MicroNano Monthly

[No.2014-01] 2014年1月17日発行


ニ ュ ー ス 目 次  
    
  
ニ ュ ー ス 本 文


 平成25年MMC-NMEMS10大ニュース

 昨年来景気回復の動きが本格化しつつあり、日経平均株価が年間では57%も上昇、年末の終値が1万6千円を超えるなど、明るい希望を持って新年を迎えることが出来る喜びを皆さまと分かち合いたいと思います。
 今年はわが国経済を支えるいろんな産業が力を結集して成長戦略に沿った発展を目指すことが求められています。私どもマイクロマシンセンター及びNMEMS技術研究機構が活動するナノ・マイクロ分野においては、MEMSデバイスの応用・普及が着実に進展しています。現在の国内市場規模が1兆円弱で、今後も年率2桁の成長が見込まれています。
 
 例えば自動車、スマホ、タブレットの中では加速度センサー、圧力センサー、MEMSマイクロフォン等のいろんなMEMSがふんだんに使われており、今や製品の小型化・高機能化に必須のデバイスとなっています。さらに、最近では社会インフラの老朽化、少子高齢化社会の進展等のわが国が直面する大きな社会課題を解決するツールとして、MEMSセンサーや自立電源、無線機能を組み合わせたセンサーネットワークシステムが注目されていて、このための技術開発プロジェクトの動きも本格化しつつあります。
 
 私どもは、このようなナノ・マイクロ分野の産業発展のダイナミズムを各企業のビジネス展開にしっかりと取り込むことができるように、迅速な製品開発をサポートするオープンイノベーションセンターの整備や、産学連携による先端技術に関する研究開発プロジェクトの推進等の産業活性化を支えるさまざまな事業活動を行ってきております。そして、私どもの努力がわが国の経済再生、強い経済の復権に少しでも役立つことを希っています。
 
  皆さま方には以下の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。
 

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1 BEANSプロジェクト成功裡に終了。成果として特許104件、評価も良好。成果のフォローアップ・利活用・普及事業を推進するBEANS技術研究センターを設置。
 2008年より開始されたBEANS(異分野融合型次世代デバイス製造技術開発)プロジェクトは2013年3月に終了しました。プロジェクト実施中も様々な分野から注目を浴びましたが、特許申請104件という成果を上げ、受託したNEDO新エネルギー・産業技術開発機構からも良好な評価を頂きました。
 2013年4月にBEANS技術研究センターを設置し、成果の普及事業を推進しています。主要な記事は以下のブログを参照ください。
 BEANS技術研究センターを設置(2013/4)
 BEANSプロジェクト活動状況を取りまとめ(2013/5)
 BEANS知識データベースを公開(2013/6)
 

2 「社会課題対応センサーシステム開発プロジェクト」先導研究がスタート。社会インフラ、ヘルスケア、農業・畜産分野への新たな展開を目指す。
 少子高齢化を迎えた我が国は様々な社会課題に直面しており、その対応策の一つとしてマイクロ・ナノ技術の貢献が注目されています。経済産業省/NEDOの公募に提案が採択され、先導研究がスタートしました。2013年度内という短期間ですが、新たな分野におけるセンサーシステムによる課題解決への可能性につき、研究開発を進めています。
 NEDO委託事業「社会課題対応センサーシステム」先導研究の受託決定(2013/7)
 

3 グリーンセンサネットワークプロジェクト、3年目を迎え、端末試作や実証実験で成果を着実にあげる
 2011年から開始されたグリーンセンサネットワークプロジェクトは2014年までの4年間の事業で、グリーンセンサー端末や工場やコンビニにおける実証実験で成果を着実にしています。これらの成果はナノ・マイクロビジネス展で発表され、日経TechOn等で報道されました。
 ナノ・マイクロビジネス展の成果展示及びセミナー
 学会参加報告  PowerMEMS1 同2 同3
 プロジェクト成果に注目度が急上昇
 

