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【わが国提案の国際規格・規格案】

 2002年にマイクロマシン/MEMS分野では国際的に初めての規格となる「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」を皮切りに、順次IEC(International Electrotechnical Commission:国際電気標準会議)に対してMEMS関連の規格提案を行ってまいりました。以降、提案活動と審議を経て、2005年に「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」、2006年に「MEMS薄膜材料の引張試験法」及び「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片」、2009年に「MEMS用薄膜材料の疲労試験法」、2011年に「共振振動を用いた曲げ疲労試験法」、2012年に「曲げせん断接着強度試験法」、2013年に「薄膜曲げ試験法」及び「電子コンパス」、2014年に「小型ジャイロ」、そして2016年に「形状計測法」の計10件が国際規格(International Standard)発行に至っています。また、「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」は改訂版を2016年に発行しています。

 現在審議中のわが国提案の規格案は、「MEMSエレクトレット振動発電デバイス」及び「MEMS圧電薄膜の特性計測方法」の計2件で、今後とも国際規格発行に向けて審議を進めるとともに、新たな規格提案を行うための検討を続けてまいります。

【規格案のIEC審議状況】

①マイクロマシン及びMEMSに関する用語
  2002年7月 NP(New Proposal)提案
  2005年9月 国際規格(International Standard)発行【IEC62047-1】
  2008年3月 JIS制定 【JIS C 5630-1】
  2013年11月 改正提案CD回付
  2016年1月 国際規格発行【IEC62047-1 Ed2.0】
  2016年1月 JIS改訂原案作成終了【JIS C 5630-1】

②MEMS用薄膜材料の引張試験法 及び
③MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片

  2003年7月 NP提案
  2006年8月 国際規格発行【IEC62047-2】 【IEC62047-3】
  2009年3月 JIS制定【JIS C 5630-2】 【JIS C 5630-3】

④MEMS用薄膜材料の疲労試験法
  2006年5月 NP提案
  2009年4月 国際規格発行【IEC62047-6】
  2011年8月 JIS制定 【JIS C 5630-6】

⑤MEMS薄膜材料の共振振動を使用した曲げ疲労試験法
  2009年2月 NP提案
  2011年9月 国際規格発行【IEC62047-12】
  2014年2月 JIS制定【JIS C 5630-12】

⑥MEMS構造体曲げせん断接着強度試験法
  2009年7月 NP提案
  2012年2月 国際規格発行【IEC62047-13】
  2014年2月 JIS制定【JIS C 5630-13】

⑦薄膜曲げ試験法
  2010年2月 NP提案
  2013年7月 国際規格発行【IEC62047-18】
  2014年2月 JIS原案作成終了【JIS C 5630-18】
  2014年12月 JIS制定【JIS C 5630-18】

⑧電子コンパス
  2011年2月 NP提案
  2013年7月 国際規格発行【IEC62047-19】
  2014年2月 JIS原案作成終了【JIS C 5630-19】
  2014年12月 JIS制定【JIS C 5630-19】

⑨小型ジャイロ
  2011年7月 NP提案
  2014年6月 国際規格発行【IEC62047-20】
  2014年8月 JIS原案作成開始【JIS C 5630-20】
  2015年11月 JIS制定【JIS C 5630-20】

⑩形状計測法
  2013年4月 NP提案
  2016年1月 国際規格発行【IEC62047-26】

⑪MEMSエレクトレット振動発電デバイス
  2014年3月 NP提案

⑫MEMS圧電薄膜の特性測定方法
  2015年6月 NP提案
 
 
 
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