今回は「材料技術・表面処理による MEMS 低価格化を目指して」として開催いたします。MEMS等マイクロデバイスの構造信頼性保証に重要な要素となる強度特性・疲
労寿命評価について研究されている名古屋工業大学大学院　神谷教授に、また、MEMS
製品の低価格化に寄与するメッキによる金属厚膜等の高速・高品質成膜を研究されて
いる関東学院大学　盧准教授に電子材料への表面処理技術によりIoTの構築に貢献で
きるテクノロジーに関して、それぞれ最先端の研究開発についてご講演頂きます。
皆様からの参加申込をお待ちしております。
　■===================
第30回マイクロナノ先端技術交流会
「材料技術・表面処理によるMEMS低価格化を目指して」
===================■

開催日時：　平成２７年７月２８日（火）　15：00～17：05　　懇親会　～　18：30
開催場所：　 一般財団法人　マイクロマシンセンター・新テクノサロン
　　　　　　（地図：　http://www.mmc.or.jp/gaiyou/map/）

参加申込：　http://www.mmc.or.jp/cgi/form/sentan_30/

　詳細は以下のホームページを参照ください。
　URL

　　MNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）事業の中では特に人材育成には力をいれ、MNOICで利用可能な最先端装置を用いた実習形式の「MNOIC実習講座」を開催しています。今回はその第四弾として、「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」を企画致しました。
　MEMSの材料の中でも、優れた圧電特性を有する薄膜は機械的（Mechanical）作用と電気的（Electrical）作用を橋渡しする材料として、MEMSへの応用が盛んに研究されています。本実習は圧電体薄膜の物性を理解して、最適なMEMSを設計する手法を短時間で習得するとともに、大口径最先端光学式評価装置を実際に使い、理解を深めていきます
　講座の詳細およびお申し込みは以下のブログを参照ください。
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/07/mnoic-6c61.html

　一般財団法人マイクロマシンセンター、MEMS協議会のメンバー交流会を6月29日に東京・秋葉原、テクノサロン（MMCの７F）にて開催しました。経済産業省・産業機械課、および新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）からのご来賓を交えて、MEMS協議会への期待や課題に対する議論を交える場として開催しました。
　来賓のNEDOの弓取部長からは、グリーンセンサの成果を生かしたプロジェクトが次々と立ち上がっているのはありがたい、そのインフラプロジェクトについては早く社会実装を進めてほしい、MEMS・センサへの益々の期待と社会課題解決へ向けたアプリケーションへの貢献をと、MEMS協議会に対する期待と応援の言葉を頂きました。
　交流会の様子は以下のブログを参照ください。
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/07/mems2015629-041.html

　　新エネルギー・産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）と技術研究組合ＮＭＥＭＳ技術研究機構との共同研究開発事業「グリーンセンサネットワークシステム技術開発プロジェクト」（ＧＳＮプロジェクト）が平成27年3月に終了し、その成果として41件の発明が特許出願されました。
　これらのＧＳＮ特許は、センサ端末、無線、センサネットワークシステムなどのグリーンセンサネットワークシステムを構築する際の共通基盤となる領域を“プラットホーム特許”と位置付け、国立研究開発法人産業技術総合研究所と一般財団法人マイクロマシンセンターで出願・権利化を行い、また、自立電源、グリーンＭＥＭＳセンサ、システム利用・低消費電力化アプリケーションなどの領域については各テーマを担当したプロジェクト参加企業・大学で出願・権利化を行いました。
　詳細は以下のブログを参照ください。
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/07/post-3d52.html

　2014年度よりスタートした研究開発プロジェクトは、2年目に入りそれぞれ順調に進展しています。

(1)「道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの開発(RIMS)」(技術研究組合NMEMS技術研究機構)
　スーパーアコースティックセンサによる橋梁センシングシステムの開発ではセンサの感度向上の検討や高速道路橋でのAEモニタリング予備試験等を行っています。フレキシブル面パターンセンサによる橋梁センシングシステムの開発では圧電ひずみセンサの転写技術や耐候性保護層の検討を行っています。道路付帯構造物傾斜センシングシステムの開発ではMEMS傾斜センサの温度特性改良や無線モジュールの評価を行っています。法面変位センシングシステムの開発では、屋外での基礎実験と無線メッシュネットワークの評価を行っています。共通基盤技術としての無線通信ネットワーク共通プラットフォームや高耐久性パッケージング技術についても実証や試作及び耐久性評価を進めています。
　これらの成果は2015年4月末にパシフィコ横浜で開催しましたナノ・マイクロビジネス展で展示・報告しました。

