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| 目 次 | ||
Ⅰ 国内外トピックス１ 新聞記事Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第５回ファンドリーサービス産業委員会の開催２ 第１回長期ビジョン部会の開催 ３ 第５回MEMS設計・解析支援シミュレーションに関する調査研究委員会の開催 ４ 第１回国際・交流委員会の開催 ５ 第１回材料特性標準化委員会の開催 ６ 第２７回標準化委員会の開催 ７ 平成１５年度第１回・通常理事会、評議員会、運営委員会の開催 Ⅲ 行政動向１ 経済産業省人事異動Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント２ その他のイベントのお知らせ Ⅴ その他会員への情報１ 株式会社ナノデバイス・システム研究所が団体賛助会員入会２ 株式会社アルバックが特別賛助会員入会 ３ センターの人事異動 |
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Ⅰ 国内外トピックス１ 新聞記事 ５月１４日 日経産業新聞 微細技術のＭＥＭＳ：用語や試験法で標準化案；マイクロマシンセンター 経済産業省の外郭団体、マイクロマシンセンターは微細な電子・機械部品をつくるマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（ＭＥＭＳ）技術の標準化に着手した。今年度中に用語や試験方法など項目別に標準化案を作成し、国際電気標準会議（ＩＥＣ）に提出する。標準化案は用語と薄膜材料の試験方法に関してそれぞれ提出する用語に関しては７月に提案、来年中にも標準化される見込み。マイクロマシンセンターは2002年７月に沖電気工業、オリンパス光学工業、オムロンなど７社と「ファンドリーサービス産業委員会」を設立し、ＭＥＭＳの加工受託事業を協力して推進できる体制作りを進めている。これと並び、標準化作業に乗り出すことでＭＥＭＳの事業化への環境を整える。 ５月２３日 日本経済新聞 駆動用モーター米粒大：内視鏡など小型化可能に；住特金などが開発 住友特殊金属と精密部品メーカーの並木精密宝石（東京・足立）、大阪大学は共同で米粒大の世界最小の駆動用モーターを開発した。直径1.7mm、長さ6mmの円筒形で、携帯電話の振動モーターに匹敵する回転力がある。内視鏡やロボットの間接部分などに組み込めば小型化や操作性の向上が可能になる。超小型モーターとしてはマイクロマシン技術を使って大きさ１ｍｍ以下の試作品が開発されているが、強い力を出せない。近くサンプル出荷を始める。 ５月２３日 日経産業新聞、６月４日 日経産業新聞 光でゲルが素早く変形：数秒で曲がり、１分で直角 骨格の収縮を利用；農工大 東京農工大学工学部の堀江一之教授らは光を当てると迅速に変形するポリアミド酸ゲルを開発した。0.2ミリメートルの細長いゲルに光を当てると、数秒で曲がり初めて１分後には直角になり、この変化を繰り返せる。開発した走査型顕微光散乱装置で、ナノサイズのゲル骨格の編み目が収縮するメカニズムも確認した。迅速に変形するため、マイクロマシンや薬物送達システム（ＤＤＳ）のほか、マイクロリアクターのバルブやポンプなどにも活用できそうだ。この成果を28日から名古屋市の名古屋国際会議場で開かれる高分子学会で発表する。 ５月３０日 日経産業新聞 生体分子つなぎ、微小機械動かす：東大チーム実験成功 東京大学の藤田博之教授と竹内昌治助教授の共同チームは、生体分子をつなぎあわせてマイクロメートルサイズの微小機械を動かす実験に成功した。研究チームは大きさ数マイクロメートルほどの物体の表面にノリの役割をするアミノ酸の一種を塗り、ミオシンを吸着させた。これをアクチンとともに水中に入れてＡＴＰを加えると、アクチンの列に沿って構造物が動くことを確かめた。微細加工技術を使ってシリコンに同様の機能を持たせれば、生体分子を動力源にするマイクロマシンを作れる。ナノレベルでの分子の運搬や、微量な物質を検出する分析技術などへの利用が期待できるという。 ６月２日 日本経済新聞 溶接できない２つの金属、炭素繊維で接合可能に：軽量・高強度材料に道；東海大が実験 東海大学の西義武教授らは、炭素繊維と金属を強く接合させる実験に成功した。炭素繊維を使うことで、鉄とアルミニウムなど溶接できない金属板同士をつないだり、金属の強度を高めたりできるとみている。一般に金属は冷えて固まると体積が数％小さくなる。金属が縮むことで締め付ける力が生まれ、炭素繊維と金属が強く接合する。西教授らは３－４年後をメドに炭素繊維を用いた新たな金属技術の実用化を目指す。 ６月６日 日本経済新聞、読売新聞、日経産業新聞、日刊工業新聞 数分で肝機能血液検査：使い捨てチップ開発；ロームなど 物質材料研究機構とロームは痛みを感じずに採血、数分間で結果が出る肝機能検査チップを開発した。