MicroNano Monthly

[No.2021-11] 2021年11月8日発行


ニ ュ ー ス 目 次  

第41回マイクロナノ先端技術交流会 開催のご案内(2021年11月25日)
「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」
「同時開催プログラム」(MMC創立30周年記念講演会等)
のご案内(2022年1月26日~ 28日)
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
(オンライン)MNOIC 技術展示のお知らせ
(2021年11月9日~11日)
「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発」(LbSS)プロジェクトの終了報告
IEC/TC47 国際標準化全体会議(オンライン開催)参加報告(2021年10月4~8日)
先端技術開発プロジェクトの活動から
 ・SNIF ・BaMBI ・HS-ULPAC
マイクロマシンセンター 賛助会員様へのご案内
 ・賛助会員専用ホームページについて
「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」のご案内(2022年1月26日~28日)
MMC後援、協賛イベント情報  新情報
MEMS協議会海外アフリエート開催のイベント 新情報
主要なMEMS関連国際会議  新情報
講習会・セミナーのご案内  新情報
MEMS技術関連 最新情報  常時最新情報
経済・政策動向のトピックス
 ・(マイクロマシン/MEMS分野関連) 経済報告11月号
  
ニ ュ ー ス 本 文

第41回マイクロナノ先端技術交流会 開催のご案内(2021年11月25日)

 現在、IoTにより実社会の多様なデータを収集・利活用することで、様々な分野で生産性や効率性の向上が図られています。さらに、ヒトのリアルタイム情報を収集・利活用するIoH(Internet of Humans)技術の開発と展開が進められ、個人の健康やウェルビーイング(幸福)の見える化や企業における働き方改革・生産性の向上につなげる活動も増えてきています。
 今回は、IoHの計測・解析事例として、産業技術総合研究所 人間情報インタラクション研究部門 佐藤洋研究部門長より感情センシングについてご紹介いただきます。IoHの社会実装事例として、日立製作所 矢野和男フェローより、幸福度センシングについてご紹介いただきます。
詳細は、以下のホームページをご参照下さい。
 http://www.mmc.or.jp/business/kouryuukai/kouryu-annai/41_annai.html
 

「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」
   「同時開催プログラム」(MMC創立30周年記念講演会等)のご案内 
   (2022年1月26日~ 28日)

 MEMS関連の技術・製品・アプリケーションを一堂に展示する「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」の開催準備が進んでいます。
 マイクロマシンセンターは今年度創立30周年に当たることから、MEMS展の最終日に記念講演会の開催を企画しております。

「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」
会期: 2022年1月26日(水)~28日(金)
場所: 東京ビッグサイト 東ホール / 会議棟 / オンライン
オフィシャルサイト:https://www.optojapan.jp/mems/ja/
実施概要:https://www.optojapan.jp/mems/ja/outline.html

 展示会会期中に、(財)マイクロマシンセンター、NMEMS技術研究機構が主催する
同時開催プログラム(セミナー等)について以下の通りご案内致します。
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1月26日(水) 10時30分~12時30分:
▶ オープニング特別シンポジウム 「MEMS次世代テクノロジーフォーラム」

本シンポジウムでは、MEMSの実用化・応用先として期待される次世代テクノロジー(5G、IoT、ロボット、AI、バイオ、自動運転など)にフォーカス。次世代MEMS市場、最先端のMEMS技術が社会および産業に貢献するビジョンや方向性について、最新情報を発信します。

1月27日(木) 10時30分~12時00分:
▶ 研究開発プロジェクト成果報告会

本報告会では、持続可能な社会の実現を目指してマイクロマシンセンター及びNMEMS技術研究機構 が現在取り組んでいるセンサやセンサネットワークシステム関係の技術開発プロジェクトの概要及び成果を報告します。さらに会場では、開発した技術、サンプルを展示します。

1月27日(木) 13時30分~15時30分:
▶ 感情センシングと環境調和型MEMSの研究開発シンポジウム
  (SSN研究会公開シンポジウム)