　RIMSのホームページ
　展示パネル＠ナノ・マイクロビジネス展(2015.4.22-24)
　プレゼン資料＠プロジェクト成果報告会)2015.4.23）

(2)「ライフラインコアモニタリングの研究開発(UCoMS)」(コアモニタリング研究体)
　都市機能を支えるライフライン系の都市インフラ（電気、ガス、上下水道、情報、エネルギー）の安全な保全のためのセンサーモニタリングシステムの研究開発を実施するもので、ライフラインの心臓部にあたるモーター、ポンプ、コンプレッサー等の動力機械に焦点を当てたコアモニタリングに取り組んでいます。
　センシング・発電デバイスはプロトタイプを製作し、振動周波数と発電性能の基礎評価を終え、更なる性能向上を目指し、発電素子構造・材料の最適化を進めています。また発電デバイスの８インチウエハ製造プロセス、ウエハレベルパッケージ技術、発電デバイスとマイコン・無線回路等を集積する高耐久性センサ端末、電磁波・遮蔽物環境でも高い信頼性と低消費電力を可能にするマルチホップネットワークシステムについても順調に試作評価を進めております。
　これらの成果は2015年4月末にパシフィコ横浜で開催しましたナノ・マイクロビジネス展で展示・報告しました。

　UCoMSのホームページ
　展示パネル＠ナノ・マイクロビジネス展(2015.4.22-24)
　プレゼン資料＠プロジェクト成果報告会)2015.4.23）
　

1) 道路インフラモニタリングシステム(RIMS)
　2015年5月13日から15日に米・シカゴで開催されたAEWG(Acoustic Emission Working Group)-57th Meetingに参加した。AEWGは、1968年に第一回の会議が開かれ、今回で57回目を迎える歴史ある会議である。大学研究者のみならず、AE事業者や装置・センサメーカーも一堂に会し、研究開発の進捗や応用試験の状況についてディスカッションする機会となっている。今回は、AEに関する基礎研究、センサ・装置の開発や応用検討について３３件の報告（全て口頭発表）、装置メーカーによる3件の講演（スペシャルセッション）およびパネルディスカッションが行われた。
　会議の様子は以下のブログを参照ください。
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/07/aewg-57-a5eb.html
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/07/aewg-57-7552.html

2) 究極の省エネを実現する「完全自動化」自動車に不可欠な革新認識システムの研究（IRiS）
　IRiSの研究開発を進めている産学連携チームでは、7月14日に第1回革新認識システム研究推進委員会を開催しました。
　推進委員会では全体及び個別テーマ(分子慣性ジャイロ、分光イメージャー、認識アルゴリズム)の進捗を確認し、今後の活動につき検討が行われました。
　IRiSプロジェクトのホームページ：https://www.mmc.or.jp/project/iris/index.html

　　

　本展示会は名称を「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展」と変更し、リニューアルして以下の要領で開催いたします。
　会期：2016年10月5日(水)～7日(金)
　場所：パシフィコ横浜
　オーガナイザー：株式会社ICSコンベンションデザイン
　出展対象：ナノ材料・界面制御/防災
　　　　　　農業、ヘルスケア、車載各種センシング
　　　　　　グリーンセンサネットワーク
　　　　　　次世代モニタリングシステム
　　　　　　製造プロセス、評価・計測
　以下を参照ください。
　../../business/tenji/index.html
　

(1)　MemsONE実習講座　
　MemsONEはMEMSの設計や解析を支援するシステムです(詳細はこちら)。
　MemsONEに係る講習会についてはこちらを参照ください。
　
(２) MEMS講習会
　　MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、設定した分野において開発に携わっておられる方々をお招きし、最新動向を広く紹介していただきます。
　
　第23回MEMS講習会は以下の要領で開催しました。
　■ テーマ：MEMS技術を利用した地域活性化-山形でMEMSがもたらす新境地
　■ 日　時：平成26年10月30日(木)14:00～17:00
　■ 場　所：山形県高度技術研究開発センター研修室（山形県工業技術センター）
　当日の様子は以下のブログを参照ください。
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2014/11/23-ef46.html
　
　第24回MEMS講習会は以下の要領で開催しました。
　■ テーマ：ロボット産業や新産業革命インダストリー4.0におけるMEMS/センサへの期待
　■ 日　時：平成27年2月5日(木)13:30～17:00
　■ 場　所：マイクロマシンセンター・新テクノサロン
　当日の様子は以下のブログを参照ください。
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/02/24-25-e060.html

(３) マイクロナノ先端技術交流会
　産学交流を図ることを目的に、毎回大学等において先端的な研究に従事する方々を講師としてお招き、交流の機会を設けています。

　 第29回は以下の要領で開催しました。
■ テーマ： BEANSプロジェクト研究者達の新たな研究の取組み
■ 日時：　平成27年3月19日（木）15：00～　懇親会～18：30
■ 場所：　一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
■ 参加費：一般5,000円/賛助会員・MEMS協議会メンバー2,000円
　当日の様子は以下のブログを参照ください
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/03/29-61fd.html

