平成15年度財団法人マイクロマシンセンター事業報告の概要
オムロンのMEMSファンドリーサービス
〔コラム随想〕蝶とMEMSとディスプレイ
〔海外動向〕ハノーバー・メッセ（ドイツ）4月21日～26日
〔海外動向〕第10回国際マイクロマシンサミット報告
〔賛助会員の活動紹介〕日本ユニシス・エクセリューションズ（株）
研究室紹介：大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻システム科学領域ロボティクスグループ