採血に使うのは、高さ約0.5ミリのピラミッド構造が多数並んだ基板。これを皮膚に当てて血液を採取する。採血量は従来の1/50以下。肝機能データを得ることができる検査チップの値段は一枚千円程度になる見込み。実用化すればアルコール性肝炎や肝がんなどの治療の効率化のほか発病予防や早期発見も期待できる。 ６月６日 日刊工業新聞、日経産業新聞 ７波の光合分波器開発 フォトニック結晶：両面ヘテロ構造導入、光ナノデバイス実用化に道拓く；京大とＪＳＴ 京都大学の野田進教授らと科学技術振興事業団（ＪＳＴ）は共同で新たに「両面ヘテロ構造」という概念を導入し、フォトニック結晶で７波の光合分波器の開発に成功した。周期構造が相似的に異なる複数のフォトニック結晶を内面にアレー配置するもので、初めて分波した光の取り出し効率と波長分解能を一定にできた。数センチ角のアレー導波路回折格子（ＡＷＧ）と比べ、１万分の１に小さくできるフォトニック結晶による光ナノデバイスの実用化に道を拓く成果。６日発行の米科学誌「サイエンス」に発表される。 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第5回ファンドリーサービス産業委員会の開催 第５回ファンドリーサービス産業委員会（委員長：三原孝士 オリンパス光学工業（株）担当部長）が５月１６日（金）に当センター会議室において開催され、平成１５年度の事業計画に関する議論が行われました。その概要は以下の通りです。 1)ファンドリーネットワークシステムの構築 ・ＭＥＭＳ技術相談の場の設置、各社技術の補完と公開、情報交換と情報の共有化 2)プロモーション ・ホームページの積極的活用 ・第１４回マイクロマシン展への出展 ・講習会の開催 初心者・中級者向け第１回講習会を７月１８日（金）午後、中央大学駿河台記念館にて開催の予定。 ２ 第1回長期ビジョン部会の開催 平成15年度、第1回長期ビジョン部会（委員長：東京大学大学院 下山 勲 教授）が５月２２日（木）に当センター会議室にて開催されました。長期ビジョン部会は、「マイクロマシンの将来展望に関する調査研究」事業の一環として昨年度に発足した部会であり、「21世起に入って、マイクロマシン技術の産業化の促進とナノテクノロジーの研究開発の活発化を見据えて、マイクロマシン技術の将来展望を拓き、産業界、政府、大学における活動の指針に資する」ことを目的としています。 今年度の第1回会議では、「昨年度まとめた中間報告書をブラッシュアップして将来ビジョンをまとめ、それを単行本として出版する」ということを柱にした、今年度の活動計画を決定しました。また、早速、どんな本にするかについてのディスカッションを行いました。 今後４回程度、部会を開催し、今年度中に本を出版することとしています。 なお、委員会構成は以下のようになっております。 委員長 下山 勲 東京大学大学院 情報理工学系研究科 委 員 岡野 光夫 東京女子医科大学 先端生命医科学研究所 〃 民谷 栄一 北陸先端科学技術大学院大学 材料科学研究科 〃 杉山 進 立命館大学 理工学部 ロボティクス学科 〃 庄子 習一 早稲田大学 理工学部 電子･情報通信学科 〃 高木 秀樹 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 〃 本間 一弘 産業技術総合研究所 人間福祉医工学研究部門 〃 三原 孝士 オリンパス光学工業㈱ 研究開発センター 〃 依田 聖 ㈱ＪＵＫＩ ＮＢ企画部 〃 伊藤 哲雅 セイコーインスツルメンツ㈱ 研究開発部 〃 川野浩一郎 ㈱東芝 研究開発センター 〃 鈴木 美彦 ㈱ニコン コアテクノロジーセンター 〃 岡田 亮二 ㈱日立製作所 機械研究所 〃 平岡 睦久 ㈱富士電機総合研究所 材料技術研究所 〃 武田 宗久 三菱電機㈱ 先端技術総合研究所 センシング技術部 〃 堀尾 浩司 ㈱モリテックス ナノテクノロジー研究所研究開発室 〃 木原 隆 ㈱山武 研究開発本部 〃 渡辺 哲也 横河電機㈱ 先行技術開発センター ３ 第5回MEMS設計・解析支援シミュレーションに関する調査研究委員会の開催 第５回ＭＥＭＳ設計・解析支援シミュレーションシステムに関する調査研究委員会（委員長：藤田博之 東京大学生産技術研究所教授）が５月２６日（月）に開催され、成果報告書の最終案の中の「まとめと提言」に関し、システム提案、実現に向けての産官学の役割と連携、システムの運用について審議された。 当調査研究委員会の成果報告書に盛り込まれた提案が、次年度のプロジェクトの予算化に生かれることが期待されています。 ４ 第1回国際・交流委員会の開催 平成15年度の第1回国際・交流委員会（委員長：中島尚正 放送大学教授）が、５月２９日（木）に当センター会議室において開催され、今年度の国際交流事業と国内の官学産交流事業、並びに国際標準化活動について事務局から報告をしました。 