一般財団法人マイクロマシンセンターMEMS協議会のSSN研究会においては、スマートセンシングなど最先端のセンシングに関連する先端技術開発テーマの発掘・提案などの活動を進めてきました。本シンポジウムでは、最近注目されている2つのテーマについての最新動向を紹介します。セッション1では、自然に溶け込む調和型MEMS(EfriM: Environment friendly MEMS)」の概要とそれが活躍する応用分野に関して紹介します。セッション2では、人間の感情をセンシングし、それをフィードバックすることで様々な分野で活用する技術が徐々に実用化されつつある感情センシングについての技術動向について解説します。

1月28日(金) 10時15分~16時00分:
▶ MEMS協議会フォーラム MMC創立30周年記念講演会

一般財団法人マイクロマシンセンターは、設立30年を記念し、2部構成のイベントを開催します。

  【第1部】  TIA*-MEMSウィンターセミナー:
         MEMS講習会「MEMS分野の産業動向と注目技術」

これからのMEMSが益々発展するために、主に学生や若手技術者向けにTIAの次世代人材育成事業に協力して実施するTIA-MEMSウィンターセミナー MEMS講習会を開催します。本講習会では、初めに、マイクロマシンセンター産業動向調査委員会によるMEMS技術の進展の歴史と、今後20年のMEMS関連技術の進展予測した調査を報告します。次に、近年注目されている環境発電デバイス(エナジーハーベスタ)などの新機能MEMSに使われるエレクトレット技術と、長年MEMSの国際会議運営に携わってきた先生によるMEMSの研究開発動向について、わかりやすく解説いたします。
  (*TIA : 産総研、NIMS、筑波大学、KEK、東京大学、東北大学が協力して運営する
       オープンイノベーション拠点)

  【第2部】  「MEMSの過去30年と今後の20年の技術展望」と
         パネルディスカッション:

30周年特別企画として、30年の歴史をMEMSなどの微細加工、半導体製造技術の進歩とともに振り返り、未来へ続いていくために必要なことを、産業界、大学、国立研究所を代表する方々による基調講演とパネルディスカッションで明らかにします。

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 参加される方々の物理的距離を確保したレイアウトにいたします。
奮ってご参加ください。
 オフィシャルサイトでの詳細掲載は、12月上旬を予定しております。

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
   (オンライン)MNOIC 技術展示のお知らせ(2021年11月9日~11日) 

 電気学会センサ・マイクロマシン部門主催の、第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが本年11月9日(火)- 11日(木)に開催されます。
 今回も、例年どおり、日本機械学会「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」、応用物理学会「集積化MEMSシンポジウム」、化学とマイクロ・ナノシステム学会「第42回研究会」が同時開催されます。
 MNOICは、これらの学会参加の皆さまへ、MNOIC最新技術を紹介するために、ONLINE技術展示を行います。ショートプレゼンテーションやバーチャルブースツアーなどを通じてアピールいたします。

  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」HP url:
    https://sensorsymposium.org/exhibition_and_sponsorship.php

「超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究開発」
   (LbSS)プロジェクトの終了報告

 生産効率の向上、しいては経営効率向上のために、工場等の設備の稼働状況や生産品質を把握する IoT システムが必須となります。このような IoT システムの普及を目指して本事業では、システムエンジニアや熟練技術者が工場現場に入って、手間の掛かる無線センサ端末の設置・設定、複雑なデータ収集システムの構築を行うことなく、ユーザの現場技術者だけでこれらを実施でき、エッジ(センサ端末+コンセントレータ)処理だけで有価情報の自動抽出可能な学習型スマートセンシングシステ(LbSS:Learning based Smart Sensing System)の開発を2016年度から5年半行いました。

