圧電リニアアクチュエータ 【あつでんりにああくちゅえーた:Piezoelectric linear actuator】 0301202-167

【定 義】 圧電素子を利用して直線運動を発生するアクチュエータ。

【解 説】 圧電素子が発生する変位は小さいが、力が強く高速に応答することを利用して、各種のリニアアクチュエータが開発されている。 走査プローブ顕微鏡(SPM)などでは積層型圧電素子の変位を直接利用して高分解能な位置決めを実現している。 長いストロークの実現には、インチワーム機構など様々な方式が研究されている。

【参考資料】 (4)(14)

【関連用語】 アクチュエータ圧電素子圧電アクチュエータリニアアクチュエータ