No.2003-12
2003年12月10日発行
目  次
Ⅰ 国内外トピックス
  1 新聞記事
  2 委託業務成果発表リスト(マイクロマシン技術の研究開発)
Ⅱ マイクロマシンセンターの動き
  1 第14回マイクロマシン展開催される
  2 第9回国際マイクロマシン・ナノシンポジウム開催される
  3 第3回新機能性材料のNEMSへの展開に関する調査検討委員会の開催
  4 薄膜材料疲労試験に関する第1回合同委員会を開催
  5 第3回MEMS産業化共同調査委員会の開催
  6 第1回技術交流会開催のご案内
  7 2004年マイクロマシンサミット速報
  8 賛助会員に対するアンケート調査への協力依頼について
Ⅲ 海外からの訪問者
  1 台湾金属工業センター来訪
Ⅳ イベント案内
  1 当センター主催のイベント
  2 その他のイベントのお知らせ
Ⅴ その他会員への情報
  1 ロボット三団体合同賀賀詞交換会のご案内
  2 年末年始休日のお知らせ
  3 10大ニュースの募集


本  文
Ⅰ 国内外トピックス

1 新聞記事

11月10日 日本経済新聞
  ソニー、微小部品参入:デジタル家電向けなど;新収益源に

 ソニーは半導体製造技術を使った微細電子・機械部品事業に参入する。事業化のための組織を設置、子会社に専用設備を導入して量産体制を整える。事業化するのは「MEMS」と呼ぶ微細部品。ソニーは約4マイクロメートルの短冊状の鏡を多数形成、一つずつ電気制御することで光を回折させて映像を表示する高精彩プロジェクター用部品を試作済み。同部品の商品化を急ぐほか、無線・光通信用のスイッチやフィルター、前後左右の動きを感知するジャイロセンサーなどの製品化も検討する。小型化が進むデジタル家電用などに自社使用するほか外部に販売する。

11月11日 日刊工業新聞
  中型放射光に「新ビーム」:ナノテク研究に弾み;NIRO 兵庫の産学官と


 新産業創造研究機構(NIRO、神戸市中央区)は10日、兵庫県の産学官と連携して、県が運営している中型放射光施設に新ビームラインを建設すると発表した。姫路工業大学の服部正教授らが開発したマイクロ加工技術を活用。ナノテクノロジー関連企業が建設資金を提供するほか県などからも支援を得る。建設する新ビームラインは、A4サイズの基板や8インチウエハーの全面を、数十分から数時間で露光する性能をもっており、大面積露光では世界最高クラスとなる。800ナノメートル以下のナノ構造体を200ナノメートルの精度で加工可能で微細加工精度も世界最高級という。

11月11日 日経産業新聞
  半導体検査針 先端の太さ1/6:高密度回路に対応;住友電工など


 住友電気工業は日本電子材料と共同で、半導体検査に使う新型の超小型針(プローブ)を開発した。針の先端の太さを従来の1/6にするとともに硬度を高めた。半導体基板につく傷が1/4程度に小さくなり、回路の高密度化に対応できる。ひっかき傷の幅は従来の針の1/4程度の10マイクロメートル程度ですむ。製作時の放電加工の際に先端部に炭素の膜ができるため、硬度がニッケルマンガン合金より一割程度向上し、耐久性もある。12日から東京で開かれるマイクロマシン展に出展する。

11月11日 日経産業新聞 11月13日 電波新聞
  MEMS アルバックが専用ライン:受託生産を開始

 半導体・薄型ディスプレー製造装置メーカーのアルバックは10日、微小な電子・機械部品「MEMS」の受託生産事業を始めたと発表した。本社工場に専用ラインを設置、光スイッチやバイオセンサーなどの試作生産を受託する。直径125ミリウエハー対応の設備を整備したほか、今後は直径200ミリウエハーにも対応できるように設備を拡充する。アルバックは低圧・高密度のプラズマエッチングや表面に抗菌や親水など特殊な高分子薄膜処理を施す蒸着重合など、MEMSに有効な技術・装置を持つ。