 開発したLbSSの特徴は以下の様になります。
  • 測定対象の装置や、アプリケーションに対して適切な分析方法を自動解析し、センサ端末の測定パラメータに自動反映するセンシングシステムを開発しました。センサ設置時の個別調整や個別のアルゴリズム開発を不要とし、IoTシステムを短期間で構築できます。
  • 効率良い測定パラメータを選択することにより、低消費電力な無線センサ端末でも、価値の有る情報を収集可能となります。例えば、環境発電の微小なエネルギーで動作する無線センサ端末で、工場設備の稼動状態をモニタリング可能となります。
  • 無線センサ端末(手のひらサイズ)には、開発した赤外線アレー・マルチガスセンサ、市販センサが接続可能なインタフェース、様々な環境エネルギーを利用可能にするエネルギーマネジメント回路を実装し、工場現場に多い回転機器の微小振動でも、500μWを発電する振動発電モジュールの開発により、安定した電力供給を可能にいたしました。
 プロジェクトの実施にあたり、ユースケースヒアリングにご協力頂いた企業の皆様、さらに実証現場を提供して頂いた企業の皆様に深く感謝申し上げます。

 尚、本プロジェクトの概要、成果発表資料は下記のプロジェクトHPからご覧に頂けますので、ご参照いただければと思います。
 ▶ http://lbss.la.coocan.jp/papers/

IEC/TC47 国際標準化全体会議(オンライン開催)参加報告
  (2021年10月4~8日)

  IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体デバイス分野技術委員会)の国際標準化全体会議が、10月4日から8日までオンラインで開催され、関連する下記会議に参加しました。

  10月5日:TC47/WG7会議
       (半導体デバイス エネルギーハーベスタ、エネルギー変換・伝送分野)
  10月6日:TC47/SC47F/WG1-3&MT会議(MEMS分野)
  10月7日:TC47/SC47F全体会議
  10月8日:TC47全体会議

 各会議では当該分野の国際標準化のために日本、韓国、中国、ドイツをはじめとした各国で活発な議論が交わされ、各分野における日本提案の規格案審議を着実に前進させることができました。

 詳細は、以下のブログを参照下さい。
   http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2021/10/post-8ec89b.html

先端技術開発プロジェクト の活動から

SNIF/BaMBI/HS-ULPAC 研究会等の開催日程(9月~12月開催分)

  ① 薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発
    (SNIF)
    2021年 9月14日(火)第4回SNIF推進連絡会(web会議、終了)
    2021年10月 7日(火)SNIF会議(web会議、終了)
    2021年11月15日(月)SNIF会議(web会議)
    2021年12月13日(月)SNIF会議(web会議)
    2022年 1月 17日(月)SNIF会議(web会議)

  ② 血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び
    行動変容促進システムの研究開発(BaMBI)
    2021年 9月13日(月)第6回技術推進研究会(web会議、終了)
    2021年10月15日(金)第7回技術推進研究会(web会議、終了)
    2021年11月19日(金)第8回技術推進研究会(web会議)
    2021年12月17日(金)第9回技術推進研究会(web会議)
    2022年 1月 21日(金)第10回技術推進研究会(web会議)

  ③ 量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化
    の基礎研究(HS-ULPAC)
    2021年 9月16日(木)第3回研究会(web会議、終了)
    2021年10月25日(月)第4回研究会(web会議、終了)
    2021年11月12日(金)防衛装備庁中間評価ヒアリング
    2022年 1月13日(木)第5回研究会(web会議)

マイクロマシンセンター 賛助会員様へのご案内
    ・賛助会員専用ページ アップデート情報

 MMC賛助会員のページでは、当センター発行の「調査報告書」、「講習会/セミナー配布資料」などの情報(pdf)を随時ご閲覧いただけます。  

閲覧資格: MMC一般賛助会員/MMC特別賛助会員/MMC情報賛助会員
   ※ ログインには、ユーザーID及びパスワードの入力が必要です。

 ■賛助会員のページからのログイン方法:
   (http://www.mmc.or.jp/member_menu/)
    ① [会員ログイン] をクリック
    ② ログイン情報入力後、[OK]をクリック
    ③ [MMC調査報告書データベース] または
      [MMCプレゼン資料] をクリック

