No.2004-04
2004年4月13日発行
目  次
Ⅰ 国内外トピックス
  1 新聞記事
Ⅱ マイクロマシンセンターの動き
  1 マイクロマシンセンター理事長交代
  2 平成15年度・第3回運営政策小委員会、第3回運営委員会および第3回評議員
    会、第2回通常理事会の開催
  3 第3回業務委員会の開催
  4 調査研究委員会報告書の作成完了
  5 第5回MEMS産業化共同調査委員会の開催
Ⅲ 行政動向
  1 先端計測分析技術・機器開発事業の公募について
  2 「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」事業の公募について
  3 「平成16年度共同実施等推進基礎調査」CDM/JI実施支援事業補助制度の
    公募について
Ⅳ 外部団体情報
  1 産総研・MEMSビジネス棟落成記念シンポジウムおよび記念式典の開催
Ⅴ イベント案内
  1 当センター主催のイベント
  2 その他のイベントのお知らせ
Ⅵ その他会員への情報
  1 マイクロマシンデータベースのアクセスの変更について
  2 マイクロマシンセンターの人事異動


本  文
Ⅰ 国内外トピックス

1 新聞記事


3月11日 日刊工業新聞
 鋳型なしで微細凸構造:レーザー照射で水中成長;東大が新技術

 東京大学の樋口俊郎教授らのグループは10日、レーザーを利用したマイクロメートルサイズの凸構造作製の新技術を開発したと発表した。パラフィンの上に厚さ1ミリメートル程度の水をのせてレーザーを照射すると、レーザーを吸収して水中で凸構造が出来る。現在、PET樹脂などの樹脂材料でもこの技術が使えるか可能性を探っており、マイクロチャネルや微小流体デバイスなどへの応用を目指している。これまで、波長1064マイクロメートルのYAGレーザーを用いて、パラフィンに直径100マイクロメートルの柱や幅0.4ミリメートルの壁の作製に成功した。最小で10マイクロメートル程度の突起が作れるという。

3月16日 日経産業新聞
 東北大、企業内に研究室:メムスとMEMS開発

 東北大学の江刺正喜教授は2004年度、微小電子機械システム(MEMS)のメムス・コア(仙台市、本間孝治社長)が仙台市に設ける新工場に企業内研究室を設ける方向で検討に入った。産学官で設立する任意団体の「MEMSパークコンソーシアム」を軸に、敷地の一部を使って新技術の開発を促進。企業に提供する。メムス社は仙台市泉区に設ける新工場に、これまでの6インチウエハーラインに加えて4インチラインも設置。多品種、少量の生産体制を拡充する。

3月17日 電波新聞
 “世界最小”でギネス認定:東芝の0.85型HDD;05年版世界記録に掲載

 東芝が開発した0.85型HDD(ハード・ディスク・ドライブ)がギネス社より「世界最小のHDD」として認定され、今年9月に英国で発行予定の2005年版「ギネス世界記録」に掲載されることになった。同社の0.85型HDDは、寸法が縦32×横24×厚さ3-5ミリメートルで10グラム以下と、従来の1.8型HDDの1/4程度で、モバイル情報機器への搭載に適している。記憶容量は2-4GBを想定しており、音楽や映像などの大容量コンテンツを保存することができる。

 3月17日 日経産業新聞
 露光処理せず微細配線:工程を1分に短縮;東芝

東芝は直径10ナノ-100ナノメートルサイズの微小粒子(ナノ粒子)を並べて自在に半導体の配線や素子をつくる技術を開発した。粒子を並べるパターンを微細なスタンプや印刷で決めるという簡単な工程のため、現在の露光処理方式で1時間以上かかっていたのを1分程度に短縮できる。次世代半導体製造技術として2-3年後の実用化を目指す。新技術はマイナスに帯電したナノ粒子がプラスに帯電した部分にくっつく性質を利用。実際に直径70ナノメートルの粒子を幅100ナノメートルの線内に整列させた。直径50ナノメートルの粒子を50ナノメートル間隔で碁盤の目のように並べることにも成功した。微細な磁性体を並べるのにも使えるため、ハードディスクなどの高集積化のもつながるともいう。

