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| 目 次 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ⅰ 国内外トピックス１ ＭＥＭＳ欧州調査報告２ 新聞記事 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第２回長期ビジョン部会の開催２ 第１回ＭＥＭＳ講習会の開催 ３ 第９回（平成13年度）研究助成課題成果報告会のご案内 ４ 国際マイクロマシンシンポジウム開催の準備状況 Ⅲ 行政動向１ 経済産業省人事異動Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント２ その他のイベントのお知らせ |
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| 本 文 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ⅰ 国内外トピックス1 ＭＥＭＳ欧州調査報告 この度、ＭＥＭＳの産業化の推進に不可欠なファンドリーサービスについて、先行する欧州の実態を調査し、わが国のファンドリーサービスネットワーク構築発展に資する目的で欧州調査を実施しました。２００３年７月７日から７月１１日までの５日間の調査期間で、研究機関、ファンドリー企業、デザインハウス、マーケティング企業を訪問調査してきました。 具体的には、研究機関としてスイスのIMT（ヌーシャテル大学マイクロテクノロジー研究所）とフランスのLETI（原子力庁電子技術情報研究所）を、ファンドリー企業としてスイスヌーシャテルのColibrys社とフランスグルノーブル郊外のTronic’s社を、デザインハウスとしてロンドン郊外のMST-Designコンソーシアムを、そしてマーケティング企業としてフランスのYole Development社をそれぞれ訪問調査しました。今回は調査結果の概要を紹介します。 ファンドリー企業として今回訪問したColibrysとTronic’sは、ヨーロッパの代表的なMEMSファンドリーとして注目されています。Colibrysは光MEMS、加速度センサー、圧力センサー、流体MEMS等で、テレコムやライフサイエンス、モバイル関連の市場に向けた開発を行っており、独自のプロジェクト管理ステップやWaferレベル評価技術などを持っています。Tronic’sでは各種センサー、光MEMS、RF-MEMS、流体MEMS等の表面／バルクマイクロマシニング技術で市場展開を図っており、SOIのMEMS用途への研究なども進めています。ともに公的な研究機関からのスピンオフにより創設されており、装置利用、設計技術、プロセス開発などで、旧所属機関との提携関係を維持することで、軽微な研究開発投資で高度な技術レベルの保持・養成を実現できています。ファンドリー側では、学生の受け入れや、教育の一部、研究試作なども請け負うことで、大学への便宜供与も行い共生がなされていました。 また、特にこの数年で外部から数多くの積極的投資がなされおり、その背景にはハイエンドアプリからマスマーケットを拓こう、という投資家の期待を共通に感じられました。MEMS製品は、自社の強みの出せる領域に絞った高付加価値の小～中量アプリケーションに的を絞り、同時に独立前のスピンイン時の成果を自社開発製品として事業の柱のひとつに持っていることから、堅実な事業路線とリスクテイクしたチャレンジとの良いバランスが保たれている様子が印象的でした。 共通課題として、テスト・評価が大きな負担となっていることがあげられ、MEMSの特徴である一品一様のスペックを、テストや評価フェーズでどのように標準化などで吸収していけるかが今後の検討対象と思われます。 MEMSのデザインについては、まだ市場創出時期でもあり、顧客が設計に対して十分な投資ができないケースもあることから、純粋なデザインハウスは経営的に厳しいとの意見が多く得られました。ファンドリーとしては、受注の際に依頼主の事業計画を吟味して設計費の扱いを決めているのが現状のようです。 MEMSのグローバル展開に向けても、各企業や研究機関は積極的展開をみせており、Open思考で内外の研究者や企業とともに新しい価値を創出していこうという、“協創”がすでに展開されていました。人材としても、開発者や研究者だけでなくグローバルなマーケティング人材のアジアや北米への配置も既に充実させている例がみられました。 今回MMC側から行った、日本の施策や企業のMEMSへの積極的取り組みの紹介にも大きな関心が持たれました。市場として、また研究開発や製造のパートナー発掘先としても、MEMS産業全体の視点で日本への大きな期待が感じられました。