　第30回は以下の要領で開催します。
■ テーマ：材料技術・表面処理によるMEMS低価格化を目指して
■ 日時：　平成27年7月28日（火）15：00～17：00　懇親会　～18：30
■ 場所：　一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
■ 参加費：一般5,000円/賛助会員・MEMS協議会メンバー2,000円
　プログラムの詳細・申込は以下のHPを参照ください。
　　URL
　
(４) 　海外調査報告会
　マイクロマシンセンターが毎年実施している海外調査の報告会です。欧米の研究機関や企業の最新研究開発動向を報告します。

　第3回は以下の要領で開催しました。
■ 内容：米国おけるMEMS産業動向
　　　　H25年度MEMS産業動向調査報告書の完成報告とH26年度取組み
　　　　マイクロマシンサミット2014と欧州MEMS産業動向
　　　　MEMS国際標準化に関する活動状況
■ 日時：　平成27年1月13日（水）15：00～17：00
■ 場所：　一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
■ 参加費：一般3,000円/賛助会員・MEMS協議会メンバー無料
　当日の様子は以下のブログを参照ください。
　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2015/01/3-2e32.html

（５）　MNOIC実習講座
　MNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)において最先端のMEMS製造・検査機器を使用する実習講座です。
　開催スケジュールと参加申し込みはこちらを参照ください
　
（６）UMEMSME-MNOIC連携セミナー
　　マイクロナノ人材育成を目的として、マイクロマシンセンターと産業技術総合研究所の共催でセミナーを開催しています。具体的なスケジュールが決まりましたら改めてご案内いたします。
　
（７）その他
　MEMSパークコンソーシアム
　基礎講座：　　東北大学のインターネットスクール（ISTU）を活用し、e-learningによりMEMS開発に必要な企画、設計、試作、評価にかかる基礎知識を習得することができる講座です。受講料：無料　申込:随時
　MEMS集中講義：　　MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集
　試作実習：　　受講生に課題（試作を希望するMEMSデバイス）を持ち込んでいただき、4インチのプロセスラインを利用してマンツーマンに近い指導で装置の原理・使い方・プロセスのノウハウを学習し、「設計→試作→評価→発表」に取り組むことにより、MEMS開発者として必要な技術を体系的に習得していただきます。
　問い合わせは事務局まで
　memspc@mems.mech.tohoku.ac.jp http://www.memspc.jp

◆ フランス　CEA Leti 関連イベント
　2015-Leti Day-Tokyo
　http://www-leti.cea.fr/en/Bloc-Annual-Review/LetiDays
　Oct 20, 2015 Tokyo, Japan

◆ 米国MEMS Industry Group関連イベント
　MEMS Manufacturing 2015
　http://www.memsmanufacturing.com/#001
　Aug 5-6, 2015 Santa Clara, CA, USA

　SEMICON Europa Dresden 2015
　Oct 6-8, 2015
　URL

　MEMS Executive Congress® US 2015
　http://us2015.memscongress.com/
　November 4-6, 2015　　The Meritage Resort & Spa Napa,CA

◆ IMEC 関連イベント
　ITF USA 2015
　http://www2.imec.be/be_en/events/itf-usa-2015.html
　July 13, 2015

　ITF JAPAN 2015
　http://www2.imec.be/be_en/events/itf-japan-2015.html
　Sep.11, 2015 the New Otani Hotel, Tokyo, Japa

◆ MANCEF 関連イベント　
　COMS 2015
　http://www.mancef.org/coms-2015/
　Sep.13-16, 2015 Krakow, Poland

　Mikro System Technik Kongress 2015
　http://www.mikrosystemtechnik-kongress.de/
　Oct. 26-28, 2015 Karlsruhe, Germany

　　Micromachine Summit
　　　日程：2016年5月
　　　場所：東京
　　　URL：
　
　　MEMS Executive Congress US 2015
　　　日程：2015年11月4日～6日
　　　場所：Napa Valley、米国
　　　URL：URL
　
　　MEMS2016
　　　日程：2016年1月24日~26日
　　　場所：上海、中国
　　　URL：http://mems2016.org/
　
　　Transducers’2017
　　　日程：2017年6月18日~22日
　　　場所：Kaohsiung, Taiwan
　　　URL: http://transducers2017.org/
　
　　MicroTAS 2015
　　　日程：2015年10月25日~10月29日
　　　場所：Sin-Gyeongju, 韓国
　　　URL: http://www.microtas2015.org/