11月14日 日経産業新聞
  MEMS事業化 沖電気が専門チーム:まず加速度センサー開発


 沖電気工業は微小な電子・機械部品であるMEMSの事業化を進める専門チームを組織した。2004年初頭に初の自社開発品を出荷する計画で、その用途開発や新製品の開発を担う。従来は他社が開発した製品の受託生産を手掛けていたが、MEMS市場拡大を受け、本格的に事業参入する。専門チームは半導体の生産を統括するシリコンマニュファクチャリングカンパニーのWPビジネス本部内に設置。沖電気は現在、傾きなどを検知する加速度センサーを開発中。来年初頭にサンプル出荷を始め、来年後半に子会社の宮崎沖電気で量産を開始する。当初は、GPS対応の携帯端末向けの出荷となる見通し。

11月17日 日刊工業新聞
  数十マイクロメートル径の凸レンズ:ガラス表面に簡易作製 レーザー加工とエッチングで;埼玉大
 埼玉大学の池野順一助教授、中村知史大学院生はレーザー加工とエッチングを組み合わせ、ガラス表面に直径数十マイクロメートルのマイクロ凹レンズを簡易につくる技術を開発した。レーザーでガラス表面に微小なくぼみを故意につくった後、エッチングすると、くぼみの形が徐々に球面に近づき、凹レンズになる。くぼみのつくり方などにより任意の局率のマイクロ凹レンズができることから多品種少量生産に向き、光ファイバー通信や液晶ディスプレーなどさまざまな分野で応用が期待できそうだ。

11月19日 日経産業新聞
  微小ポンプ 薬液0.5マイクロリットル注入:「圧電素子」を応用;日機装

 日機装は、体内に埋め込んで薬液注入に使う微小ポンプを開発した。電圧を加えると変形する「圧電素子」を応用し、電圧で脈動させて薬液を血液中に投与する。インスリンや抗がん剤など微量の薬液を高精度で送り込むことができる。開発したポンプは幅6ミリ、9.5ミリ、厚さ1.5ミリ。半導体微細加工技術などを使って実現した。1秒間に0.5マイクロリットルという微量の薬液を測定して送ることができる。一方向にしか流れない整流器を設けて逆流を防いだ。

11月27日 日経産業新聞
  新型顕微鏡 世界最高の分解能:オリンパス


 オリンパスは26日小型・高性能のレーザー顕微鏡「OLS3000」を来年1月に発売すると発表した。焦点が合った光だけを通過させて鮮明な画像を取り出す共焦点光学系を使い、分解能をレーザー顕微鏡としては世界最高の0.12マイクロメートルに高めた。レーザーで立体形状を走査する光学系に、電荷結合素子(CCD)の撮像部を組み合わせた。付属するパソコンのモニターにカラーの三次元画像などを表示できる。プリント基板や液晶パネルなど電子部品の表面検査用として電機メーカーなどに売り込む。

12月 2日 日刊工業新聞
  接合界面状態を高精度予測:ナノオーダーの異種材料;日立が新手法で実現


 日立製作所の機械研究所は、半導体やストレージに使われるナノオーダーへのヘテロ(異種材料)接合界面の状態を初めて高精度に予測できる「ナノ薄膜接合シミュレーション技術」を開発した。接合界面の予測は膨大な計算量を必要とする量子力学的計算では困難。そこで電荷の振る舞いを機械的なバネとみなし、状態ごとにきめ細かくモデル化するアイデアでニュートン力学的計算でも数千万原子の動きを精度良くできるようにした。半導体などのヘテロ接合界面に生じる化合物やはがれを初めて予測でき、材料選択の指針づくりにつながる。


2 委託業務成果発表リスト(マイクロマシン技術の研究開発)

届け出番号 発表課題 発表者 発表先 発表期日
MMC-03-116
電特
マイクロマシン/MEMSの応用 
-その構造・製造技術・市場展望-
アクチュエータ -その構造・製造技術・市場展望-
三菱電機(株) 電子ジャーナル第64回テクニカルシンポジウム H15.10.28