 ■今月の新規アップロードはありません。

 なお、非会員の方は、当センター発行の「調査報告書」の目次のみとなりますが、
以下よりご閲覧頂けます。
 http://mmc.or.jp/research/report/report-list/research_report.html

     

「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」のご案内
   (2022年1月26日~28日)

 「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022」は以下の要領で
開催いたします。
  会期:    2022年1月26日(水)~ 28日(金)
  開催時間:  10:00-17:00
  場所:    東京ビッグサイト 東ホール/会議棟/オンライン
  Official site: https://www.optojapan.jp/mems/ja/
            * リアルとオンラインのハイブリッド開催
▼2022出展案内(pdf):
   https://www.optojapan.jp/mems/ja/pdf/MEMS22_EP_ja.pdf

MMC後援・協賛イベント情報

第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 【協賛】
  日程:2021年11月9日 ~ 11月11日
  場所:オンライン開催
  主催:日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
  https://www.jsme.or.jp/conference/mnm2021/

第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム【協賛】新情報
  日程:2021年11月9日 ~ 2021年11月11日
  場所:オンライン
  主催:(一社)電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催
  https://www.sensorsymposium.org/index_j.php

2021国際シンポジウム
マイクロ・メカトロニクスとヒューマンサイエンス(MHS2021)【協賛】
  日程:2021年12月5日 ~ 2021年12月8日
  場所:Virtual Conference
  主催:マイクロメカトロニクスとヒューマンサイエンス 実行委員会
  http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/mhs/MHS2021-Top.html

2021年度 微細加工プラットフォームコンソーシアム シンポジウム
『共用施設から生まれるイノベーション』 【協賛】 新情報
  日程:2021年12月13日
  場所:オンライン
  主催:微細加工プラットフォームコンソーシアム
  https://www.nanofabsymposium.org/

第20回ナノテクノロジー総合シンポジウム 【協賛】 新情報
(JAPAN NANO 2022)
  日程:2022年1月28日
  場所:東京ビッグサイト会議棟7階 国際会議場 ※オンライン併用開催
  主催:(国研)物質・材料研究機構 ナノテクノロジープラットフォームセンター
  https://www.nanonet.go.jp/japannano/2022/ (近日掲載)

2022国際ロボット展 【協賛】 新情報
  日程:2022年3月9日 ~ 2022年3月12日
  場所:東京ビッグサイト 東1~8ホール/西3・4ホール
  主催:(一社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社
  https://biz.nikkan.co.jp/eve/irex/

ロボティクス・メカトロニクス講演会2022 【後援】 新情報
 (ROBOMECH2022 in Sapporo)
  日程:2022年6月1日 ~ 2022年6月4日
  場所:SORA 札幌コンベンションセンター
  主催:(一社)日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
  https://robomech.org/2022/

 MEMS協議会 海外アフィリエート 開催イベント

◆ 米国MEMS & Sensors Industry Group 関連イベント

  SEMICON Taiwan 2021
    https://www.semicontaiwan.org/en
    Five Key Technology Forums to Kick off Online from Sep.7 to Nov.30
    Dec 28-30 Physical Exhibition

  SEMICON West 2021
    https://www.semiconwest.org/
    December 7-9, 2021 / Hybrid Event(Moscone Center, SF, CA)

◆ スペインカタルーニャ州政府貿易投資事務所 関連イベント
  IoT SOLUTIONS WORLD CONGRESS  
    https://www.iotsworldcongress.com/
    May 10-12, 2022
    Barcelona-Gran Via Venue

◆ ドイツFraunhofer ENAS関連イベント 新情報
  Smart Systems Integration 2022  
    https://smartsystemsintegration.com/
    April 26-28, 2022
    Grenoble (France)

 主要な MEMS関連 国際会議

PowerMEMS 2021  新情報
  日程:2021年12月6日 ~  12月8日
  場所:Virtual Conference
  https://powermems.org/

