メタサーフェスSiハイパースペクトル赤外光センシングデバイス(MESH)2023-2026

 NEDO委託事業「NEDO先導研究プログラム/未踏チャレンジ」の下で、国立大学法人電気通信大学、国立研究開発法人産業技術総技術総合研究所が共同で提案した「メタサーフェスSiハイパースペクトル赤外光センシングデバイス」に取り組んでいます。

 本事業の実施期間は2023年から3年でステージゲートを経て、その後2年、計5年間とし、半導体プロセスと親和性の高いシリコン製NIR-MIR向け赤外光センシングデバイスを開発します。

【事業目的】
 従来の発想によらない革新的な技術シーズを事業開始後 30 年先の技術の実用化・社会実装を実現することを目的とします。そのために、次の研究ステップへの発展、将来の国家プロジ ェクト化や社会普及への道筋を示すことを目指します。

【事業概要】
 Si半導体プロセスを応用したNIR-MIR向け赤外光センシングデバイスを開発します。ハイパースペクトル特性を有し、量子効率の向上とノイズ低減を実現することで検出能力を向上させ、10年後には実用化レベルに達する新しい高機能な光センサデバイスの創造を目標としています。現在、白金の高精度加工技術、接合技術開発等を3機関で進めています。

【開発体制】

問い合わせ・連絡先

一般財団法人マイクロマシンセンター

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