Ⅱ マイクロマシンセンターの動き


1 第14回マイクロマシン展開催される

 第14回マイクロマシン展が、2003年11月12日~14日の3日間、東京・北の丸公園の科学技術館において、第9回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムと併催する形で開催され大盛況で終了いたしました。

 今回のテーマは、「マイクロ・ナノ技術がひろげる無限のビジネスフィールド/超精密・微細加工、MEMS、ナノテク、バイオに関する国際展示会」としました。
 出展者は、財団法人マイクロマシンセンターの賛助会員企業14社をはじめ、一般企業、大学及び独立行政法人等からの積極的な出展協力を得て、合計238の企業・団体・大学・研究機関が出展(323小間)をしました。海外からは、フランス国立科学研究センターと7企業が出品しました。

 この出展者及び出展小間数の増加に伴い、マイクロマシン展の展示会場として初めて科学技術館一階の全ホール、準備室及びラウンジの一部も使用して開催しました。
 また、今回は新たに海外2社を含む77の企業・団体の展示参加を得て、マイクロマシンおよびナノテクノロジーに関する多数の新技術・新製品が発表されました。

 来場者は、第9回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムを同時に開催したこともあって、様々な分野で活躍している第一線の研究者、技術者及び管理者など幅広く、他分野での研究情報の集積や相互に意見を交換するなど、情報交換によって新たな技術の可能性の発見、あるいは技術開発上での様々な課題解決の糸口を得るための最適の場となり、3日間で過去最大の8,793名に上る多数の来場者を得て盛況裡に終了しました。

 また、マイクロマシン展初日には経済産業省製造産業局の藤田産業機械課長が見学され、展示会終了後の懇親会において来賓挨拶を頂きました。

 ○総入場者数及び出展者数の経過
   今回 第14回(H15):8,793名  238企業・団体(323小間)
       第13回(H14):8,424名  187企業・団体(253小間)
       第12回(H13):7,460名  112企業・団体(164小間)
       第11回(H12):5,485名   94企業・団体(136小間)
       第10回(H11):3,608名   87企業・団体(133.5小間)

次回第15回マイクロマシン展の開催予定
会期:2004年11月10日(水)~11月12日(金)
会場:科学技術館/東京・北の丸公園


2 第9回国際マイクロマシン・ナノシンポジウム開催される

 第9回国際マイクロマシン・ナノシンポジウムは、11月13日(木)、東京・北の丸公園、科学技術館のサイエンスホールにおいて、経済産業省及び新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の後援のもとに、また日本小型自動車振興会から補助金をうけて「マイクロマシン技術-ナノ技術を支える次代の産業技術基盤」をサブテーマとして開催された。

 セッション1.の「オープニング」では、当センターの下山理事長の開会挨拶に続いて、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の高橋理事から来賓のご挨拶を戴きました。その中で高橋理事は、1991年から10年間継続したマイクロマシンプロジェクトの成果を受けて、2003年度からMETIの政策「フォーカス21」の一環として、MEMSプロジェクトを開始したこと。このプロジェクトは、この事業で確立される高度なMEMS製造技術をファンドリー事業に展開することでRF-MEMS、光MEMS、センサーMEMS等のMEMS産業の活性化を目標としていること。また、このシンポジウムが、国際的な情報交換により、世界のマイクロマシン及びナノテク技術の一層の発展に資することを期待されると共に、日頃NEDOのプロジェクトに協力されている研究者、及び当センターの振興活動に対し感謝の意を表されました。

 続いて、欧米のMEMS先駆者による二つの特別講演を行いしました。 一つはスイス、Neuchatel大学のNico F. de Rooij教授による「大学から産業への技術移転」のテーマで、Neuchatel大学が関わった企業への技術移転とその応用製品についての講演で、他の一つは米国のMassatusetts工科大学のStephen D. Senturia教授による「MEMSのアイデアの製品化」についての講演で、MEMSの過去と現在、MEMSの将来のトレンド、MEMSのアイデアを製品化する場合の配慮すべき視点などについて講演された。