4 3年目のMNOIC事業が軌道に。ベンチャーや大企業を問わず、ユーザーが拡大。大口ユーザー拡大、高額案件が増加し、新規設備も拡充。
 設立2年目を迎えたMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーション・センター)は設備とスタッフの充実に努め、受注案件の拡大が続いています。また、実習セミナーを充実し、ユーザー層の拡大を進めています。
 MNOICの状況(2013/3)
 実習セミナー(2013/1) (2013/5) (2013/8) 
 

5 BEANSパテントショップを開設、プロジェクト成果としての特許の普及活動を推進中
     上記BEANSプロジェクトの成果である特許の利活用を推進するため、BEANSパテントショップを2013年7月に開店しました。複数の権利者に亘る、複数のパテントをパッケージとして、ワン・ストップライセンシングを利用者に提供するものです。
 BEANSパテントショップを開店しました(2013/7)
 

6 従来のマイクロマシン/MEMS展から改称したナノ・マイクロビジネス展を盛況に開催。併催のシンポジウムも盛況。2014年は4月末にパシフィコ横浜で開催へ。
 ナノ・マイクロビジネス展はこれまでの「マイクロマシン/MEMS展」を改称して東京ビッグサイトにて7月3日~5日に開催し、多数のご出展とご来場を頂きました。同時開催のシンポジウム・セミナーにもたくさんの方々に聴講いただきました。
 ナノ・マイクロビジネス展開催される(7/3-5)
 国際マクロマシン・ナノテクシンポジウム(7/3)
 BEANSプロジェクトセミナー(7/4)
 TIA N-MEMSシンポジウムMEMS協議会フォーラム(7/5)
 

 2014年は場所と時期を新たにし、2014年4月23日~25日にパシフィコ横浜にて開催いたします。開催の趣旨とターゲットをご理解いただくためのビジネスフォーラムを10月31日開催し、多数のご参加を頂きました。
 ナノ・マイクロビジネス展に向けての概要説明会・ビジネスフォーラム
 

7 マイクロマシンサミットの上海開催、フィンランド・ロシア・カナダからの調査団来訪等、国際交流が活発化
 毎年各国持ち回りで開催されるマイクロマシンサミットが2013年4月下旬に上海で開催されました。また、ハノーバーメッセへの出展、アジア欧米研究機関への訪問等により最新の技術動向の把握に努めています。海外からの訪問も多く、ビジネス交流会として会員との情報交換も実施しました。
 マイクロマシンサミット上海報告(4月)
 ハノーバーメッセ報告その1 その2
 研究機関訪問報告(中国欧州Guardian Angelsフィンランド・ロシアセミコンユーロアメリカ1、アメリカ2)
 海外機関の来訪(台湾ITRIロシアsovTESTフィンランドVTTカナダ)
 

8 MEMS講習会、先端技術交流会、MemsONE講習会等人材育成事業の活発化
MEMS講習会、マイクロナノ先端技術交流会はそれぞれ2回開催しました。MemsONEは実習講座を一般向けと微細加工ナノプラットフォーム向けに開催しました。
 MEMS講習会第20回 同第21回
 先端技術交流会第23回 同第24回
 MemsONE実習講座 微細加工ナノプラットフォーム向け講座
 

9 国際標準化、海外との連携により順調に推進中。
MEMS関係の国際標準は我が国が積極的な貢献をしており、審議機関であるIECの国際会議を通じm海外諸国と連携して推進中です。わが国から提案のIEC規格として8件の実績、3件が審議中、新たに振動発電に関する規格を提案準備中です。

 ①IEC/TC47/SC47Fアドホック会議/MEMS標準化ワークショップ
 比較的活発な日韓中の3カ国が持ち回り開催でアドホック会議を開催しています。2013年は6月に中国・広州で開催し、審議中の規格案について10月の本会議に向けて検討を行いました。あわせて、標準化ワークショップを開催し、MEMS関連の今後の標準化テーマの発掘や関心分野の共有を図りました。
 会議/ワークショップの様子は以下のブログをご覧下さい。
 http://www.nanomicro.biz/mems/2013/06/iectc47sc47fwg1.html
 http://www.nanomicro.biz/mems/2013/06/9mems66-8ce1.html
 

