては順調且つ精力的に遂行され、各委員会においては熱い議論が交わされていることが分かります。
また、普及活動検討委員会の報告の中で、当センター青柳専務理事より、ＭＥＭＳ－ＯＮＥの普及活動の一環とした「ＭＥＭＳ－ＯＮＥひろば」、「ＭＥＭＳ－ＯＮＥクラブ」開設の報告及びクラブ会員増加への協力依頼がありました。ＭＥＭＳ－ＯＮＥの普及は、本プロジェクトの課題となっているため、プロジェクト実行中より普及活動を行うと伴に、プロジェクト完了後の運営方法等の検討を実施しています。
次回は２ヶ月後の４月８日(金)に開催が予定されています。
（３）第７回ソフトウェア委員会の開催
第７回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス 三原孝士氏）が１月２６日（水）に開催されました。本委員会は今回で７回目を数え、月１回のペースで開催されていますが、検討課題は多く尽きることがありません。
今回は、これまでのユーザとの意見交換において検討課題を残す、フレームワークソフト、プロセス逆問題解析ソフトの機能仕様に関する議論、及び電磁波解析ソフトの評価結果に関する議論が行われました。仕様検討において、ユーザの要望を機能に反映することは重要ですが、欲張り過ぎると使い難くなるため、その判断に苦慮しております。
電磁波解析ソフト評価結果の検討においては、岡山大学から２人の先生に出席していただき、解析手法や解析結果を交えた議論が交わされました。
次回は３月２日に、解析ソフトとのインタフェース仕様、プロセス逆問題解析ソフトの検討状況について議論する予定です。
 
１ 月例経済報告（平成１７年１月）
景気は、一部に弱い動きがみられ、このところ回復が緩やかになっている。
・企業収益は大幅に改善し、設備投資は増加している。
・個人消費は、このところ伸びが鈍化している。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善している。
・輸出、生産は弱含んでいる。
先行きについては、国内民間需要の増加が続いており、世界経済の着実な回復に伴って、景気回復は底堅く推移すると見込まれる。一方、情報化関連分野でみられる在庫調整の動きや為替レート、原油価格の動向等には留意する必要がある。
（ 情報入手 <http://www5.cao.go.jp/keizai3/2005/0119getsurei/main.html> ）
２ 平成１６年度の我が国経済と平成１７年度の経済見通し
（１）平成16 年度の我が国経済
平成16 年度の我が国経済は、一部に弱い動きがみられるが、年度全体を通してみると、企業収益が大幅に改善するなど企業部門が引き続き堅調な中、雇用環境が持ち直す動きがみられ、民間需要中心の回復を続けると見込まれる。
物価については、国内企業物価は原油など素材価格が高騰した影響による上昇がみられるが、消費者物価は前年比で小幅な下落基調が続いている。また、ＧＤＰデフレーター（物価変動指数）（注１）は緩やかな低下を続けている。
こうした物価動向を総合的にみると、我が国経済は、緩やかなデフレ状況が継続すると見込まれる。こうした結果、平成16 年度の実質成長率は、2.1％程度（名目成長率は0.8％程度）になると見込まれる。
（２）平成17 年度の経済見通し
平成17 年度においては、世界経済の回復が続く中で、生産や設備投資が増加するなど企業部門が引き続き改善することを背景に、景気回復が雇用・所得環境の改善を通じて家計部門へ波及する動きが強まり、消費は着実に増加すると見込まれる。これにより、我が国経済は、引き続き民間需要中心の緩やかな回復を続けると見込まれる。
物価については、政府・日本銀行一体となった取組を進めることにより、デフレからの脱却に向けた進展が見込まれる。
こうした結果、平成17 年度の国内総生産の実質成長率は、1.6％程度（名目成長率は1.3％程度）になると見込まれる。
（情報入手 <http://www5.cao.go.jp/keizai1/2005/0121mitoshi.pdf> ）
３ 技術革新を目指す科学技術政策―新産業創造に向けた産業技術戦略―
経済産業省は、平成１８年度から始まる政府ベースの第三期科学技術基本計画の策定に向けて、今後科学技術政策をどうすべきかをまとめ、産業構造審議会 産業技術分科会 基本問題小委員会にて審議し報告書（案）をまとめました。報告書(案)は、下記URLよりご覧になれます。なお、本報告書（案）について広くパブリックコメントを募集していますので、ご関心のある方はよろしくお願いします。
（URL： <http://www.meti.go.jp/feedback/downloadfiles/i50111bj.pdf> ）
