MEMS協議会産学連携ワークショップ（１）

7/29（水）

11：00 ｜ 11：20	神奈川県産業技術センター
	神奈川県産業技術センターにおけるMEMS等の開発支援について
	神奈川県産業技術センター電子技術部はクリーンルームを3部屋擁しており、特殊材料ガスを用いた半導体薄膜形成、電子線描画装置・マスクアライナーを用いた各種フォトリソグラフィー、スパッタやイオンプレーティングなどを用いた薄膜形成などの各要素技術を集結して、企業が取組むMEMS等の微細加工技術の開発研究の支援を行っています。講演では、各種装置や支援事例を紹介します。
	発表者：電子技術部　主任研究員　安井 学 問合せ：TEL：046-236-1500　EMAIL：yasui@kanagawa-iri.go.jp

11：20 ｜ 11：40	九州工業大学　生命体工学研究科　安田研究室
	バイオMEMSによる微量生体試料の操作・刺激・計測
	血液や培養細胞、生体分子などを扱うバイオMEMSデバイスを紹介します。具体的には、微小孔を通じて培養細胞への薬剤添加を行うデバイス、誘電泳動を利用して微量血液から血漿を抽出するデバイス、濡れ性勾配や静電気力を利用して微量液体を操作するデバイス、DNA分解酵素やグルタミン酸を電気化学的に計測するデバイスなどを解説します。
	発表者：大学院生命体工学研究科　准教授　安田 隆 問合せ：TEL：093-695-6047　EMAIL：yasuda@life.kyutech.ac.jp

11：40 ｜ 12：20 （40分）	MEMSパークコンソーシアム
	東北地域における微細加工等に関する取組み
	東北各県公設試験研究機関におけるMEMS分野を含む、多彩な微細加工に関する取組みについて、ご紹介します。