 この他に、セッション2の「マイクロマシン産業への道」、セッション3の「革新研究紹介」、セッション4の「マイクロマシン・ナノ技術戦略」の中で、海外6名を含む計13名の招待者に講演して頂きました。

 特にセッション4の中で行われたMEMSの産業化に関するパネルディスカッションは、聴衆の質問に対しパネリストが真摯に回答する形で行われ、その熱の入った質疑応答に会場全体の関心が集中し大変好評でした。

 参加登録者218名の内訳は、約83パーセントが技術研究者を含む企業関係者、8パーセントが(独)産業総合技術研究所等の公的機関、7パーセントが大学の学生及び関係者、その他が2パーセントとなっており、特に、企業の研究者の当シンポジウムへの関心の高まりが伺えた次第です。招待者、報道関係者等を加えた全参加者は297名に上り、会場は終止活気に満ちて盛況の内に終了する事ができました。最後に、当シンポジウムの開催にご協力頂いた賛助会員の皆様に深くお礼申し上げます。


3 第3回新機能性材料のNEMSへの展開に関する調査検討委員会の開催

 平成15年度第3回新機能性材料のNEMSへの展開に関する調査研究委員会(委員長:京都大学 田畑修教授)が11月11日(火)に開催されました。

 第3回会議では、「材料・加工・応用の3つの視点での調査研究の対象と内容、および報告書の細部」を中心に議論を行い、全体の方針を決定しました。調査研究の報告書については、材料の持つ特徴とNEMSに向けて注目される背景等に重点を置き、加工、応用に関しても章立てする構成を検討することになりました。一方で、章ごとにストーリーが分断されないために、例えばカーボンナノチューブに関しては、材料、加工、応用の各担当委員が連携して報告書の構成を検討する、などの配慮をしていくこととなりました。

 次回第4回の委員会では、調査と報告をとりまとめるとともに、本調査研究の中身や今後の方向性についての建設的なディスカッションも行う予定です。


4 薄膜材料疲労試験に関する第1回合同委員会を開催

 平成15年10月6日付けにて経済産業省より受託しました「エネルギー利用合理化システム標準化調査事業(マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化)に関する掲題の委員会を11月14日(金)に開催しました。本委員会は本事業おける初めの委員会となるため、疲労試験の標準化を主たる目的とする標準化推進委員会(委員長:大和田邦樹 国際標準化工学研究所 所長)と、疲労試験の実施を主たる目的とする調査研究委員会(委員長:肥後 矢吉 東京工業大学 教授)との合同委員会として開催しました。この委員会では3年間の事業期間内に疲労試験を実施し、さらにこれを国際規格として提案するための詳細について討議しました。

 なお、当センターからは国際電気標準会議(IEC:International Electrotechnical Commission)に、マイクロマシン/MEMS専門用語や、薄膜材料の引張試験に関して3件の規格提案の実績を有しております。

 また、先に紹介いたしました2つの委員会は、以下の構成になっております。
  ①標準化推進委員会
     委員長 大和田邦樹  国際標準化工学研究所
     委  員 早乙女康典  群馬大学大学院 工学研究科
       〃  肥後 矢吉  東京工業大学 精密工学研究所
       〃  高島 和希  東京工業大学 精密工学研究所
       〃  佐藤 一雄  名古屋大学大学院 工学研究科
       〃  菅野 久勝  日本試験機工業会
       〃  北田 浩二  (社)電子情報技術産業協会 標準・技術部
       〃  石川 雄一  産業技術総合研究所 機械システム研究部門
       〃  若林 秀一  オムロン(株) 技術本部 中央研究所
       〃  太田  亮  オリンパス(株) 研究開発センター
       〃  古田 一吉  セイコーインスツルメンツ(株) 技術本部
       〃  竹井  裕  ソニー(株) レコーディングメディアカンパニー
       〃  土屋 智由  (株)豊田中央研究所 システム・エレクトロニクス分野
       〃  吉冨 雄二  (株)日立製作所 機械研究所
       〃  毛野 拓治  松下電工(株)半導体開発センター
       〃  鈴木健太郎  横河電機(株)先端技術研究所