国際交流事業に関しては、先に平成15年度事業計画として承認された項目の中で、今年度の国際交流に関する各委員会の委員の変更、および４月２８日－３０日の３日間、北京で開催することになっていた第9回国際マイクロマシンサミットがSARSの影響で延期された経緯と、2004年の開催地の選考経過を説明した。また、調査ミッションのヨーロッパへの派遣について、先行している欧州のファンドリーサービスの実態調査を目的に、７月５日－１３日の8日間スイス、フランス、イギリスの訪問先、派遣者等について説明した。 平成15年度産学官交流事業については、マイクロマシンに関する産学官の関係機関の交流を目的としたファンドリーネットワークシステムの構築、交流の場としての技術講習会開催等の事業計画について報告した。特にファンドリーネットワークシステムに関しては、技術相談の場の設置、各社技術の補完と公開、情報の交換と共有化、並びにプロモーション活動について説明した。また技術講習会に関しては、企業が希望するテーマについて、賛助会員企業から収集したアンケートの結果を報告すると共に、これら以外のテーマついて提案を要望しました。 国際標準化活動については、昨年6月IECに提案したマイクロマシン専門用語について、IEC内での国際標準に向けての進捗状況、次に提案予定の薄膜材料の引張試験に関する国際標準化活動の計画、及び平成15年度の新事業としての疲労試験に関する調査研究等について報告した。 ５ 第1回材料特性標準化委員会の開催 本委員会は、平成13年度までの3年間、NEDO事業にて実施して参りました薄膜材料の特性計測評価法の成果を、国際規格提案及びJIS化に結びつけるための活動を行っています。今年度の第1回材料特性標準化委員会(委員長：大和田邦樹 国際標準化工学研究所 所長)は、６月２日（月）に当センター会議室において開催され、昨年度に引き継ぎ、微小薄膜形状材料の「引張試験方法」と「標準試験片」に関する規格案について討論し、日本語の規格案を最終的にまとめるとともに、国際規格提案を行うための英文原案について検討した。 今後はIEC（国際電気標準会議）へ規格提案の活動をおこない、10月に開催されるIEC総会におけるNP（New Proposal）の成立を目指します。なお、本委員会は昨年度と同様に（財）日本規格協会の支援を得て行います。 なお、委員会構成は以下のようになっております。 委員長 大和田邦樹 国際標準化工学研究所 委 員 早乙女康典 群馬大学 工学部 機械システム工学科 〃 肥後 矢吉 東京工業大学 精密工学研究所 先端材料部門 〃 佐藤 一雄 名古屋大学 大学院 工学研究科 〃 菅野 久勝 日本試験機工業会 〃 北田 浩二 社団法人電子情報技術産業協会 標準・技術部 〃 尾崎 浩一 産業技術総合研究所 ものづくり先端技術研究センター 〃 若林 秀一 オムロン株式会社 技術本部 中央研究所 〃 太田 亮 オリンパス光学工業株式会社 研究開発センター 〃 古田 一吉 セイコーインスツルメンツ株式会社 技術開発センター 〃 竹井 裕 ソニー株式会社 ｺｱﾃｸﾉﾛｼﾞｰ＆ﾈｯﾄﾜｰｸｶﾝﾊﾟﾆｰ 〃 土屋 智由 株式会社豊田中央研究所 システム・エレクトロニクス分野 〃 吉冨 雄二 株式会社日立製作所 機械研究所 第三部 〃 鈴木 良孝 横河電機株式会社 マイクロマシン研究部 ６ 第27回標準化委員会の開催 第27回標準化委員会（委員長：佐藤壽芳 東京大学 名誉教授）が６月１０日（火）に当センター会議室において開催されました。当委員会は標準化事業の円滑な推進を目的としており、専門用語部会、薄膜材料の引張試験に関する国際標準化提案を目指す材料特性標準化委員会、さらに平成15年度から３年間にわたり実施予定の「マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化」（経済産業省直轄事業、応募中）に関する活動を統括します。 今回はこれらの今年度活動事項について討議して、以下の通りの方向付けがされた。 （１）専門用語のIECへの国際標準化活動は、現在CD(Committee Draft)の段階にあり、引き続き専門用語部会は、本国際提案活動を支援し補佐する。 （２）材料特性標準化委員会は、（財）日本規格協会の援助を受けて、薄膜材料の引張試験に関する国際規格の提案並びにJIS化のための活動を行う。 （３）薄膜材料の疲労試験に関する研究を、東京工業大学、名古屋大学、群馬大学並びに（株）豊田中央研究所と共同で実施して、薄膜材料の疲労試験方法に関する国際標準規格の提案を目指す。 次回を１０月２２日（火）に開催して今年度事業の活動状況を審議して戴く予定です。 なお、委員会構成は以下のようになっております。 