| 目 次 |
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| 序 |
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| 第１章 緒言 |
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| 1-1. はじめに |
1 |
| 1-2. 委員会構成 |
2 |
| 1-3. 調査方法 |
3 |
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| 第２章 平成２０年度産業動向調査結果 |
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| ２．１ MEMS技術動向の調査・分析 |
5 |
| （１） MEMS国際会議における発表論文の傾向 |
5 |
| １）光MEMS（Optical） |
8 |
| ２）RF-MEMS |
10 |
| ３）Fluidic |
11 |
| ４）Actuators |
13 |
| ５）Sensors |
15 |
| ６）Bio & Medical Applications |
17 |
| ７）Power-MEMS |
19 |
| ８）MEMS国際会議での主要な発表機関 |
21 |
| （２） MEMS関連特許の傾向 |
25 |
| １）特許出願の状況 |
25 |
| ２）MEMS種別ごとの傾向 |
28 |
| ①光MEMS（Optical） |
32 |
| ②RF-MEMS |
34 |
| ③Fluidic |
36 |
| ④Actuators |
38 |
| ⑤Sensors |
40 |
| ⑥Bio & Medical Applications |
42 |
| ⑦Power-MEMS |
44 |
| ３）企業（出願人）の状況 |
46 |
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| ２．２ MEMSアプリケーション動向の調査・分析 |
61 |
| （１） 情報通信機器関連分野 |
62 |
| （２） 民生用電子・電気機器／アミューズメント分野 |
65 |
| （３） 精密機器／製造技術分野 |
67 |
| （４） 自動車機器分野 |
71 |
| （５） エネルギー／環境／都市環境整備関連分野 |
73 |
| （６） 医療・福祉分野／バイオテクノロジー分野 |
77 |
| （７） 航空・宇宙機器分野 |
85 |
| （８） 農林水産関連分野 |
88 |
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| ２．３ MEMS関連企業動向の調査・分析 |
89 |
| （１） MEMS関連事業のプレーヤ |
89 |
| １）MEMSプレーヤの抽出の方法 |
89 |
| ２）MEMSプレーヤの概観 |
91 |
| （２） MEMSデバイス企業 |
94 |
| １）我が国のMEMSデバイスメーカの概要 |
94 |
| ２）取り組んでいるMEMSデバイスの現状 |
96 |
| ３）MEMSデバイスメーカの産学官連携状況 |
102 |
| （３） MEMSファンドリー |
104 |
| １）MEMSファンドリー企業の概要 |
104 |
| ２）MEMSファンドリー企業とファンドリーサービス内容の現状 |
107 |
| ３）その他の受託加工サービス企業と受託加工サービス内容の現状 |
110 |
| ４）海外のファンドリー企業動向 |
112 |
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| ２．４ まとめと課題 |
123 |
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| 第３章 付属資料 |
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| 付属資料１ 調査企業一覧 |
129 |
| 付属資料２ MEMSデバイ企業と内容（MMC文献検索データ） |
139 |
| 付属資料３ MEMS製造技術別特許件数の推移 |
155 |
| 付属資料４ MEMS関連研究機関（大学研究室）一覧 |
157 |