  ②調査研究委員会
     委員長 肥後 矢吉  東京工業大学 精密工学研究所
     委 員 早乙女康典  群馬大学大学院 工学研究科
       〃  高島 和希  東京工業大学 精密工学研究所
       〃  佐藤 一雄  名古屋大学大学院 工学研究科
       〃  石川 雄一  産業技術総合研究所 機械システム研究部門
       〃   土屋 智由  (株)豊田中央研究所 システム・エレクトロニクス分野
       〃   千葉 徳男  セイコーインスツルメンツ(株)デベロップメントセンター


5 第3回MEMS産業化共同調査委員会の開催

 平成15年度第3回MEMS産業化共同調査研究委員会(委員長:オリンパス株式会社 太田 亮グループリーダ)が11月28日(金)に開催されました。
 今回は本調査研究の重点課題として設定した、ユーザとメーカの接点の構築と、ファンドリー間で形成するネットワークのルール化の観点から、特に海外におけるネットワークの仕組みについて事例研究がなされた。また国内のMEMS関連企業と機関のヒヤリングの進捗状況について報告がなされました。

6 第1回技術交流会開催のご案内

当センターでは、マイクロ・ナノ先端技術に関係している賛助会員企業の専門家を対象に、マイクロ・ナノ技術に関する各産業分野における先端技術への認識と理解を深め、マイクロ・ナノ技術の普及啓発と産学の技術交流を図ることを目的として、新たに本年度から年数回技術交流会を実施することに致しました。

そこで、第1回技術交流会を下記のとおり12月18日(木)に当センターで開催いたしますので、会員企業の先端技術に関連する方々の積極的ご参加をお願いいたします。

   開催日時:平成15年12月18日(木)15:30~17:30~18:30
   開催場所:(財)マイクロマシンセンター 会議室
   講  師:北陸先端科学技術大学院大学 材料科学研究科
          教授 民谷 栄一 氏
   講演題目:「バイオMEMSの産業化基盤技術について」
   開催案内先:MMC賛助会員企業
   参加費:1,000円/人
  ―――――――――――――――――――――――――――――――――――
         マイクロ・ナノ先端技術交流会プログラム
   15:30~    主催者挨拶
           (財)マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
   15:40~    ご講演
          「バイオMEMSの産業化基盤技術について」
           北陸先端科学技術大学院大学  教授 民谷 栄一 
   17:30~18:30  技術相談及び交流


7 2004年マイクロマシンサミットの速報

 正式な開催案内は届いておりませんが、2004年の第9回国際マイクロマシンサミットは、5月3日-5日の3日間フランスのグルノーブルで開催される予定です。正式な開催案内が届き次第、賛助会員の皆様にお知らせすると共に、オブザーバー参加者の募集を行います。


8 賛助会員に対するアンケート調査への協力依頼について

 UNSEAD(国際ビジネススクール)Michael A. Witt教授から、学術的な研究資料とするため、特にMMC賛助会員が所属する会社のSocial network(同業会社間の連絡網)に関するアンケート調査について協力依頼がありました。このアンケート調査は、MMC賛助会員の協力のもとに平成9年にも実施され、Witt教授は、その分析に基づいた研究論文でハーバード大学の政治学の博士号を取得しています。今回のアンケート調査は、平成9年以降加入された賛助会員も含めて、会社のSocial networkがその後どう変化したかの調査で、当センターはこの調査に協力することにしました。MMC賛助会員のご協力をお願いします。

 アンケート調査の目的と方法に関するWitt教授の説明会を、下記の日程で実施しますのでMMC賛助会員は各1名ご参加下さる様お願い致します。アンケート調査の目的、Social networkの意味、及びWitt教授の略歴については、Witt教授が書かれた「プロジェクトの要約」及び「研究者の略歴」を参照下さい。

 このアンケート調査へのWitt教授のお礼として、約40分の講演を予定しております。題名はWitt教授が研究しているアジアのビジネスに関する「アジアの経済を握っている華僑の戦略について(仮題)」を予定しております。

