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MEMS国際標準化ワークショップ |
| ― The 2nd workshop on characterization of Materials for MEMS/MST Devices
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| ― マイクロナノ材料評価技術の最前線 ― |
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| １１月６日（月）１０：００－１６：２５ 三菱ビル コンファレンススクエアM＋グランド |
| 東京都千代田区丸の内2－5－2三菱ビル１０F http://www.emplus.jp/access/ |
| 主 催 ： 財団法人 マイクロマシンセンター MEMS国際標準化ワークショップ実行委員会 |
| 共 催 ： 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（予定） |
| 後 援 ： 経済産業省（予定） |
参加費 ：無料（事前申込を受付中）
【事前申込方法】
必要事項をご記入の上、下記アドレスまでご送付ください。
＜メールあて先＞ kenkyu@mmc.or.jp
＊＊定員100名に達し次第、締め切らせていただきます。＊＊
======= 以下をコピーしていただき、必要事項をご記入のうえご送信ください ======
申込者氏名 ：
会社・団体名 ：
所属部署 ：
役職 ：
勤務先〒番号 ：
勤務先住所 ：
E-mail ：
Tel ：
Fax ：
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| ＜プログラム＞ |
| セッション１ オープニング |
| 10:00－10:05 開催挨拶 |
| ワークショップ実行委員会 委員長（東京工業大学 教授） 肥後 矢吉 |
| 10:05－10:10 主催者挨拶 |
| （独）新エネルギー・産業技術総合開発機構 機械システム技術開発部長 小澤 純夫 |
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| セッション２ MEMSデバイスの最前線 |
10:10－10:40 Glass Properties for Electrostatic Bonding in Process of the Packaging
of MEMS Devices |
| Prof. Dr. Sekwang Park (Kyunpook National University, Korea) |
| 10:40－11:10 CNT Nano Electromechanical Transducers |
| Prof. Dr. Christofer Hierold (ETH Zurich, Switzerland) |
11:10－11:40 MEMS-based Nanopatterning: New Challenges and Opportunities for
Materials Science |
| Prof. Juergen Brugger (EPFL, Switzerland) |
| 11:40－13:00 昼食 |
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| セッション３ MEMS評価法と標準化 |
| 13:00－13:30 MEMS Standardization Project at NIST |
| Dr. Michael Gaitan (National Institute of Standards and Technology, U.S.A.) |
13:30－14:00 Measurement of Micro-Tensile Properties for Gold Thin Film Using
Micro-ESPI Technology |
| Dr. Yong-Hak Huh (Korea Research Institute of Standards and Science, Korea) |
14:00－14:30 Mechanical Material Characterization at the MEMS Materials
Laboratory of IMTEK |
| Prof. Dr. Oliver Paul (University of Freiburg, Germany) |
| 14:30－14:50 休憩 |
| 14:50－15:20 Deformation and Fatigue Mechanisms of Structural Films |
| Prof. Christopher L. Muhlstein (The Pennsylvania State University, U.S.A.) |
| 15:20－15:50 Round-Robin Test on Fatigue of Thin Films for MEMS Applications in Japan |
| Prof. Kazuki Takashima (Kumamoto University, Japan) |
15:50－16:20 A Comprehensive Assessment of Fatigue Failure in Micron-Scale
Polycrystalline Silicon Structural Films for MEMS |
| Prof. Robert O. Ritchie (University of California at Berkeley, U.S.A.) |
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| セッション４ クロージング |
| 16:20 - 16:25 閉会挨拶 |
| （財）マイクロマシンセンター 標準化事業委員会 委員長 大山 尚武 |
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M E M S フ ォ ー ラ ム |
| ― M E M S 関 連 産 業 の 発 展 を 目 指 し て ― |
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| １１月７日（火）10：00－16：35 東京国際フォーラム ホールD７ |