（情報入手 <http://www.meti.go.jp/feedback/data/i50111aj.html> ）
 
１ 当センター主催のイベント
・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
（１）マイクロ・ナノ先端技術交流会「バイオインフォマティクス研究の最前線」
～生命現象のシステム的理解から創薬へ～
開 催 日：平成１７年２月１８日（金）15:00～17:00～18:30
講 師：独立行政法人 産業技術総合研究所 生命情報科学研究センター
秋 山 泰 センター長
開催場所：(財)マイクロマシンセンター 会議室
参 加 費：１，０００円／人
２ その他のイベントのお知らせ
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
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(1) 第3回ナノテクノロジー総合シンポジウム(JAPAN NANO 2005)
開 催 日： 2005年02月21日(月) ～ 月日(火)
開催場所： 東京ビッグサイト（東京，江東区有明）
主 催： 文部科学省ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰ総合支援プロジェクトセンター
情報入手： http://www.nanonet.go.jp/japanese/event/japannano2005/
(2) nano tech 2005 国際会議
開 催 日： 2005年02月24日(木)
開催場所： 東京ビッグサイト
主 催： ano tech実行委員会、日経ナノテクノロジー
情報入手： http://www.ics-inc.co.jp/nanotech/i_confer.html
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(3) 第１４回インテリジェント材料システムシンポジウムおよびアジアインテリジェント
材料システムワークショップ
開 催 日： 2005年03月09日(水) ～ 月日(木)
開催場所： 東京工業大学 ディジタル多目的ホール
主 催： （社）未踏科学技術協会 ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ材料ｼｽﾃﾑﾌｫｰﾗﾑ
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(4) Sensor Expo Japan 2005 (センサ総合展2005)
開 催 日： 2005年04月06日(水) ～ 08日(金)
開催場所： 東京ビッグサイト
主 催： ﾌｼﾞｻﾝｹｲﾋﾞｼﾞﾈｽｱｲ
情報入手： http://www.business-i.jp/event/sensor/index2.htm
(財)マイクロマシンセンター 後援
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(5) センサ・アクチュエータ・マイクロマシン／ウィーク 2005 総合シンポジウム
開 催 日： 2005年04月06日(水) ～ 月日(火)
開催場所： 東京ビッグサイト
主 催： 次世代センサ協議会
情報入手： http://www.cnt-inc.co.jp/jisedai/2005week.htm
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(6) HANNOVER MESSE ハノーバー・メッセ2005 『マイクロテクノロジー』
マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市
開 催 日： 2005年04月11日(月) ～ 15日(金)
開催場所： Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場）, Germany
主 催： Deutsche Messe AG
情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/
(7) DTIP 2005 (Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of
MEMS/MOEMS)
開 催 日： 2005年06月01日(水) ～ 03日(金)
開催場所： Montreux, Switzerland
主 催： Tima, IEEE, etc.