                          記
          1.日時:平成16年1月30日(金)14:00-16:30
          2.場所:(財)マイクロマシンセンター会議室
          3.申込方法:平成15年12月24日(水)までに、kokusai@mmc.or.jpにお願いします。 (担当者:宮本)
          4.参考 :INSEADの内容等は、(http://www.insead.edu)を参照下さい。

                    「プロジェクトの要約」
 個人や会社の中のソーシャルネットワーク(連絡網)は情報交換、研究協力などに有利であるということが欧米や日本で行われた様々な研究により分かり、多くのビジネス学者に認められている。が、ネットワークがどう発生するか、そして時が経つにつれてどう変化するか、という二つの面がまだよく分かっていない。
 このプロジェクトの目標は、その二つの面をもう一寸明らかにすることである。1997年にマイクロマシンセンターの賛助会員にアンケート調査にご協力いただきましたが、同様なアンケート調査を皆様にもう一度お願いいたしたいのである。比較分析のため、前に調査させていただいた会員のデータも新しい会員のデータも必要であり、両方にお願いいたしたいのである。
 前の研究と同様に、データの出所の匿名を厳守し、分析の結果をご協力くださった皆様に発表するのは当然の事である。
                     「研究者の略歴」
 Michael A. Witt(ドイツ人)はINSEADのアジアビジネスと比較経営学分野の教授で、MBAとイクセキュティフコースを両方教える。研究の焦点は比較資本主義経済体制で、特に東アジアと西ヨーロッパに集中している。このプロジェクトの直前に二人の同僚と一緒にアメリカ、日本、ドイツ、中国、韓国、デンマークの会社の会長や社長をインタビューし、経済活動の動機を分析、比較し、その結果をハーバードビジネススクールプレッスの本などで発表する予定。ハーバード大学で政治経済に集中し、政治学の博士号を取得した。その前に、スタンフォード大学で国際関係論理学と日本語の学士号を得た。日本語ができ、二年半日本に住んだことがある。以前は東京大学社会科学研究所と大蔵省財務金融研究所の客員研究員として日本で研究を行った。


Ⅲ 海外からの訪問者



1 台湾(財)金属工業研究開発センター来訪 

 台湾の(財)金属工業研究発展中心の蔡 添吉様一行が、金属加工関連企業等からの参加者約20名と共に、11月11日、当センターを訪問された。訪問の目的は当センターの動向の調査で、青柳専務がマイクロマシン10年プロジェクトの成果とこれからの当センターの活動について説明しました。一行は、マイクロマシン展の見学を主な目的として来日したとのことでした。

Ⅳ イベント案内


1 当センター主催のイベント

 ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870

(1) マイクロ・ナノ先端技術交流会「バイオMEMSの産業化基盤技術について」
 開 催 日: 平成15年12月18日(木)15:30~17:30 (懇談会)~18:30
 講  師: 北陸先端科学技術大学院大学 民谷 栄一 教授
 開催場所: (財)マイクロマシンセンター 会議室
    参 加 費: 1,000円

(2) MEMSファンドリーサービス講習会
 開 催 日: 平成16年1月20日(火)13:00~17:05~18:30
 開催場所: ぱ・る・るプラザ京都(JR京都駅前) 6階 会議室D
 主  催: (財)マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会
   参 加 費: 5,000円

(3) 第15回マイクロマシン展
 開 催 日: 平成16年11月10日(水)~12日(金)
 開催場所: 科学技術館・東京北の丸公園

(4) 第10回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
 開 催 日: 平成16年11月11日(木)
 開催場所: 科学技術館(東京都千代田区北の丸公園2番1号)


2 その他のイベントのお知らせ

 ・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
 ・番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。

(1) Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology
 開 催 日: 2003年12月10日(水) ~ 12日(金)
 開催場所: The University of Western Australia, Perth, Australia
 主  催: SPIE
 情報入手: http://spie.org/conferences/calls/03/au/