半導体産業と同様に進んで行くグローバルビジネスとグローバルマーケットの中で、日本がどのような立場のPlayerとして有効なポジションを確保していくかが今後の鍵となりそうです。 ２ 新聞記事 ７月９日 日本経済新聞 微小機械の一体成型技術開発：まず医療用ポンプ量産；中小主導で産学官連携、東成エレなど５社と都立大・産総研 レーザー加工の東成エレクトロビームなど東京多摩地区の中小企業５社は、微小な機械の一体成型技術を開発する産学官連携プロジェクトを始める。医療機器向けの超小型ポンプなどの量産技術を３年以内に確立する。各社は得意技術を持ち寄りＭＥＭＳと呼ばれる分野の技術を開発する。５社はチタンなどの金属材料を使い、強度を向上させた小型の部品を製作、この部品をさらに金型内で組み合わせて一体成型する加工技術を開発する。具体的な製品としては縦４ミリ、横８ミリ、厚さ１ミリ程度の小型の医療用ポンプなどを想定。開発費は３年間で３億円を予定。経済産業省が開発費を支援するほか、産業技術総合研究所も開発に参加する。 ７月１０日 日経産業新聞 リニア型モーター 小型・ナノ制御可能に：携帯機器など向け；セイコーインスツルメンツ セイコーインスツルメンツは小型で出力の大きいリニア型モーターを開発した。電圧をかけると伸び縮みする圧電素子を使う。毎秒15センチの高速で動き10ナノメートル単位の細かい制御もできる。携帯機器やマイクロマシン、顕微鏡の駆動装置に利用できるという。２～３年後の実用化を目指す。開発したモーターは圧電素子を何枚も積層してあるのが特徴。積層した圧電素子の表面に二つの突起を作り、突起の摩擦力でものを直線的に動かす。大きさは縦20ミリ横5ミリで厚さが約2ミリ。駆動電圧は従来の1/20の5ボルトでも動かすことができる。真空中や磁場の中でも安定して動くので、細胞内の微小器官をはさむピンセットや人工授精をする機器などバイオ分野の新しい駆動装置になるという。 ７月１１日 日刊工業新聞 100ギガ光ディスク対応：精密ピット計測装置試作；産総研とＳＩＩ 産業技術総合研究所とセイコーインスツルメンツ（ＳＩＩ）は10日、光ディスク原盤や光ＲＯＭディスクを光で検査し、エラービットの形状をナノメートルレベルの高精度で測定できる精密ピット計測装置の試作に世界で初めて成功したと発表した。100ギガバイト級の次世代超高密度光ディスク原盤の形状検査を目的としたもので、探針にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を採用した原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）と光ディスク検査装置を一体化することで可能にした。新エネルギー産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）の「ナノメーター制御光ディスクシステムの研究開発」の一環として、検査システムの開発を産総研の桑原正史研究員、ＳＩＩの宮谷竜也主任らが共同で取り組んだ。 ７月１１日 日本経済新聞 ナノテク振興で協議会：16日、45社が発起人会 日立製作所や三菱商事などナノテクノロジー（超微細技術）を活用した事業を展開する有力企業などが集まり、ナノテク産業振興を目指す新組織「ナノテクノロジービジネス推進協議会」の発起人会を16日に都内で開く。幅広い業種から約45社が参加する。協議会は９月に立ち上げ、会長には日立の金井勉会長が就任する。最終的には300社の加入を目指す。協議会は情報交換会やビジネスコンテスト、ベンチャーへの経営ノウハウ指南などの事業を展開する予定。 ７月１７日 日刊工業新聞 ナノテクで内視鏡：がん早期発見 官民で先端医療技術；経産省 経済産業省は04年度から、がんを早期発見するための高精度ファイバースコープ（内視鏡）の開発を始める。ナノテクノロジーを応用して、ファイバー先端に装着する光学素子を1ナノ～2ナノメートルレベルで制御できる技術を開発。さらに蛍光でがん特異的たんぱく質を解析する技術も確立し、転移前のがんの早期発見を目指す。日本は世界の内視鏡市場で3/4のシェアを占めており、官民で次世代技術の開発に取り組むことで産業競争力をさらに強化する。開発期間は06年度までの３年間を予定しており、来年度予算の概算要求に５億～６億円、３年間で15億～20億円弱を盛り込む方針。新エネルギー産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）を通じて開発企業を公募し、開発費などを支援する考え。現在の内視鏡の世界市場規模は約2,800億円で、オリンパス光学工業が68％、富士写真光機とペンタックスがそれぞれ４％と日本企業が約75パーセントのシェアを占めるという。 ７月２９日 日本経済新聞 最小ＩＣ0.3ミリ角：日立、紙幣組み込みにメド；偽造防止に効果 強度が向上、コスト低減 日立製作所はＩＣタグ（荷札）などに使える世界最小クラスの微細な非接触ＩＣチップ「ミューチップ」をさらに小型化し、0.3ミリ角として紙幣に組み込む技術にメドを付けた。欧州中央銀行（ＥＣＢ）が偽札防止目的にＩＣチップ組み込みを検討しており、こうした新たな用途向けに売り込んでいく。ミューチップはあらゆるものに識別情報を組み込むＩＣタグに利用でき、情報を無線でやりとりするためのアンテナと組み合わせて使う。製造工程で38けたまでの数字を固有の認識番号（ＩＤ）として記録。無線の読み取り機を通じて識別する仕組み。日立は現在0.4ミリ角のチップを0.3ミリ角にまで小型化する技術を開発した。価格は１個50円前後のものが多い。これを量産効果で年内には10円程度まで下げる計画。 ７月３０日 日経産業新聞 ナノチューブで最小モーター 米カリフォルニア大学バークレー校の研究グループは、カーボンナノチューブを使い、世界最小のモーターを開発した。大きさは500ナノメートル角で、回転する部分の長さは100～300ナノメートル。半導体加工技術などを応用して作製するＭＥＭＳの部品への利用が期待できるという。平坦なシリコン酸化膜の上にシャフトの役目を果たすカーボンナノチューブを放電で取り付けた。 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第2回長期ビジョン部会の開催 第２回長期ビジョン部会（委員長：下山勲 東京大学教授）が７月１７日（木）に開催されました。今回は、昨年度作成した「長期ビジョン」を単行本として出版するという本年度の事業計画について、出版時期を年度末からマイクロマシン展（１１月１２～１４日）までに繰り上げることを確認しました。続いて出版する単行本の内容について検討を行い、最終的に執筆分担を決めました。 出版日程の前倒しは、マイクロマシン展がマイクロマシン技術に関係する人が集まる国内最大規模の機会であり、「長期ビジョン」を普及する最良の機会と考えたからです。今後は、８月中旬までに原稿を執筆し、８月２２日（金）に開催する第２回長期ビジョン部会にて、原稿内容の確認と全体を通してのすりあわせを行う予定です。 ２ 第1回ＭＥＭＳ講習会の開催 当センターファンドリーサービス産業委員会主催の第１回ＭＥＭＳ講習会「ＭＥＭＳ設計・加工技術」を、７月１８日（金）中央大学駿河台記念館で開催しました。講習会の内容は下記に示す通りです。最近のＭＥＭＳ産業に対する関心の高さから、講習会の開催案内をホームページで公表したところ、募集開始から一週間で参加申込者が定員の100名に達し、以後は申込みをお断りせざるを得ない状況でした。最終的には募集停止公表日の申込者を含めて、121名もの参加申込みがありました。当センター賛助会員企業の事前申込みは、ファンドリーサービス産業委員会委員を除き13社（28名）でした。当日の実際の参加者は事前申込者113名と講習会発表者、及び当センター職員を含め、134名と大盛況の講習会となりました。今回の講習会が初心者及び中級者向けであったこともあり、20～30歳代の若い参加者が多いのが特徴でした。また、講習会の最後には初めての試みとしてＭＥＭＳ相談デスクを設け、ファンドリーサービス産業委員の企業がパネル展示等で応対しましたが、これも大変盛況でした。さらに、講習会終了後別室にて簡単な懇談会の場を設けましたが、こちらも熱気溢れる状況でした。 講習会「ＭＥＭＳ設計・加工技術」 日時 2003年7月18日（金）13:30～17:50～19:30 場所 中央大学駿河台記念館 6階 670号室 〒101-8324 東京都千代田区神田駿河台３－１１－５ Tel：03-3292-3111 主催 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 プログラム 13:30 主催者挨拶 平野隆之 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事） 13:35 ＭＥＭＳの現状と今後の動向 杉山 進 （立命館大学理工学部 教授） 14:05 光ＭＥＭＳを中心としたＭＥＭＳ設計技術 坂田 芳孝 （オリンパス光学工業(株)研究開発センターＭＥＭＳ開発本部 課長補佐） 14:30 ＲＦＭＥＭＳの設計技術 佐藤 正武 （オムロン(株)先端デバイス研究所ＭＥＭＳグループ） 14:55 バルクマイクロマシニングを用いたデバイス設計技術 小出 晃 （(株)日立製作所機械研究所パワー先端メカトロニクスセンタ 主任研究員） ――――――――――――――― 休憩 15:20～15:30 ―――――――――――――― 15:30 ＭＥＭＳ設計におけるシミュレーション 入江 康郎 （(株)富士総合研究所フロンティア・サイエンス室 主任研究員） 