委員長 佐藤 壽芳 東京大学 委 員 三井 公之 慶應義塾大学 理工学部 機械工学科 〃 小林 敏雄 財団法人日本自動車研究所 〃 諸貫 信行 東京都立大学 大学院 工学研究科 機械工学専攻 〃 壁井 信之 埼玉県立循環器・呼吸器病センター 総合研究施設 〃 木戸 達雄 経済産業省 産業技術環境局 情報電気標準化推進室 〃 石川 雄一 独立行政法人 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 〃 小川 治男 オリンパス光学工業株式会社 技術開発センター 〃 大和田邦樹 国際標準化工学研究所 〃 古田 一吉 セイコーインスツルメンツ株式会社 技術本部 〃 土屋 智由 株式会社豊田中央研究所 システム・エレクトロニクス分野 〃 本間 敏男 長野計器株式会社 総合研究所 センサ開発課 〃 長岡 嘉浩 株式会社日立製作所 機械技術研究所 第１部 〃 寺嶋 洋也 ファナック株式会社 基礎技術研究所 寺嶋研究室 〃 武田 宗久 三菱電機株式会社 先端技術総合研究所 センシング技術部 ７ 平成15年度第1回・通常理事会、評議員会、運営委員会の開催 平成15年度第1回通常理事会および平成15年度第1回評議員会が５月２７日（火）に(財)東京都中小企業振興公社の会議室において開催されました。 審議事項は、①平成14年度事業報告について②平成14年度収支決算について③平成14年度収支差額の処分について④平成15年度小型自動車等機械工業振興事業の事業計画決定について⑤理事の一部変更について（セイコーインスツルメンツ株式会社の松野健理事から寺本芳彦理事、株式会社モリテックスの森戸祐幸理事から森田茂幸理事、三洋電機株式会社の寺田房夫理事から吉年慶一理事、株式会社日立製作所の中村道治理事から児玉英世理事に変更）⑥賛助会員の入会について（団体賛助会員に株式会社ナノデバイス･システム研究所、特別賛助会員に株式会社アルバック）等で、原案通り承認されました。 なお、上記会議に先立ち５月２０日（火）に（財）マイクロマシンセンター会議室において、平成15年度第1回運営委員会が開催され、通常理事会、評議員会の審議案件について審議し、了承されました。 Ⅲ 行政動向１ 経済産業省産業機械課人事異動 平成１５年５月１６日付 （新） （旧） 辻本 崇紀 産業機械課技術班 文部科学省研究振興局 研究環境・産業連携課 平成１５年５月３０日付 小川 陽子 産業機械課技術班 製造産業局参事官室 Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 ・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。 New (1) ＭＥＭＳファンドリーサービス講習会 開 催 日： 平成１５年７月１８日（金）13：30～17:30～19:30 開催場所： 中央大学 駿河台記念館 670号室（東京・神田駿河台） 主 催： (財)マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 (2) 第１４回マイクロマシン展 開 催 日： 平成１５年１１月１２日（水）～１４日（金） 開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園 主 催： (財)マイクロマシンセンター他 (3) 第９回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催 開 催 日： 平成１５年１１月１３日（木）9：30～17：00 開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号） 主 催： (財)マイクロマシンセンター ２ その他のイベントのお知らせ ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 ・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。 (1) 第19回日本DDS学会 (P6A3201) 開 催 日： 2003年06月19日(木) ～ 20日(金) 開催場所： 国立京都国際会館 主 催： 日本DDS学会 情報入手： http://square.umin.ac.jp/js-dds/dds.html (財)マイクロマシンセンター 協賛 (2) The International Conference on Electrical Engineering 2003 (ICEE203) (Q7A2Z01) 開 催 日： 2003年07月06日(日) ～ 10日(木) 開催場所： Kowloon Shangri-La Hotel, Hong Kong 主 催： Hong Kong Institute of Engineers 情報入手： http://www.hkie.org.hk/icee2003/ (3) COMS2003(The 8th International Conference on the Commercialization of Micro and Nano Systems) (Q7A3402) 開 催 日： 2003年09月08日(月) ～ 11日(木) 開催場所： Amsterdam, The Netherlands 主 催： MANCEF 情報入手： http://www.mancef-coms2003.org/ (4) ICRA2003 (2003 IEEE International Conference on Robotics and Automation) (Q7A2801) 開 催 日： 2003年09月14日(日) ～ 19日(金) 開催場所： The Grand Hotel, Taipei, Taiwan 主 催： IEEE Robotics and Automation Society 情報入手： http://www.icra2003.org (5) μTAS2003 (The 7th International Conference on Miniaturized Chemical and BioChemical Analysis Systems) (Q7A2Z05) 開 催 日： 2003年10月05日(日) ～ 09日(木) 開催場所： Squaw Valley, California USA 主 催： The Transducers Research Foundation 情報入手： http://www.microTAS2003.org (6) MICRO SYSTEM Technologies 2003 (Q7A3204) 開 催 日： 2003年10月07日(火) ～ 08日(水) 開催場所： Muchen, Germany 主 催： IEEE, Mesago Messe Frankfurt 情報入手： http://www.mesago.de/mst (7) POLYTRONIC 2003 (3rd International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics) (Q7A2X03) 開 催 日： 2003年10月20日(月) ～ 23日(木) 開催場所： HOTEL EDEN AU LAC, MONTREUX, SWITZERLAND 主 催： Tima, etc. 報入手： http://tima.imag.fr/Conferences/POLYTRONIC (8) 2003国際ロボット展 (P6A3204) 開 催 日： 2003年11月19日(水) ～ 22日(土) 開催場所： 東京ビックサイト・有明 主 催： (社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社 情報入手： http://www.nikkan.co.jp/eve/03robot/index.html (財)マイクロマシンセンター 協賛 Ⅴ その他会員への情報１ 株式会社ナノデバイス・システム研究所が団体賛助会員入会 株式会社ナノデバイス・システム研究所は、立命館大学のMEMS技術を基礎に、シンクロトロン（SR）放射X線を利用したナノ精度のデバイスを開発しますが、サンプル試作等の受託を事業とするベンチャー企業です。SR放射Ｘ線リソグラフィによるサンプル自体はコスト高ですが、その形状を金型に転写することによって、成形の低コスト化量産性が図れます。当面は、ＳＲ放射Ｘ線による医療や化粧用の微細無痛針の商品化を目指します。一方、ナノデバイスとバイオの融合は重要な方向です。ＤＮＡ分子単体の電気特性が測定できるナノパターンを搭載するSiチップも開発します。ナノサイズの領域は、多様な物理現象を呈します。その解析には、カオス等の複雑性システムを必要とします。弊社は、そのためにデータマイニグ用のソフトウェア技術も開発します。データマイニグは、生体から発生する複雑な情報の解析には欠かせません。将来は、ナノデバイスとデータマイニグを融合するナノマシンシステムの実現を目指します。 本社は、京都府京都市中京区笹屋町436番地にあります。 ２ 株式会社アルバックが特別賛助会員入会 株式会社アルバック（代表取締役社長 中村久三）は真空技術を基盤として、フラットパネルディスプレイや電子部品製造装置・半導体製造装置・真空ポンプや計測器などのコンポーネント・超高真空装置・熱処理炉などの一般産業機器という分野で事業を展開しております。 また、アルバックグループ内には、超微粒子などの先端材料や表面解析装置などの事業を展開している会社もあります。さらに、最近では「バイオ」「ファインメカトロ」「ファインケミカル」という新しい技術分野に乗り出していこうとしております。 ＭＥＭＳに関しては、ドライエッチング装置・技術によって微細加工に貢献するなどの実績を積んできましたが、今後は更に、親水性・撥水性・生体親和性などを素子表面に付与できる蒸着重合法、誘電体の成膜技術、水晶振動子によるバイオセンシング技術など独自技術を生かして、ＭＥＭＳ分野の科学・技術・産業の発展に貢献したいと考えております。 本社は神奈川県茅ヶ崎市萩園2500にあります。 ３ センターの人事異動 平成１５年５月３１日付 柿本 正也 辞職（住友電気工業株式会社へ復帰） |
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