4.3 海外の主要MEMS企業 | 4.4 日本の主要MEMS企業 | 4.5 世界の研究開発動向
 
 4. 国内外の市場と研究開発:日本の主要MEMS企業

   わが国でも様々な企業がMEMS市場で活躍しています。

 各種センサー パナソニック、村田製作所、オムロン、横河電機、
デンソー、三菱電機、フジクラ、富士電機、TDK
 電子コンパス 旭化成エレクトロニクス、ヤマハ、愛知製鋼、アルプス電気
 インクジェットヘッド セイコーエプソン、キヤノン
 RF-MEMS オムロン、東芝、三菱電機、富士通
 マイクロフォン オムロン、ソニー、TDK
 光学MEMS オリンパス、セイコーインスツル、ソニー
 製造装置 SPPテクノロジーズ、アルバック

 
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