15:55 ＭＥＭＳ加工プロセス技術 毛野 拓治 （松下電工(株)先行・融合技術研究所ｎＢＴ開発部 部長） 16:20 Si加工によるＭＥＭＳ製造技術 小澤 信男 （沖電気工業(株)研究本部新技術研究開発部 ＭＥＭＳプロジェクトチーム チームリーダー 16:45 ＭＥＭＳ実装技術 滝沢 功 （(株)フジクラ ウエハレベルパッケージ部 課長） 17:05 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介 三原 孝士 （オリンパス光学工業(株)研究開発センターＭＥＭＳ開発本部 先端技術担当部長） 17:20 相談デスク 各講演者他 ――――――――――――――― 休憩 17:50～18:00 ――――――――――― 18:00～19:00 懇談会 参加者、各講演者他 ３ 第9回（平成13年度）研究助成課題成果報告会のご案内 当センターでは、産学交流を通じてマイクロマシン技術の一層の充実を図る目的で「マイクロマシン技術に関する研究助成事業」を行っておりますが、平成12年度公募の研究助成対象課題(２年間研究)の６件及び平成13年度公募の研究助成対象課題(単年研究)３件の計９件が平成１５年３月に終了いたしましたので、その研究助成成果報告会を開催することになりました。既に賛助会員には連絡窓口を通して、お知らせしてありますが、本報告会はマイクロマシン技術の材料、加工、機能要素など広い分野の成果が期待されますので、ご参加頂きますようご案内申し上げます。 (1)日時・場所 平成１５年９月１２日（金） １３：００ ～ １７：５０ （財）マイクロマシンセンター 会議室 （東京都千代田区神田佐久間河岸６７ MBR99ビル６階） TEL:０３－５８３５－１８７０ (2)参加費 賛助会員 無料 報告会内容
４ 国際マイクロマシンシンポジウム開催の準備状況 第9回マイクロマシン・ナノテクシンポジウムのプログラムが決まりました。このシンポジウムの開催準備は、毎年4月に開始され、5月の国際交流委員会でシンポジウムのフレームワーク（概要）が決められ、6月の組織委員会では、シンポジウムのサブテーマと基調講演の候補者が推薦されました。プログラム委員会では、これらの委員会の決定事項に基づき、今回のプログラム(案)を具体化しました。 しかし推薦された候補者に講演を引き受けて貰えるかどうかが問題です。特に海外から招聘する講演者の場合は、そのスケジュールに空きがあるかどうかがキーポイントになります。 7月のＭＭＣニュースでは、プログラム委員会が作成したプログラム（案）をご紹介しましたが、その後、大部分の講演候補者から内諾が得られ、第9回マイクロマシン・ナノテクシンポジウムのプログラムが確定しましたので、先ず賛助会員の皆様にその内容をご披露いたします。 今回は基調講演を2つ行います。一つはスイス、ニューシャテル大学のNico F. de Rooij教授による「MEMS産業化の推進（仮題）」であり、もう一つは米国、Massachusetts工科大学のStephen D. Senturia教授による「MEMSのアイディアの産業化」です。この後に続く他のセッションの講演も含めて、いずれの講演も、深い研究に基づく貴重な事例がぎっしり詰まった内容の濃いものです。それぞれの講演について、期待する内容を想定しながら添付のプログラムを参照ください。多くの皆さまの参加を期待しております。 プログラム 9:00 ～ 受付開始 9:30 ～ 9:35 開会挨拶 (財)マイクロマシンセンター 理事長 下山敏郎 9:35 ～ 9:40 来賓挨拶 経済産業省 製造産業局 北村俊昭（依頼中） 9:40 ～ 10:20 特別講演「ＭＥＭＳ産業化の推進」（仮題） University of Neuchatel, Prof. Nico F. de Rooij 10:20 ～ 11:00 特別講演「ＭＥＭＳのアイディアの製品化」（仮題） Massachusetts Institutes of Technologies, Prof. Stephen D. Senturia 11:00 ～ 11:30 「RelayからRF - MEMS」（仮題） オムロン（株）先端デバイス研究所長 今仲行一 11:30 ～ 12:00 「MEMS産業 のビジネスモデル」 （仮題） Yole Development, Mr. J. C. Eloy 12:00 ～ 12:30 「Digital Micromirror Driveに見るＭＥＭＳの信頼性確保」（仮題） Texas Instruments , Dr. Andrew Sontheimer 12:30 ～ 13:30 =================== 昼 食 =================== 13:30 ～ 14:00 「Micro/Nano satellite