②IEC/TC47/SC47F本会議
 2013年は10月に英国・ロンドンで開催されました。ここでは、審議中の各規格案の次段階への移行が決議されました。また、SC47Fは設立以来単一の作業グループ(WG)で審議を行ってまいりましたが、審議件数の増加や技術分野の拡張にともない、3つのWGに分割して審議を進めることとしました。
 会議の様子は以下のブログをご覧下さい。
 http://www.nanomicro.biz/mems/2013/10/iectc47sc47f107.html
 

③国内での普及の必要性の高いIEC規格のJIS化
 発行済みIEC規格について、必要に応じてJIS化の作業を進めています。これまで4件をJISに制定し、2件の発行が予定されています。さらに2件のIEC規格についてJIS原案作成中です。
2014年は11月にIEC東京大会が開催され、SC47Fも招致分科会として参加する予定です。今年はこれまで以上に国際幹事国としてMEMSの国際標準化活動に貢献するとともに、国内規格の普及を進めてまいります。
 

10 新テクノサロンがMR99ビル内にオープン、会議等コミュニケーションスペースが拡大し、各種委員会活動やセミナー活動に利用が進む。
 様々な会議や講演会、交流の場として設置しておりましたテクノサロン(柴田ビル3階)を移設し、マイクロマシンセンターが所在するMBR99ビル7階に「新テクノサロンと」としてオープンいたしました。これまでのテクノサロンに比べて面積は約2.5倍となり、最大70名の会議を開催できます。A,B,Cの3区分に分割でき、応接スペースもあります。6階の当センター事務室からも近く、利便性も向上しました。皆様の一層のご利用をお願いいたします。
 

  第25回マイクロナノ先端技術交流会のご案内(2/14)

 今回は「材料・工法が切り開く技術レイヤ縦断型MEMSの研究」としてエレクトレット工法や圧電材料の新規技術を基点にデバイス、アプリケーション、そしてサービスの技術レイヤに繋げていく研究開発を進めておられる静岡大学橋口教授と東京大学年吉教授をお迎えして講演会を2月14日(金)に開催します。皆様のご参加をお待ちしております。
 詳細、参加お申込は下記ホームページを参照ください。
../../business/kouryuukai/kouryu-annai/

  MemsONE技術交流会開催のご案内(2/4)

MemsONEの普及およびユーザ様の支援を目的に毎年度1回開催しており、2月4日は6回目の開催となります。今回はシミュレーション事例だけでなく、MEMSに関連する新しい技術やプロセス、市場動向・予測に関する内容をとりあげ、MEMS関連の基調講演3件と解析事例紹介2件を予定しています。
詳細、参加お申し込みは下記ホームページを参照ください。
http://www.mmc.or.jp/mems-one/

 海外調査報告会の開催報告(1/15)

 海外の最新研究動向をお伝えする第2回海外調査報告会を1月15日に開催し約40名の方にご参加いただきました。このイベントは昨年度から始まったもので、マイクロマシンセンター/MEMS協議会(MIF)が行っているMEMS関連の海外調査及び国際標準化の状況について報告するものです。「米国・欧州におけるMEMS最先端技術と産業動向」、「マイクロマシンサミットと中国・ロシア、北欧MEMS動向」、「MEMS国際標準化に関する活動状況」と3つの報告が行われました。 
詳細は以下のブログを参照ください。
http://www.nanomicro.biz/mems/2014/01/2-1862.html

 

 MicroNano Monthlyの経済・政策トピックスを一新

マイクロマシン/MEMSを取り巻く経済・政策動向のトピックスを様々な観点からお伝えしていますが、本号より構成を一新し、図表を収録したPDFファイルとして取りまとめました。直感的に動向を把握しやすくなったと自負しておりますのでどうぞご活用ください。