 3月18日 日経産業新聞
 磁気の観察精度5倍:顕微鏡の針にナノチューブ;産総研

産業技術総合研究所などは17日、物質の磁気情報を世界最高の精度で観察できる顕微鏡の開発に成句したと発表した。表面を加工したカーボンナノチューブを利用することで、従来の市販品に比べて制度が5倍に向上した。開発したのは「磁気力プローブ顕微鏡」。ハードディスク駆動装置(HDD)の開発などに利用する。顕微鏡の針を、このカーボンナノチューブに取り換えることで、分解能を10ナノメートルまで高めた。

 3月19日 日刊工業新聞
 製造受託事業を加速:メカトロなど開拓 多品種少量生産に対応;沖電気

沖電気工業は、生産サービスカンパニー(MSC)での製造受託サービス(EMS)事業を加速する。多品種少量生産に対応し、メカトロ技術や高密度実装技術、鉛フリーなどの環境対応を積極的に打ち出していく。MEMS事業の03年度の売上高は100億円規模になる見込み。3年後の06年度には300億円への売上拡大を目指す。沖電気のMSCは、多品種少量に対応することで欧米系の大規模MEMS会社と差別化。電子機器、メカトロ機器分野を中心に現在、約80社から製造を受託している。

 3月24日 日刊工業新聞
 管径5mm 超小型X線管試作機を完成:体内挿入、患部に直接X線;名工大・東芝など

名古屋工業大学の奥山文雄名誉教授は東芝、東芝電子管デバイスと共同で、管径5ミリメートルの超小型X線管の試作機を完成した。カーボンナノチューブ(CNT)からの電界放出電子を用いてX線を作っているのが特徴。この試作機はX線源を超小型化するため、パラジウム細線の先端に触媒成長させたCNTを用いた。X線源を体内に挿入し、患部にピンポイント照射してがんを検査するなど、医療用途に応用が期待できる。

 3月22日 日本経済新聞
 DNA種類1分で解析:ナノテクチップ活用;徳島大など時間短縮

徳島大学や東京大学などの共同研究グループはDNAの高速解析技術を開発した。ナノテクノロジー(超微細技術)を応用したチップを使う。新技術は徳島大の馬場嘉信教授、東大の片岡一則教授、東京理科大の長崎幸夫教授、京都大の吉川研一教授らのグループが開発した。直径数ナノメートルの高分子製の球と、細胞から取り出したDNAとを水中で混ぜ、微細な溝を刻んだチップに流し込む。ぎっしり詰まった球の間を進むDNAの速度の違いによって、DNAの種類を特定する。DNAの分子量が1%違えば判別可能。

 3月26日 日本経済新聞
 米MITなどと研究提携:オリンパス

オリンパスは4月から米マサチューセッツ工科大学(MIT)や産業技術総合研究所など内外の5研究機関と協力し、バイオテクノロジーやナノテクノロジーなどの基礎研究を強化する。10年後の事業化をにらんで画像技術などの研究に取り組み、競争力強化につなげる。海外の研究機関ではMITのほか米パデュー大と組み、ITや画像技術の共同研究に着手。シンガポールの研究機関とも脳や認知科学などの共同研究を始める。他に欧州でも提携を計画中。国内では産総研のほか、大学の研究者らでつくる非営利組織(NPO)「ウエアラブル環境情報ネット推進機構」と協力、いつでもどこでも望みの情報を入手できるユビキタス技術の研究を6月にも始める。