fabrication」（仮題） The Aerospace Corporation, Mr. Henry Helvajian 14:00 ～ 14:30 「バイオハイブリッドナノマシン 」（仮題） 東京大学 助教授 竹内昌治 14:30 ～ 15:00 「マイクロ燃料電池」 (依頼中) 15:00 ～ 15:30 「NANO Channel 」（仮題） The University of Twente, Prof. Albert van den Berg 15:30 ～ 16:00 =================== 休 憩 =================== 16:00 ～ 16:10 「ＭＥＭＳとナノテクテクノロジーの産業化」（仮題） 名古屋大学 教授 生田幸士 16:10 ～ 16:20 「企業におけるＭＥＭＳの実用化」(仮題) オリンパス光学工業(株)取締役 遊佐 厚 16:20 ～ 16:30 「ＮＡＮＯテクノロジーへの進みかた」（仮題）東京大学 教授 下山 勲 16:30 ～ 16:40 「二つの流れ：マイクロマシン実用化とナノ領域への先端研究」 東京大学 教授 藤田博之 16:40 ～ 17:50 パネル討論 司会： 東京大学 教授 藤田博之 パネリスト（7名）：Prof. Nico F. de Rooij, Prof. Stephen D. Senturia, Mr. J. C. Eloy, Prof. Albert van den Berg, 東京大学 教授 下山 勲、名古屋大学 教授 生田幸士, オリンパス光学工業（株）遊佐 厚 17:50 ～ 18:00 閉会挨拶 (財)マイクロマシンセンター 専務理事 平野隆之 Ⅲ 行政動向１ 経済産業省人事異動 平成１５年７月１１日付 （新） （旧） 今井 康夫 特許庁長官 製造産業局長 北村 俊昭 製造産業局長 貿易経済協力局長 平成１５年８月 １日付 （新） （旧） 豊田 正和 商務情報政策局長 製造産業局次長 中嶋 誠 製造産業局次長 大臣官房付 松下 公一 特許庁特許審査第一部 計測 産業機械課技術第三係長 Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 (1) 第９回（平成１3年度）マイクロマシン技術に関する研究助成成果報告会 開 催 日： 平成１５年9月12日（金）13:00 ～ 17:50 開催場所： (財)マイクロマシンセンター 会議室 主 催： (財)マイクロマシンセンター (2) 第１４回マイクロマシン展 開 催 日： 平成１５年１１月１２日（水）～１４日（金） 開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園 主 催： (財)マイクロマシンセンター他 (3) 第９回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催 開 催 日： 平成１５年１１月１３日（木）9：30～17：00 開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号） 主 催： (財)マイクロマシンセンター ２ その他のイベントのお知らせ ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 ・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。 New (1) North Asia Proteomics Conference (北アジアプロテオミクス国際会議） (Q7A3701) 開 催 日： 2003年08月28日(木) ～ 29日(金) 開催場所： JW Marriott Hotel, Seoul. Korea 主 催： IBC ASIA(S) PTE LTD. 情報入手： http://www.ibc-asia.com/protemics.htm (2) COMS2003(The 8th International Conference on the Commercialization of Micro and Nano Systems) (Q7A3402) 開 催 日： 2003年09月08日(月) ～ 11日(木) 開催場所： Amsterdam, The Netherlands 主 催： MANCEF 情報入手： http://www.mancef-coms2003.org/ (3) ICRA2003 (2003 IEEE International Conference on Robotics and Automation) (Q7A2801) 開 催 日： 2003年09月14日(日) ～ 19日(金) 開催場所： The Grand