 今月号は以下のブログを参照ください。
http://www.nanomicro.biz/mems/2014/01/post-0ec7.html


 2014年第20回マイクロマシンサミットはブラジルで開催

 マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/マイクロナノテクノロジーに関する課題などについて意見交換する場です。次回(第20回)はブラジルのサンパウロ(São Paulo)で開催、およびテクニカルツアがカンピーナス(Campinas)で実施されます。開催日は5月12日から14日となります。
 詳細は以下のブログを参照ください。
http://www.nanomicro.biz/mems/2014/01/201420-5ef1.html

  

 ロボット関連三団体賀詞交歓会開かれる(1/9)

 平成26年1月9日(木) 12時から、(社)日本ロボット工業会、(財)製造科学技術センター及び(財)マイクロマシンセンターによる「ロボット関連三団体・平成26年新年賀詞交歓会」が、東京プリンスホテル 2階「マグノリアホール」にて盛会に開催されました。
会場の様子は以下のブログを参照ください。
http://www.nanomicro.biz/mems/2014/01/26-42d0.html

 GSNの活動から

PoweoMEMS2013参加報告その2
イギリス・ロンドンで開催されたPowerMEMS2013はエナジーハーベスターを主とした発電、エネルギーシステムに関する国際会議です。つくば研究センターのセンサ開発の成果を報告しました。
様子は以下のブログを参照ください。
http://gsnpj.blogspot.jp/2013/12/power-mems2013_16.html
http://gsnpj.blogspot.jp/2014/01/powermems-2013_10.html 

<先導研究>
Cell-symposia参加報告

市場や技術、競合の情報を収集するため、2013年11月21日~23日までアメリカ・ロサンゼルスで開催された、医療分野含めた先端研究者が集まるCell-symposiaに参加しました。
その様子は以下のブログを参照ください。
http://www.nanomicro.biz/mems/2013/12/cell-symposia-f.html
μTAS参加報告
http://www.nanomicro.biz/mems/2013/12/tas2013-130f.html

 


 2014年のナノ・マイクロビジネス展は4月にパシフィコ横浜で開催

 「マイクロマシン/MEMS展」から名称変更した「ナノ・マイクロ ビジネス展」は2014年に開催時期と場所を変更して実施します。
開催期日:    2014年4月23日(水)~25日(金)
場所:       パシフィコ横浜
主催:       一般財団法人マイクロマシンセンター
オーガナイザー: メサゴ・メッセフランクフルト株式会社

 また、レーザーと光学技術の総合展示会「OPIE(OPTICS & PHOTONICS International Exhibition)」と同時開催となります。

 開催準備状況は随時ブログ「MEMSの波」等でお知らせしてまいります。皆様のご出展、ご来場をお待ちしております。 
 開催要領の詳細は以下のURLを参照ください。
 http://www.micromachine.jp/
 

 マイクロナノイノベーター人財育成セミナー

(1) MemsONE講習会 
MemsONEはMEMSの設計や解析を支援するシステムです(詳細はこちら)。
 MemsONEに係る講習会には、従来より実施している「MemsONE実習講座」と、昨年度より開始した人材育成用の「MEMS設計解析基礎実習」があります。「MemsONE実習講座」は、MemsONEユーザに対して操作方法や手順を指導するもので、「MEMS設計解析基礎実習」は技術者が解析ツールを活用する際の活用方法・手順・留意点等の基礎的な知識習得を支援するものです。これらの講習会は、どちらも実際にパソコン上でMemsONEを使用して操作演習を行う方式の講習会です。
 開催スケジュールと参加申込についてはこちらを参照ください。
 

