【定　義】　赤外線による振動励起を利用した光ＣＶＤ技術。

【解　説】　ＣＶＤにおいて光によって反応物質を励起させる方法があるが、赤外線を用いると振動励起させることができる。 振動励起→気体加熱→熱分解（熱ＣＶＤ）・多光子吸収による光分解という２つの過程を経た蒸着が行われる。

【参考資料】 (4)

【関連用語】