シリコン オン インシュレータ (SOI) 【しりこんおんいんしゅれーた:silicon-on-insulator (SOI)】 

【定 義】 絶縁体と,その上に形成されたシリコンの薄膜によって構成された構造体。

【解 説】 サファイア(SOSの場合),ガラス(SOGの場合),酸化シリコン,窒化シリコン,又は高抵抗シリコンが絶縁体として用いられる。

【参考資料】

【関連用語】