【定　義】　結晶方位及びエネルギービームの方向によって，エッチング速度が変化しないエッチングプロセス。

【解　説】　シリコンの代表的な等方性エッチング液は，HF/HNO3/CH3COOH (HNA)溶液である。

【参考資料】

【関連用語】