| 主 催 ： MEMS協議会 |
| 後 援 ： 経済産業省、 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 協 賛 ： 財団法人 北九州産業学術推進機構、 MEMSパークコンソーシアム |
| 参加費 ：無料 |
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| ＜プログラム＞ |
| オープニング |
| 10:00－10:05 開催挨拶 |
MEMS協議会 会長 野間口 有 |
| 10:05－10:10 来賓挨拶 |
経済産業省 製造産業局 産業機械課長 高橋 泰三 |
| 10:10 - 10:20 MEMS協議会活動紹介 |
MEMS協議会 事務局長 青柳 桂一 |
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| MEMS産業政策 |
| 10:20 - 10:50 国際競争力を見据えた日本のMEMS産業政策（仮題） |
| 経済産業省 製造産業局 産業機械課長 高橋 泰三 |
| 10:50 - 11:20 米国のMEMS産業政策とビジネス展開 |
Micro and Nanotechnology Commercialization Education Foundation (MANCEF)
Vice President Jane Niall |
| 11;20 - 11:50 MEMSビジネス，何が成否を分けるのか |
| 日経BP社 副編集長 三宅 常之 |
| 11:50 - 13:00 昼食 |
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| MEMS産業基盤強化 |
| 13:00 - 13:30 MEMSファンドリー機能強化のためのに標準メニュー開発（仮題） |
MEMS協議会 ファンドリーサービス産業委員会 委員長 富井 和志
（松下電工㈱ 高度MEMS開発センター MEMSファンドリーサービス 主担当） |
| 13:30 - 14:00 MEMS/MS応用研究フォーラムの活動について |
| （財）北九州産業学術推進機構 産学連携センター長 宮下 永 |
| 14:00 - 14:30 製造業との連携によるMEMS技術への取り組み～地方公設試の挑戦～ |
| 山形県工業技術センター 電子情報技術部 専門研究員 渡部 善幸 |
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| MEMS技術構築、産学連携 |
| 14:30 - 15:00 MEMS技術戦略ロードマップ |
| （独）新エネルギー・産業技術総合開発機構 機械システム技術開発部長 小澤 純夫 |
| 15:00 - 16:00 MEMS協議会アカデミア・アフィリエートからの情報発信 |
| オーガナイザー： 名古屋大学 教授 佐藤 一雄 |
| ・光集積デバイスに貢献するシーズ技術 |
| 東北大学 羽根・佐々木研究室 助教授 佐々木 実 |
| ・MEMS加速度計の根本問題とベンチャーによる解決の可能性 |
| 独立行政法人 産業技術総合研究所 計測標準研究部門 梅田 章 |
| ・京都大学ナノ・マイクロシステム工学研究室の研究内容紹介 |
| 京都大学ナノ・マイクロシステム工学研究室 教授 田畑 修 |
・精密工学会マイクロ／ナノシステム研究専門委員会及び東京工業大学精密工学
研究所（堀江研究室）の産学連携活動報告 |
| 東京工業大学 精密工学研究所 教授 堀江 三喜男 |
| 16:00 - 16:30 MEMS産業の基盤強化に向けた根幹技術の構築 |
| 東京大学 生産技術研究所 教授 藤田 博之 |
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| クロージング |
| 16:30 - 16:35 閉会挨拶 |
MEMS協議会 副会長 唐木 幸一 |
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第12回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム |
| ― ナノ・集積化MEMSのイノベーション創出とビジネス最前線 ― |
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| １１月８日（水）9：00－17：55 東京国際フォーラム ホールD７ |
| 主 催 ： 財団法人 マイクロマシンセンター |
| 後 援 ： 経済産業省／独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 参加費 ： ２０，０００円（予稿集込み） |
申込み ： 詳細は 第12回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム
ページをご参照お願いいたします。 |
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| ＜プログラム＞ |
| オープニング 司会：（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
| 9:00－ 9:05 開催挨拶 |
（財）マイクロマシンセンター 理事長 野間口 有 |
| 9:05－ 9:10 来賓挨拶 |
経済産業省 製造産業局 産業機械課長 高橋 泰三 |
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| 基調講演 司会：（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
| 9:15－10:00 日本におけるMEMS開発の方向性と高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト |
| 東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授 下山 勲 |
| 10:00－10:45 米国におけるMEMS開発の方向性とMEMSインテグレーション |
| Thomas W. Kenny ( Stanford University ) |
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| セッション１ マイクロ・ナノ科学技術の最先端 司会：京都大学 教授 田畑 修 |