(2) MEMS 2004 (Q7A3601)
 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems) 
 開 催 日: 2004年01月25日(日) ~ 29日(木)
 開催場所: Maastricht, The Netherlands
 主  催: IEEE
 情報入手: http://www.mems2004.org

(3) 第13回インテリジェント材料システムシンポジウム
 開 催 日: 2004年03月08日(月)
 開催場所: 化学会館(東京千代田区神田駿河台)
 主  催: (社)未踏科学技術協会 インテリジェント材料システムフォーラム
 情報入手: http:www.sntt.or.jp
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(4) HANNOVER MESSE (ハノーバー・メッセ国際産業技術見本市)
 開 催 日: 2004年04月19日(月) ~ 24日(土)
 開催場所: Hannover Messe, Germany
 主  催: Deutsche Messe AG
 情報入手: http://www.hannovermesse.co.jp/

New
(5) TECHNO-FRONTIER 2004
 開 催 日: 2004年04月21日(水) ~ 23日(金)
 開催場所: 日本コンベンションセンター (幕張メッセ)
 主  催: (社)日本能率協会
 情報入手: http://www.jma.or.jp/TF/

New
(6) DTIP 2004
(Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS)
 開 催 日: 2004年05月12日(水) ~ 14日(金)
 開催場所: Montreux, Switzerland
 主  催: Tima, IEEE, etc.
 報入手: http://tima.imag.fr/conferences/dtip

New
(7) ロボティクス・メカトロニクス講演会2004 (ROBOMEC 04 名古屋)
 開 催 日: 2004年06月18日(金) ~ 20日(日)
 開催場所: 名城大学
 主  催: (社)日本機械学会
 情報入手: http://www.toyota.nitech.ac.jp/robomec04/
 (財)マイクロマシンセンター 後援

New
(8) European Micro and Nano Systems 2004 (EMN04)
Advances & Applications for Micro & Nano Systems
 開 催 日: 2004年10月20日(水) ~ 21日(木)
 開催場所: ESIEE, Noisy le Grand, Paris, France
 主  催: Tima, ASME, and etc.
 情報入手: http://tima.imag.fr/conferences/EMN/

Ⅴ その他会員への情報


1 ロボット3団体合同賀賀詞交換会のご案内

  (社)日本ロボット工業会、(財)製造科学技術センターおよび当センター合同の新年賀交換会が以下のとおり開催されます。
 年初ご多忙のことと存じますが、万障お繰り合わせの上ご来臨賜りますようご案内申し上げます。
  なお、連絡窓口担当者、運営委員会委員の方々にも、既に出席予定者の調査依頼をお願いしております。また、賛助会員の代表者、理事の方々には後日、個別にご案内申し上げます。

  日 時 : 平成16年1月15日(木)
           12:00~13:30
  場 所 : 虎ノ門パストラル 
           新館1階 鳳凰の間 
             Tel:03-3432-7261


2 年末年始休日のお知らせ

 当センターの年末年始休日は次のとおりです。
      平成15年12月27日(土)~平成16年1月4日(日)


3 10大ニュースの募集 

 当センターでは、毎年恒例になっております一年間の‘マイクロマシンセンター’の動きを10大ニュース風にまとめ、今年も振り返ることにしました。つきましては、会員の皆様の記憶に残る出来事、思い入れ等がありましたら、このニュースの最終ページの用紙にて、12月19日(金)までにMMCニュース係までお寄せ下さい。なお、選定の結果は平成16年1月10日発行のMMCニュースに記載いたします。
 



               平成15年 MMC10大ニュース募集
                       


                        (財)マイクロマシンセンター
                                       MMCニュース 係
                                                 FAX:03-5835-1873


                            募集締切  12月19日(金)
                                        
応 募 用 紙
                             会員企業・団体名:
                              応 募 者 氏 名 :
                       
 1                                

 2                                    

 3                                    

 4                                    

 5                                    

 6                                   

 7                                    

 8                                    

 9                                    

10                                     

 *10件まとまらなくとも結構ですので、奮って応募下さい。


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