情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/Dtip/Dtip2005/
(8) JPCA SHOW 2005
開 催 日： 2005年06月02日(木) ～ 04日(土)
開催場所： 東京ビッグサイト
主 催： 社団法人日本プリント回路工業会
情報入手： http://www.jpcashow.com/
(財)マイクロマシンセンター 後援
(9) Transducers’05 - the 13th International Conference on Solid-State Sensors,
Actuators and Microsystems
開 催 日： 2005年06月05日(日) ～ 09日(木)
開催場所： Seoul, Korea
主 催： Korean Sensors Society
情報入手： http://www.transducers05.org
(10) ロボティクス・メカトロニクス講演会2005
開 催 日： 2005年06月09日(木) ～ 11日(土)
開催場所： 神戸国際展示場
主 催： （社）日本機会学会
情報入手： http://www.rescuesystem.org/robomec2005/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(11) 第６回インテリジェント材料国際会議 The 6th International Conference on
Intelligent Materials and Systems (ICIM ’05)
開 催 日： 2005年07月04日(月) ～ 06日(水)
開催場所： アルカディア市ヶ谷
主 催： （社）未踏科学技術協会 ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ材料ｼｽﾃﾑﾌｫｰﾗﾑ
情報入手： http://www.sntt.or.jp/imf/ICIM'05/ICIM'05_Top.htm
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(12) IEEE-NANO2005 (5th IEEE Conference on Nanotechnology)
(第５回IEEEナノテクノロジーに関する国際会議)
開 催 日： 2005年07月11日(月) ～ 15日(金)
開催場所： Nagoya Congress Center
主 催： IEEE 他
情報入手： http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/IEEE-NANO/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(13) 第２３回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日： 2005年09月15日(木) ～ 17日(土)
開催場所： 慶應義塾大学日吉キャンパス
主 催： （社）日本ロボット学会
情報入手： http://rsj2005.sd.keio.ac.jp/
(財)マイクロマシンセンター 後援
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(14) MICRO SYSTEM Technologies 2005
開 催 日： 2005年10月05日(水) ～ 月日(木)
開催場所： Munich, Germany
主 催： Mesago Messe Frankfurt, Fraunhofer IZM,
情報入手： http://www.mesago.de/
(15) メカトロテック・ジャパン2005
開 催 日： 2005年10月19日(水) ～ 22日(土)
開催場所： ポートメッセ名古屋
主 催： 名古屋国際見本市委員会
情報入手：
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(16) 2nd International Symposium on Nanomanufacturing
開 催 日： 2005年11月03日(木) ～ 05日(土)
開催場所： Daejeon, Korea
主 催： Nano Research Institute, Korea Institute of Machinery & Materials,
BK 21 Institute of Mechanical Engineering
情報入手： http://isnm2004.kaist.ac.kr/
(17) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart
Systems
開 催 日： 2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所： Sydney, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/04/au/
 
１ 第３回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催案内
産学官の専門家が集う最先端技術交流会を下記のとおり企画いたしましたので、参加方よろしくお願いします。
記
開催日時 平成１７年２月１８日（金）15：00～18：30
場 所 （財）マイクロマシンセンター会議室
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67
MBR９９ビル ６階
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5835-1873
講 師 独立行政法人 産業技術総合研究所
生命情報科学研究センター長 秋山 泰
講演題目 「バイオインフォマテックス研究の最前線」
～ 生命現象のシステム的理解から創薬へ ～
参加費 MMC賛助会員企業 1,000円
一般参加者 5,000円
連絡先 TEL：03-5835-1870 町田 又は 織田まで
２ 平成１６年度第４回運営政策小委員会及び運営委員会の開催
開催日時 平成１７年３月４日（金）14：00～運営政策小委員会
15：00～運営委員会
開催場所 東京都千代田区神田佐久間河岸67MBR99ビル6階
財団法人 マイクロマシンセンター会議室
議 題 １、MEMS－ONEプロジェクトの進捗状況について
２、平成１７年度事業計画について他
３ 平成１６年度第３回評議員会及び第２回通常理事会の開催
開催日時 平成１７年３月２９日（火）14：00～評議員会
15：00～通常理事会
開催場所 東京都千代田区霞ヶ関３－４－２
財団法人 商工会館７階会議室
議 題 １、平成１７年度事業計画について
２、平成１７年度収支予算について
３、平成１７年度委員会構成等について他
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