 3月29日 日経産業新聞
 線幅20ナノで回路描画:特許出願 光線照射部の幅調整;早大・鷲尾研究室が技術確 立

早稲田大学理工学総合研究センターの鷲尾方一教授の研究室は、半導体ウエハー上に線幅が20ナノメートルの微細な回路を描画できる技術を確立した。鷲尾教授と豊田英二郎客員教授が共同で特許を出願した。現時点で実用化されている最小線幅は90ナノメートル。鷲尾研究室の技術が実用化されれば半導体などの小型・高性能化に拍車がかかる見通しだ。従来は照射光の拡散を防ぐためにマスクとウエハーとの距離を10マイクロメートルまで近づけている鷲尾研究室は両者の距離を20マイクロメートル以上に広げ、拡散した複数の光線がウエハー上で重なるようにした。重なった部分が回路になる。ウエハーとマスクの距離を伸縮して光線の重複照射部分の幅を調整する技術を確立し、幅を20ナノメートルまで縮めることに成功した。光線は紫外線より波長が短いエックス線を使う。

 3月29日 日経産業新聞
 MEMS研究をNEDOが公募

新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は微細加工技術で電子部品などを小型化するMEMS(微小電子機械システム)分野の研究テーマを公募する。MEMSの設計支援ツールの開発などが対象で、4月19日まで受け付ける。2004年度の予算総額は約4億円で、5件の採択を予定。1件あたりの研究費は約5000万―1億5000万円。NEDOは公募したテーマをもとに、MEMSの専門知識がなくても微小な電子機械を設計できるような支援技術の実用化を目指す。

 4月6日 電波新聞
 高機能3軸加速度センサー:日立金属が世界最小サイズ品

日立金属は5日、世界最小サイズの高機能3軸加速度センサーを開発。今月からサンプル出荷を開始すると発表した。3軸加速度センサーとしての機能に加え、傾斜センサー機能や自由落下検出機能、温度センサー出力端子を装備し、高精度でなおかつ4.8ミリ角の小型パッケージを実現している。同センサーは、温度による特性の変化や、製品ごとの感度のばらつきによる誤差を搭載しているICによって補正する。検出精度は、総合検出誤差10%以下。用途はITS管径や携帯端末機器、ゲーム機器の入力デバイス、電子ペット、医療機器など。


Ⅱ マイクロマシンセンターの動き

1 マイクロマシンセンター理事長交代

 平成15年度第3回評議員会において、任期満了に伴う新理事候補は承認されました。下山敏郎理事長の3月31日付退任に伴い、野間口 有理事が新理事長に選任されました。
 なお、下山敏郎前理事長は名誉理事長に推挙されました。