Hotel, Taipei, Taiwan 主 催： IEEE Robotics and Automation Society 情報入手： http://www.icra2003.org (4) μTAS2003 (The 7th International Conference on Miniaturized Chemical and BioChemical Analysis Systems) (Q7A2Z05) 開 催 日： 2003年10月05日(日) ～ 09日(木) 開催場所： Squaw Valley, California USA 主 催： The Transducers Research Foundation 情報入手： http://www.microTAS2003.org (5) MICRO SYSTEM Technologies 2003 (Q7A3204) 開 催 日： 2003年10月07日(火) ～ 08日(水) 開催場所： Muchen, Germany 主 催： IEEE, Mesago Messe Frankfurt 情報入手： http://www.mesago.de/mst (6) POLYTRONIC 2003 (3rd International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics) (Q7A2X03) 開 催 日： 2003年10月20日(月) ～ 23日(木) 開催場所： HOTEL EDEN AU LAC, MONTREUX, SWITZERLAND 主 催： Tima, etc. 情報入手： http://tima.imag.fr/Conferences/POLYTRONIC (7) COTS MEMS 2003 (The 3rd International Conference on Advances in Application of Integrated Commercial-Off-The-Shelf Micro-Electro-Mechanical Systems) (Q7A3602) 開 催 日： 2003年10月20日(月) ～ 21日(火) 開催場所： San Francisco, CA USA 主 催： The Knowledge Foundation, Inc. 情報入手： http://www.knowledgefoundation.com/ New (8) 機能性材料の3次元微細加工技術講演会 (P6A3701) 開 催 日： 2003年10月22日(水) 開催場所： 三会堂ビル石垣記念ホール 主 催： （財）先端加工機械技術振興協会 情報入手： Tel:3501-6701 担当：横須賀 (財)マイクロマシンセンター 協賛 (9) 2003国際ロボット展 (P6A3204) 開 催 日： 2003年11月19日(水) ～ 22日(土) 開催場所： 東京ビックサイト・有明 主 催： (社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社 情報入手： http://www.nikkan.co.jp/eve/03robot/index.html (財)マイクロマシンセンター 協賛 New (10) Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology (Q7A3703) 開 催 日： 2003年12月10日(水) ～ 12日(金) 開催場所： The University of Western Australia, Perth, Australia 主 催： SPIE 情報入手： http://spie.org/conferences/calls/03/au/ (11) MEMS 2004 (17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems) (Q7A3601) 開 催 日： 2004年01月25日(日) ～ 29日(木) 開催場所： Maastricht, The Netherlands 主 催： IEEE 情報入手： http://www.mems2004.org New (12) HANNOVER MESSE (ハノーバー・メッセ国際産業技術見本市) (Q7A3702) 開 催 日： 2004年04月19日(月) ～ 4/月24日(土) 開催場所： Hannover Messe, Germany 主 催： Deutsche Messe AG 情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/ |
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