| 10:45-11:15 中性粒子ビームによるトップダウンプロセスとボトムアッププロセスの融合 |
| 東北大学 流体融合研究センター 教授 寒川 誠二 |
| 11:15-11:45 半導体/磁性体ナノ結晶の超格子生成、及び物性制御 |
| Christpher B. Murray , IBM, The T.J. Watson Reserch Center |
| 11:45-12:15 有機、有機/無機ハイブリッド分子デバイス |
| Cherie R. Kagan, IBM, The T.J. Watson Reserch Center |
| 12:15-13:30 昼食 |
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| セッション２ 期待されるMEMS応用 |
| 13:30-14:00 CMOS/ MEMS集積： シリコン共振器実現のKFS(Key for Success) |
| Emmanuel Quevy, Silicon Clocks Inc. |
| 14:00-14:30 未来の携帯端末を実現させるコンフィギュアラブル RF サーキット |
| NTTドコモ 総合研究所 ワイヤレスデバイス研究グループ 主幹研究員 楢橋 祥一 |
| 14:30-15:00 マイクロ/ナノテクノロジーを用いた低侵襲検査・治療機器の開発 |
| 東北大学 先進医工学研究機構 助教授 芳賀 洋一 |
| 15:00-15:30 MEMS@ボッシュ: 自動車向けアプリケーションを越えて |
| Peter Ernst, Robert BOSCH GmbH |
| 15:30-15:50 休憩 |
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| セッション３ MEMS/半導体集積化MEMS 司会：（独）産業技術総合研究所 室長 臼田 孝 |
| 15:50-16:20 多結晶SiGeによるCMOS/ MEMS集積 |
| Kris Baert, IMEC |
| 16:20-16:50 CNTを用いたナノスケールメカ：死の谷を越えるには何が必要か？ |
| Martin Culpepper, Massachusetts Institute of Technology |
| 16:50-17:20 最先端パッケージング：MEMS事業化へのブレークスルー |
| Joerg Froemel, Fraunhofer IZM |
| 17:20-17:50 光MEMS技術の集積化と大面積化 |
| 東京大学 マイクロメカトロニクス国際研究センター 助教授 年吉 洋 |
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| クロージング |
| 17:50-17:55 閉会挨拶 |
（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
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MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト 成果発表会 |
| 経済産業省・NEDO委託事業（平成16年度～18年度） |
| ― MemsONEの機能・特徴の紹介と活用方法デモ、α版・β版リリース案内 ― |
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| １１月９日（木）13：00－16：15 東京国際フォーラム ホールD７ |
| 主 催 ： 財団法人 マイクロマシンセンター MEMS-ONEプロジェクト推進委員会 |
| 共 催 ： 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 後 援 ： 経済産業省 |
| 参加費 ：無料 |
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| ＜プログラム＞ |
司会：京都大学 教授 小寺 秀俊 |
| セッション１ オープニング |
| 13:00 - 13:15 主催者挨拶 |
| プロジェクト推進委員会委員長（東京大学 生産技術研究所 教授） 藤田 博之 |
| 13:15 - 13:30 来賓挨拶 |
| 経済産業省 製造産業局 産業機械課 課長補佐 土屋 博史 |
| 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構 理事 高安 正躬 |
| 13:30 - 14:00 基調講演「ファインMEMSからのMemsONEへの期待」 |
| 東京大学 大学院情報理工学系研究科 教授 下山 勲 |
| 14:00 - 14:15 休憩 |
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| セッション２ MemsONEの機能概要とデモ |
| 14:15 - 14:35 機能の概要と特長 |
| 京都大学 教授 小寺 秀俊 |
| 14:35 - 15:20 設計考案からプロセス・マスク設計、動作検証まで |
| オムロン（株） 主事 森口 誠 |
| オリンパス（株） グループリーダ 宮島 博志 |
| 松下電工（株） 主担当 富井 和志 |
| 15:20 - 15:25 ー質疑応答ー |
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| セッション３ MemsONEのα版リリース案内 |
| 15:25 - 15:35 今後のリリース構想について（α版、β版の入手方法と時期、それ以降） |
| みずほ情報総研（株）、MMC |
15:35 - 15:55 α版リリースについて（α版の位置づけ、入手方法、インストール、
利用制限、注意事項等） |
| みずほ情報総研（株）、MMC |
| 15:55 - 16:00 質疑応答 |
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| セッション４ クロージング |
| 16:00 - 16:15 MemsONEサポートセンター構想について |
| （財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
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