2 平成15年度・第3回運営政策小委員会、第3回運営委員会および第3回評議員会、  第2回通常理事会の開催

 3月11日(木)に、運営政策小委員会および運営委員会、3月25日(木)に評議員会及び通常理事会が開催されました。主な審議事項は次のとおりです。
(1) 平成16年度事業計画及び収支予算について
前年度に引き続き、マイクロマシン/MEMSの産業化を推進し、バイオ技術、ナノテク、IT等の先端技術分野の動向を踏まえつつ、次世代マイクロマシン、NEMS等の基盤技術の確立を目指すことをを基本方針として、①調査及び研究事業、②情報収集及び提供事業、③マイクロマシンに関する内外関係機関との交流及び協力事業、④標準化推進事業、⑤普及啓発事業の5つの事業を実施する平成16年度事業計画、およびそれらの実施に関する総額1億8千万円の平成16年度収支予算が承認されました。
(2) 役員の改選
 評議員会において、平成16年4月1日から平成18年3月31日までの期間の役員及び監事が選任されました。
  理 事   野間口 有  三菱電機株式会社 執行役社長
   〃     青柳 桂一   財団法人マイクロマシンセンター 専務理事
   〃     山川 洋幸   株式会社 アルバック 常務取締役
   〃    伊野 昌義   沖電気工業株式会社 代表取締役専務
   〃    市原 達朗   オムロン株式会社 取締役副社長
   〃    寺田 昌章   オリンパス株式会社 取締役常務執行役員
    〃     吉年 慶一    三洋電機株式会社 執行役員
   〃    三宅 智久   JUKI株式会社 常務取締役
   〃    松原 宏長   住友電気工業株式会社 常務取締役
   〃    平田 喜信   セイコーインスツルメンツ株式会社」 執行役員
   〃    鶴島 克明    ソニー株式会社 専務取締役CTO
   〃    真鍋 正巳    株式会社デンソー 常務取締役
    〃    有信 睦弘    株式会社東芝 執行役常務
   〃    田村 忠男   社団法人日本ロボット工業会 専務理事
   〃    大田黒俊夫 株式会社日立製作所 MEMS推進室長
   〃    稲葉 善治   ファナック株式会社 代表取締役社長
   〃    稲田 浩一  株式会社フジクラ 代表取締役専務
   〃     吉本 和彦    株式会社富士総合研究所 専務取締役
   〃    原嶋 孝一   富士電機ホルディングス株式会社 エグゼクティブオフィサ-
   〃    古池 進     松下電器産業株式会社 代表取締役専務
   〃     菊地 絋      松下電工株式会社 副社長執行役
   〃    柘植 綾夫   三菱重工業株式会社 常務取締
   〃    尾形 仁士   三菱電機株式会社 上席常務執行役
   〃    冨士原由雄  三菱マテリアル株式会社 取締役副社長
   〃    濱田 兼幸   株式会社安川電機 取締役
   〃    永島  晃      横河電機株式会社 取締役
  監 事   庄野 敏臣   (社)日本工作機械工業会 専務理事
   〃     金子 和夫    (社)電子情報技術産業協会 専務理事
(3) 評議員の改選
 理事会において、平成16年4月1日から平成18年3月31日までの期間の評議員が選任されました。
  評議員  梅谷 陽二    知能システム研究所 代表
   〃    軽部 征夫    東京工科大学 バイオニクス学部 学部長
   〃    小石川貞雄   中央電力協議会 理事・事務局長
   〃      児玉 文雄    芝浦工業大学 大学院 工学マメネジメント研究科長 教授
   〃    桜井 靖久    東京女子医科大学 名誉教授
   〃    佐藤 壽芳    東京大学 名誉教授
   〃    下山 勲      東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授
   〃    末松 安晴    国立情報学研究所 所長
   〃    杉浦 賢      財団法人ファナックFAロボット財団 理事長
   〃    杉山 進      立命館大学 理工学部 教授
   〃    高久 史麿    自冶医科大学 学長
   〃     高園 武治    科学技術振興事業団 理事
   〃    中澤 克紀    国士舘大学 工学部機械工学科 教授
   〃    中島 尚正    放送大学 東京多摩学習センター所長 教授
   〃    中村 桂子    JT生命誌研究館 館長
   〃    仁田 新一    東北大学 加齢医学研究所 教授
   〃    吹譯 正憲    社団法人電子情報技術産業協会 専務理事
   〃    藤咲 浩二    社団法人日本産業機械工業会 専務理事
   〃    藤田 博之    東京大学 生産技術研究所 教授
   〃    藤正 巌      政策研究大学院大学 政策プロジェクトセンター 教授
   〃    古川 俊之    国立大阪病院 名誉院長
   〃    三浦 宏文    工学院大学 学長
   〃    吉川 弘之    産業技術総合研究所 理事長
        

3 第3回業務委員会の開催


 平成15年度第3回業務委員会(委員長:オリンパス株式会社 舘岡斉氏)が3月12日(金)に開催されました。
平成15年度事業の活動結果及び審議結果は以下のとおりです。
1) 委員交代
 住友電気工業(株)は松田委員から長谷川委員に交代、富士電機ホールディングス(株)は宮内委員から森委員に交代した。
2)広報誌の編集・出版
 ・和文広報誌:基準頁数8頁、モノクロで4回/年(43号~46号)出版およびホーページへ記載 公開。
 ・英文広報誌:4回/年(和文広報誌の英訳版)ホームページのみ記載・公開。
3)ホームページの維持・管理
 ・利用し易いホームページにするため内容見直しを行い、平成16年1月15日に全面改訂した。  従来の当センターデータベースの内容も、ホームページの賛助会員専用ページに移し、会員 用ID、パスワードで閲覧できるようにした。
4)第14回マイクロマシン展の開催
 ・11月12日~14日に科学技術館(東京・北の丸公園)で開催。総入場者数:8,793名、出展者数:238団体(323小間)と大盛況。
5)ファンドリーサービス産業委員会主催のMEMS講習会開催
 ・第1回MEMS講習会:7月18日中央大学駿河台記念館で開催。参加者総数:134名。
 ・第2回MEMS講習会:1月20日ぱ・る・るプラザ京都で開催。参加者総数:102名。
6) 今後の当センターの業務展開について
  青柳専務理事より当センターの過去から将来に亘る業務内容全般に関する説明が行われた。
7) その他
 ・業務委員会委員の任期が今年度で終了(2年間)するが、平成16年度も引き続き委員を   お願いすることに決定した。
 ・平成16年度第1回業務委員会は、5月31日(月)15:00~17:30開催予定。