(2) MEMS講習会
  MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、設定した分野において開発に携わっておられる方々をお招きし、最新動向を広く紹介していただきます。
 第21回はMEMS講習会は以下の要領で開催しました。
 ■ テーマ: 「製造業における製造装置・設備のためのMEMSセンサとセンサネットワーク、それらを用いたモニタリングとメンテナンスの現状、課題とセンサへの期待」
 ■ 日時: 平成25年10月28日(月)14:00~17:30 交流会 ~19:00
 ■ 場所: 一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
 ■ 参加費: 一般 5,000円/ 賛助会員・MEMS協議会メンバー 2,000円
 当日の様子は以下のブログを参照ください。
 http://www.nanomicro.biz/mems/2013/11/mems20131028-5a.html
 

 第22回MEMS講習会は平成26年3月16・17日に富山にて開催を予定しています。詳細が決まりましたら改めてご案内いたします。
 

(3) マイクロナノ先端技術交流会
 産学交流を図ることを目的に、毎回大学等において先端的な研究に従事する方々を講師としてお招き、交流の機会を設けています。
  第24回先端技術交流会は以下の要領で開催しました。
■ テーマ:3次元光加工・精密造形技術の最前線
■ 日時: 平成25年12月3日(火)14:00~16:50 懇親会 ~18:00
■ 場所: 一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
■ 参加費:一般5,000円/賛助会員・MEMS協議会メンバー2,000円
 当日の様子は以下のブログを参照ください。
 http://www.nanomicro.biz/mems/2013/12/24-55ce.html
 

 第25回先端技術交流会は以下の要領で開催します。
■ テーマ:材料・工法が切り開く技術レイヤ縦断型MEMSの研究
■ 日時: 平成26年2月14日(金)15:00~17:00 懇親会 ~18:30
■ 場所: 一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
■ 参加費:一般5,000円/賛助会員・MEMS協議会メンバー2,000円

 プログラムの詳細、参加お申込は下記ホームページをご参照ください。
 ../../business/kouryuukai/kouryu-annai/
 

(4) 海外調査報告会
 マイクロマシンセンターが毎年実施している海外調査の報告会です。欧米の研究機関や企業の最新研究開発動向を報告します。
 今回は以下の要領で開催します。
■ 内容: 米国・欧州におけるMEMS最先端技術と産業動向
       H24年度 MEMS産業動向調査報告書の完成報告
       マイクロマシンサミットと中国・ロシア、北欧MEMS動向
       MEMS国際標準化に関する活動状況
■ 日時: 平成26年1月15日(水)15:00~17:00
■ 場所: 一般財団法人マイクロマシンセンター・新テクノサロン
■ 参加費:一般3,000円/賛助会員・MEMS協議会メンバー無料
 当日の様子は以下のブログを参照ください。
 http://www.nanomicro.biz/mems/2014/01/2-1862.html
 

(5) MNOIC実習講座
 MNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)において最先端のMEMS製造・検査機器を使用する実習講座です。
 開催スケジュールと参加申し込みはこちらを参照ください
 

(6)UMEMSME-MNOIC連携セミナー
  マイクロナノ人材育成を目的として、マイクロマシンセンターと産業技術総合研究所の共催でセミナーを開催しています。具体的なスケジュールが決まりましたら改めてご案内いたします。
 

(7)その他
 MEMSパークコンソーシアム
 基礎講座:  東北大学のインターネットスクール(ISTU)を活用し、e-learningによりMEMS開発に必要な企画、設計、試作、評価にかかる基礎知識を習得することができる講座です。受講料:無料 申込:随時
 MEMS集中講義:  MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集
 試作実習:  受講生に課題(試作を希望するMEMSデバイス)を持ち込んでいただき、4インチのプロセスラインを利用してマンツーマンに近い指導で装置の原理・使い方・プロセスのノウハウを学習し、「設計→試作→評価→発表」に取り組むことにより、MEMS開発者として必要な技術を体系的に習得していただきます。
 問い合わせは事務局まで memspc@mems.mech.tohoku.ac.jp http://www.memspc.jp

 MEMS協議会海外アフィリエート関係のイベント

フランス CEA Leti 関連イベント
 OPTRO2014
 http://www.optro2014.com/
 Jan 28-30, 2014 OECD Conference Center – Paris, France
  
