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| MMC ＞ MEMS講習会 ＞ 第12回MEMS講習会（2009.2） | |||
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| ◇日 時： 2009年2月6日（金） 13:00～18:00 （～19:00懇談会） ◇場 所： グランドホテル浜松 ２F 桃山の間 〒432-8507 静岡県浜松市中区東伊場1-3-1 地図URL http://www.grandhotel.co.jp/etc_map.html ◇参加費： 一般 5,000円 /MEMS協議会メンバー 4,000円 |
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☆★☆━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 第12回MEMS講習会 「MEMSの設計・加工技術と応用例」 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━★☆★ |
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主催： 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 共催： 財団法人浜松地域テクノポリス推進機構 静岡大学イノベーション共同研究センター |
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半導体微細加工技術を応用して、微小な電気要素と機械要素を１つのデバイスに組み込んだMEMS（Ｍicro Ｅlectro Ｍechanical Ｓystems）は、情報通信、自動車、ロボット、医療・バイオなど多様な分野におけるキーデバイスとして市場拡大が期待されていますが、製品開発には設計から応用まで幅広い知識が必要とされています。 （財）マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために現在まで１１回のＭＥＭＳ講習会を開催してきましたが、今回第１２回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を初めて東海地方で開催いたします。 今回は、初心者・中級者向けとして、MEMS技術・動向、MEMSファンドリー及びMEMS設計解析支援システムにわたり、幅広くご紹介いたします。 また、休憩時間には、委員会メンバー各社による技術相談会で、MEMS製作に関する御質問にお答えいたします。 特に今回は、同日開催される（財）浜松地域テクノポリス推進機構主催の「はままつメッセ2009」と同時開催という形で開催いたしますので、多数のお申込みをお待ち申し上げます。 ◇日 時：2009年2月6日（金）13:00～18:00 (～19:00懇談会) ◇場 所：グランドホテル浜松 ２F 桃山の間 〒432-8507 静岡県浜松市中区東伊場1-3-1 TEL：053-452-2111（代表） 地図URL http://www.grandhotel.co.jp/etc_map.html ◇参加費： 一般 5,000円 / MEMS協議会メンバー 4,000円 ◇定 員： 60名 （定員になり次第、締切らせていただきます。） ◇問合せ先：〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会講習会担当（山岡、酒向） TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873 ◆ 会場案内  「はままつメッセ2009」ホームページ：http://www.hamatech.or.jp/messe2009/ |
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★ 参 加 申 込 ★ |
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下記申込欄をコピーして頂き、メール本文中に貼り付け、必要事項をご入力の上、ご送信下さい。 又は下記申込欄を印刷して頂き、必要事項をご記入の上、FAXして頂いても結構です。 （受付後、登録通知メールを送付致します。） E-mail： mems-ws@mmc.or.jp FAX ： 03-5835-1873 (財)マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当 （山岡、酒向） ========= お申込は下記の申込欄のみをご送信下さい。=========== *----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----* 参加申込欄 第12回MEMS講習会 「MEMSの設計・加工技術と応用例」 ＜2009年2月6日（金）＞ 申込者氏名： 氏名フリガナ： 会社・団体名： 所属部署： 役職： 勤務先〒番号： 勤務先住所： TEL： E-mail： 参加費： どちらか一方を残してください ①一般 (5,000円) ②MEMS協議会メンバー (4,000円) *----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----* |
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プ ロ グ ラ ム ◇◇◇◇◇◇ |
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| 13:00 主催者挨拶 青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事） 共催者挨拶 木村 雅和 （静岡大学イノベーション共同研究センター センター長） 13:10 MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待 杉山 進 （立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センター長 教授 ） 13:50 電気等価回路によるMEMS設計法 橋口 原 （静岡大学 電子工学研究所 教授） 14:30 -- 休憩 -- 14:40 MEMSプロセスについて ①14:40 エッチングプロセス 林 俊雄（名古屋大学理学部教授、㈱アルバック半導体技術研究所担当部長） ②14:55 ８インチＭＥＭＳプロセス 西尾 英俊 （オムロン株式会社 マイクロデバイス事業部開発部 技術専門職） ③15:10 ナノインプリント（低コスト微細成形技術） 高橋 正春 （産業総合研究所 先進製造プロセス研究部門 グループ長） ④15:25 ウエハレベルパッケージ技術 末益 龍夫 （株式会社フジクラ シリコン技術開発部 部長） ⑤15:40 表面活性化法を用いたＭＥＭＳウエハ常温接合 奥戸 崇史 （パナソニック電工株式会社 微細プロセス開発センター 技師） 15:55 東海地区のMEMS企業の技術紹介 MEMS量産工場での普及の進む完全ドライ・レーザダイシング “ステルスダイシング技術の原理と進化” 内山 直己 （浜松ホトニクス株式会社 電子管事業部 主任部員） 16:35 MEMSデバイスおよびシミュレーションについて ①16:35 光MEMSの標準プロセス 網倉 正明 （オリンパス株式会社 MEMS開発本部 ｸﾞﾙｰﾌﾟﾘｰﾀﾞｰ） ②16:50 マイクロ流体デバイスの加工技術 小出 晃 （（株）日立製作所 マイクロ機構ﾃﾞﾊﾞｲｽﾕﾆｯﾄ ユニットリーダー） ③17:05 MEMS用設計・解析支援システム（MemsONE）の現状とその応用 岩崎 拓也 （みずほ情報総研 サイエンスソリューション部 ｼﾆｱｺﾝｻﾙﾀﾝﾄ） 17:20 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介 佐藤 文彦 （ファンドリーサービス産業委員会 委員長／ オムロン株式会社 ﾏｲｸﾛﾃﾞﾊﾞｲｽ事業部 開発部 部長） 17:30 -- 技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩 -- 18:00 懇談会 |
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| 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 MEMS講習会担当（山岡、酒向） E-mail: mems-ws@mmc.or.jp (参加申込・お問合せ） 〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル ６階 TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873 ファンドリーサービス産業委員会 HP： https://www.mmc.or.jp/fsic/ |
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