4 調査研究委員会報告書の作成完了


 平成15年度の事業活動に関し、財団法人産業研究所から委託を受けた「MEMS関連市場の現状と日本の競争力に関する調査研究」報告書、社団法人日本機械工業連合会から委託を受けた「新機能性材料のNEMSへの展開」報告書、国内外技術動向調査部会の自主事業の「分野別動向調査」報告書、委託事業の「MEMS産業化共同調査研究 平成15年度実施報告書」が完了しました。会員の皆様の今後の活動に有効活用されますことを期待しています。

4.1 新機能性材料のNEMSへの展開に関する調査研究
 新機能性材料のNEMSへの展開に関する調査研究委員会(委員長 田畑修 京都大学教授)を設置し、4回の委員会と委員会外の研究情報交換によって、
 ・次世代MEMS/NEMSに期待される新機能性材の調査研究
 ・次世代MEMS/NEMSに期待される新機能性材料の加工に関する調査研究
 ・新機能性材料を必要とするMEMS/NEMS応用に関する調査研究
を実施し、NEMSへの展開を促進するため、異分野研究者の交流、トップダウンとボトムアップ融合領域アプローチ、社会ニーズとのマッチングの必要性等の提言を行い報告書としてまとめました。

4.2MEMS関連市場の現状と日本の競争力分析に関する調査研究
 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)技術には製造業の基盤技術としての期待があり、その産業化が注目され、進められています。本調査研究では、MEMS市場の規模、産業構造の現状、MEMS先進国とされる米国の実態調査に基づきMEMS関連市場の現状を把握するとともに、日本のMEMS産業の競争力について調査研究を行い、今後のMEMS産業の発展に資することを目的とした調査研究を行い、提言とともに報告書としてまとめました。
 
4.3 「平成15年度分野別動向調査報告書」が完成
 国内外技術動向調査部会(部会長:庄子習一 早稲田大学教授)は、平成5年度より継続してマイクロマシン関連技術の国内外研究開発動向調査事業を行って来ましたが、分野別動向調査はこの事業の一環として主に国際会議の論文集をもとに、技術分野別に研究開発動向を調査分析したものです。平成15年度は上期にTRANSDUCERS ’03の発表分類調査および口頭発表の分野別発表動向調査を、下期はMEMS2004の発表分類調査と分野別動向調査を実施しました。本報告書は、国内外技術動向調査事業の成果として、上述の内容を平成15年度の分野別動向調査結果としてまとめたものです。近々、賛助会員の方々には連絡窓口宛て配布の予定です。


5 第5回MEMS産業化共同調査委員会の開催

 第5回MEMS産業化共同調査委員会(委員長:オリンパス㈱ 太田亮氏)が3月26日(金)に開催されました。今回の委員会では15年度の調査研究成果のまとめと16年度の調査研究の重点課題について討議されました。
15年度の成果については事務局作成の報告書が審議され一部修正を含めて了承されました。また要約版を作成しこれを希望者配布することになりました。16年度の調査研究では、15年度年度取り上げた課題の深耕を図ることと海外のMEMS企業&ネットワークのフォローを強化することになりました。  


