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 一般財団法人マイクロマシンセンターは、マイクロマシン・MEMS等のナノマイクロ分野に係る基盤技術の確立を図るべく産学官の力を結集して、これまで数々の国・NEDO主導の技術研究開発プロジェクトを推進してきました。

 マイクロマシン技術研究開発プロジェクト(1991-2000)を端緒に、MEMS用設計・解析支援システム(MemsONE) 開発プロジェクト(2004-2006)、高集積・複合MEMS(ファインMEMS)製造技術開発プロジェクト(2006-2008)、異分野融合型次世代デバイス(BEANS)製造技術開発プロジェクト(2008-2012)、グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト(2011-2014) 、インフラモニタリング研究開発(2014-2018)、超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステム(LbSS)の研究開発(2016-2020)等に取り組んできており、今後もナノマイクロ分野のイノベーションの実現へ向けて技術フロンティアへの挑戦を続けていきます。 先端技術開発プロジェクトの概観

 また、これらの技術開発プロジェクトが産業化のトリガーの役割を果たし、当該分野の産業発展が進展することが期待されていることから、当センターの下に2006年4月、MEMS関連企業を中核メンバーにして、さらにはアカデミー、地域クラスター、海外団体等をも構成メンバーに加えたMEMS協議会を立ち上げました。

 MEMS協議会では、近年急速に市場が拡大しつつあるMEMS産業の一層の発展を支援し、ひいてはわが国産業の国際競争力強化や豊かな未来社会の創造に貢献することを目的とし、政策提言事業や産業連携、国際標準化、技術成果普及、ビジネス内外交流、MEMS開発インフラ整備等に係る諸事業を実施し、産業化を支援する活動を行うこととしています。

 最近では、MEMS協議会の活動の一環として、産総研と協力し最先端のMEMS製造ラインをもとに企業のオープンイノベーションを支援するMNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)を2011年4月に設置し、また、BEANSプロジェクト終了に伴い、プロジェクト成果としての数多くの特許の利用促進を図るためBEANSパテントショップを2013年4月に立ち上げ、さらにIOT/CPS社会の進展に対応すべく、SSN(スマートセンシング&ネットワーク)研究会を2015年10月にキックオフしました。


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