EPMA 【いーぴーえむえー:Electron probe microanalysis (EPMA)】 1006202-48

【定 義】 Electron Probe (X-ray) Microanalysisの略語。 電子線、X線を利用して固体表面の形状の観察と、組成元素の定量分析を行うための方法。

【解 説】 電子やX線を試料に照射した時に試料から放射される特性X線の分光測定によって元素の分析を行う。 電子やX線の試料表面の走査によって試料表面の2次元的な元素分析が可能である。 定量補正法が確立されているため、定量性が良い。 ただし、軽元素に対する感度は悪い。

【参考資料】 (10)

【関連用語】