Ⅲ 行政動向

1 「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」の委託先公募について


 NEDO技術開発機構では、「新製造技術プログラム」の一環として、平成16年度から平成18年度まで「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」を実施します。本プロジェクトから得られる研究成果の実用化に向けて研究開発を実施するための公募が平成16年3月19日開始されました。
 公募する研究開発の内容
(1)フレームワークソフトの開発   
(2)機構解析シミュレータの開発
(3)機能拡張ソフトの開発
(4)プロセス解析ツールの開発    
(5)データベース(知識データベース、材料・プロセスデータベース)の開発
 研究開発期間
  平成16年度から平成18年度までの3年間
 事業規模
  平成16年度の予算は、404百万円
 応募期間
  平成16年3月19日(金)~4月19日(月)17:00迄)郵送、持参
詳細はNEDOのホームページをご覧下さい。
  ホームページアドレスはhttp://www.nedo.go.jp/です。


2 先端計測分析技術・機器開発事業の公募について


 文部科学省事業「先端計測分析技術・機器開発事業」の公募が科学技術振興機構(JST)より3月29日付で開始されました。
 本事業は、最先端の研究ニーズに応えるため、将来の創造的・独創的な研究開発に資する先端計測分析技術・機器およびその周辺システムの開発を行うために広く開発課題を公募するものです。なお、公募期間は3月30日(火)~5月24日(月)(消印有効)となっております。
 詳細はJSTのホームページをご覧下さい。
  ホームページアドレスはhttp://www.jst.go.jp/pr/info46/index.htmlです。


3 「平成16年度共同実施等推進基礎調査」CDM/JI実施支援事業補助制度の公募について


  ・国際エネルギー消費効率化等強力支援事業
  ・海外地球温暖化防止支援技術開発
 本事業は、省エネルギー技術及び石油代替エネルギー技術の導入を通じて温室効果ガスの排出削減に資するとともに、相手国の持続可能な開発に貢献するプロジェクトについてのFS調査を実施し、わが国事業者によるCDM/JI実施に結びつく有望なプロジェクト発掘するものです。
 調査の種類
  TYPE:A(第3者期間によるPDDの有効性審査を実施しないもの)
  TYPE:B(第3者期間によるPDDの有効性審査まで実施するもの)
 委託額
  TYPE:A 調査 1,000万を上限/1件
  TYPE:B 調査 4,000万を上限/1件
 応募期間
  平成16年3月30日(火)~平成16年4月28日(水)17時必着
詳細はNEDOのホームページをご覧下さい。
  ホームページアドレスはhttp://www.nedo.go.jp/です。


Ⅳ 外部団体情報

1 産総研・MEMSビジネス棟落成記念シンポジウムおよび記念式典の開催


 産業技術総合研究所では平成16年3月10日~11日の2日間に亘り、MEMSビジネス棟落成の記念シンポジウム及び記念式典が産学官の関係者多数の出席のもとに開催されました。建設された施設は、2階建て、建屋の1階はクリーンルーム(約300m2、クラス1000)、2階は共同研究室65m2が4室確保されています。主要設備は電子線描画装置、超焦点ステッパー、ICPエッチング装置などMEMS開発試作に必要な最先端設備が設置されています。この施設には、MEMS実用化技術の研究開発&産業化、産学との連携(国プロ、企業との共同研究、人材育成)、MEMSファンドリー事業の推進等への貢献が期待されています。


Ⅴ イベント案内 

1 当センター主催のイベント


・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870

(1) 第10回国際マイクロマシンサミット
 開 催 日: 平成16年5月3日(月)~5日(水)
 開催場所: フランス・グルノーブル

(2) 第15回マイクロマシン展
 開 催 日: 平成16年11月10日(水)~12日(金)
 開催場所: 科学技術館・東京北の丸公園


(3) 第10回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
 開 催 日: 平成16年11月11日(木)
 開催場所: 科学技術館(東京都千代田区北の丸公園2番1号)


2 その他のイベントのお知らせ


 ・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
 ・番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
 
(1) HANNOVER MESSE (ハノーバー・メッセ国際産業技術見本市)
 開 催 日: 2004年04月19日(月) ~ 24日(土)
 開催場所: Hannover Messe, Germany
 主  催: Deutsche Messe AG
 情報入手: http://www.hannovermesse.co.jp/
 http://www.hannovermesse.de/