 SPIE DSS 2013
 http://spie.org/defense-security-sensing.xml
 May 5-9, 2014 Baltimore Convention Center,
 Baltimore, Maryland, United States

米国MEMS Industry Group関連イベント
 
 MEMS Executive Congress EU 2014
 March 11, 2014 Munich, Germany
  

 MEMS Industry Group Conference Japan 2014
 April 24, 2014, Tokyo, Japan, Kokusai Fashion Center (KFC) Hall
 https://www.etouches.com/ehome/index.php?eventid=73231&
  

◆ IMEC 関連イベント
 IMEC TECHNOLOGY FORUM 2014 KOREA
 http://www2.imec.be/be_en/events/itfkorea2014.html
 Feb.2, 2014 Coex Intercontinental Hotel, Seoul, Korea
  

MANCEF 関連イベント 
 mAm2014 (The Micronarc Alpine Meeting 2014)
 Jan 19-21, 2014 Villars-sur-ollon
 http://mam2014.ch/index.php
 

 主要なMEMS関連国際会議

  Micromachine Summit
   日程:2014年5月12-14日
   場所:ブラジル・サンパウロ
   URL:http://www.mms2014.org/
 


  MIGミーティング
   東京会議
   日程:2014年4月24日
   場所:東京、日本
 

   上海会議
   日程:2014年9月9日
   場所:上海、中国
 

  MEMS2014
   日程:2014年1月26日~30日
   場所:サンフランシスコ、アメリカ
   URL:http://www.mems2014.org/
 

  Transducers’2015
   日程:2015年6月21日~25日
   場所:Anchorage, Alaska, USA
   URL:http://transducers2015.org/
 

  APCOT2014
   日程:2014年7月
   場所:Daegu, Korea
 

  MicroTAS 2014
   日程:2014年10月26日~10月30日
   場所:サンアントニオ、アメリカ
   URL: http://www.microtas2014.org/

 


 
 本項は、マイクロマシン/MEMSを取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。本年もよろしくお願いします。なお、今号から、本文は別途PDFとなりますので以下をご覧下さい。なお、今月号は以下のブログを参照ください。
 http://www.nanomicro.biz/mems/2014/01/post-0ec7.html
 
 【年初のご挨拶】
 
新年明けましておめでとうございます。
 本年も、「MICRONANO Monthly」をご愛読頂きありがとうございます。
 お陰様をもちまして、一般財団法人マイクロマシンセンター(MMC)もこの1月で創立22年目を迎えることができました。これもひとえにご支援・ご協力を頂いております関係者の皆々様のご支援ご協力の賜物と心より御礼申し上げます。
 私どもMMCは、非営利セクターとしての特徴を生かしながら、ナノ・マイクロ分野の調査研究活動、国際標準化活動及び業界横断的な産業交流・活性化に加え、将来の産業化を見据えた先端技術プロジェクトの創出活動など、当分野の産業発展のための事業活動を重点的に実施してきております。さらには、ベンチャーから大企業までのユーザー企業のオープンイノベーションを支援するMNOIC活動も順調に推移し、活動4年目を迎えるに至っております。 
 今年も、このようなマイクロマシン/MEMS分野の更なる発展をめざした諸活動を一層強化・拡充して参りますので、倍旧のご支援ご指導を賜りますようお願い申し上げます。
 また、技術研究組合NMEMS技術研究機構につきましては、設立して3回目の新春を迎えることができました。これもひとえに組合員はじめ関係者の皆様や関係機関の皆様の温かいご支援の賜物と心より感謝申し上げます。本年は実施しておりますグリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクトの最終年度を迎えることになります。最終年度にふさわしく、成果が目に見える活動強化に努めて参りますので、引き続き皆様のご支援ご協力をよろしくお願い申し上げます。
 最後となりましたが、本年も「MICRONANO Monthly」の内容を、一層充実させて参りますのでご愛読方よろしくお願い申し上げます。

一般財団法人マイクロマシンセンター  NMEMS技術研究機構
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