IEEE MEMS 2022
  The 35th International Conference on
  Micro Electro Mechanical Systems
  日程:2022年1月9日 ~ 1月13日
  場所:Tokyo, Japan
  https://ieeemems2022.org/

Sensors Global Summit 2022  新情報
  (Enablig Smart Devices for Future of Healthcare)
  日程:2022年3月2日 ~  3月3日
  場所:La Jolla, CA, USA
  https://www.sensorsglobalsummit.com/

講習会・セミナーのご案内

◆ MEMSパークコンソーシアム からのお知らせ
 基礎講座:
 東北大学のインターネットスクール(ISTU)を活用し、e-learningによりMEMS開発に必要な企画、設計、試作、評価にかかる基礎知識を習得することができる講座です。
 受講料:無料 申込:随時
 MEMS集中講義: 
 MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集できます。
 試作実習:
 受講生に課題(試作を希望するMEMSデバイス)を持ち込んでいただき、4インチのプロセスラインを利用してマンツーマンに近い指導で装置の原理・使い方・プロセスのノウハウを学習し、「設計→試作→評価→発表」に取り組むことにより、MEMS開発者として必要な技術を体系的に習得していただきます。

問い合わせはMEMSパークコンソーシアム事務局までお願いします。
    http://www.memspc.jp/person/kiso.html


◆ 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター からのご案内

(1) 第31回マイクロシステム融合研究会    新情報
   日 時 : 2021年11月12日(金)  13:00~17:20
   開催方法: オンライン(Zoom)
   主 催 : 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、
         MEMSパークコンソーシアム
   プログラム・申込:https://forms.gle/FrBt5RvkDu9M2HV38

(2) MEMS技術入門セミナー (Live 配信セミナー) 新情報
        -基礎・各工程から各分野への応用・最新トレンドまで-
   日 時 : 12月13日(月)~14日(火) 両日とも10:30-16:30
   開催方法: オンライン開催・見逃し配信あり
   主 催 :  情報機構
   プログラム・申込:https://johokiko.co.jp/seminar_chemical/AD211230.php


MEMS関連最新情報

調査会社 Yole Developpement社からの情報:

(1)発行ニュースメール「i-Micronews」  常時最新情報
  以下URLから、MEMS関連最新情報をご閲覧ください。
  https://www.i-micronews.com/articles/

(2)「Status of the MEMS Industry」の2021版 報告書 
  https://www.i-micronews.com/products/status-of-the-mems-industry-2021/


《経済・政策動向のトピック》
 マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて「マイクロマシン/MEMS分野関連 経済報告」として発信しています。
 業務の参考として頂ければ幸いです。

今月号リンク:
 【マイクロマシン/MEMS分野関連】経済報告 2021年11月号(pdf)
    http://mmc.or.jp/info/monthly/economic_report/2021_11.pdf



■新型コロナウイルス感染症対策について
 当センターは、新型コロナウイルス感染症対策として、「三密回避」、「マスクの着用」、「手洗い・手指消毒」、「換気」等の基本的な感染対策や時差通勤を実施しつつ、事業に取り組んでおります。
 関係者の皆様におかれましては、ご不便をお掛けすることもございますが、何卒ご理解を賜りますようよろしくお願い申し上げます。

■令和3年度 「ウォームビズ」11月1日から実施中
 MMC・NMEMSでは、環境省の呼びかけに応じて、今年度も11月1日から3月31日まで、「ウォームビズ」を実施します。
 地球温暖化対策のため、室温20℃を目安に、様々な工夫をして冬を快適に過ごす「ビジネススタイル・ライフスタイル」の定着に務めてまいります。
期間中、当方へは室温20℃でも快適に過ごせる服装でお出で下さい。
  皆様方のご協力をお願いします。         
    環境省HP: https://www.env.go.jp/press/110136.html
           https://ondankataisaku.env.go.jp/coolchoice/warmbiz/about/

 










 
       

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