(2) TECHNO-FRONTIER 2004
 開 催 日: 2004年04月21日(水) ~ 23日(金)
 開催場所: 日本コンベンションセンター (幕張メッセ)
 主  催: (社)日本能率協会
 情報入手: http://www.jma.or.jp/TF/
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(3) MEMS IV: 4th Annual MEMS Technology Seminar
 開 催 日: 2004年04月26日(月) ~ 28日(水)
 開催場所: Hyatt Regency Los Angeles, Los Angeles, CA, USA
 主  催: ASME
 情報入手: http://www.asme.org/education/techsem/mems/

(4) DTIP 2004 (Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS)
 開 催 日: 2004年05月12日(水) ~ 14日(金)
 開催場所: Montreux, Switzerland
 主  催: Tima, IEEE, etc.
 情報入手: http://tima.imag.fr/conferences/dtip

New
(5) マイクロマシン・MEMS研究の最新動向コース
 開 催 日: 2004年06月01日(火) ~ 04日(金)
 開催場所: かながわサイエンスパーク
 主  催: (財)神奈川科学技術アカデミー
 情報入手: http://www.actuator.de/

(6) ロボティクス・メカトロニクス講演会2004 (ROBOMEC 04 名古屋)
開 催 日: 2004年06月18日(金) ~ 20日(日)
開催場所: 名城大学
主  催: (社)日本機械学会
情報入手: http://www.toyota.nitech.ac.jp/robomec04/
(財)マイクロマシンセンター 後援

New
(7) Optical MEMS 2004(2004年光マイクロマシン国際会議)
 開 催 日: 2004年08月22日(日) ~ 26日(木)
 開催場所: 香川県高松市、サンポート高松
 主  催: 電気学会センサ・マイクロマシン準部門
 情報入手: http://www.conferences.jp/optical-mems04/

New
(8) COMS2004 (The 9th International Conference on the Commercialization of Micro and Nano Systems)
 開 催 日: 2004年08月29日(日) ~ 09月02日(木)
 開催場所: Alberta, Canada
 主  催: MANCEF
 情報入手: http://www.mancef-coms2004.org/

(9) μTAS2004 (The 8th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences)
 開 催 日: 2004年09月26日(日) ~ 30日(木)
 開催場所: Malmo, Sweden
 主  催:
 情報入手: http://www.microtas2004.lu.se/

New
(10) 第6回国際シンポジウム「ロボットとの共存」- Living with Robots - Symbiosis of Robots and Human Being -
 開 催 日: 2004年10月04日(月) ~ 05日(火)
 開催場所: 東京、一橋記念講堂
 主  催: (社)日本工学アカデミー
 情報入手: http://www.eaj.or.jp
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(11) European Micro and Nano Systems 2004 (EMN04) Advances & Applications for Micro & Nano Systems
 開 催 日: 2004年10月20日(水) ~ 21日(木)
 開催場所: ESIEE, Noisy le Grand, Paris, France
 主  催: Tima, ASME, and etc.
 情報入手: http://tima.imag.fr/conferences/EMN/


Ⅵ その他会員への情報

1 マイクロマシンデータベースのアクセスの変更について 
    
   当センターでは、マイクロマシンに関する情報を整理し、関係者へその情報をデータベース化しております。その成果を賛助会員にセンターのサーバにアクセスして利用いただいておりましたが、サーバ内でお知らせのとおり、3月31日を持ってセンターのサーバは廃止して、今後はマイクロマシンセンターのホームページ(http://www.mmc.or.jp/)の賛助会員ページの中で一本化にすることにいたしました。賛助会員ページ開封のためのID、パスワードは賛助会員の連絡窓口担当者にお尋ね下さい。



2 マイクロマシンセンターの人事異動

   
   平成16年3月11日付
  
     山川 浩二    調査研究部主任研究員を命ずる

   平成16年4月1日付

     井上 正巳    調査研究部次長を命ずる



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