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2016年9月改訂 一般財団法人マイクロマシンセンター 
 今や製造業のキーデバイスとなりつつあるMEMS(メムス)は、その産業的な波及効果の大きさから、産業のマメと言われています(半導体が産業のコメと呼ばれていることに対応)。また、MEMSは未来の新たなライフスタイルを創出することも期待されています。ここでは、素晴らしい可能性を秘めているMEMS(メムス)について、わかりやすく解説します。 
 
[ 目  次 ]  
1. MEMSとは
    1.1 産業のマメ
    1.2 特長(1)
    1.3 特長(2)
    1.4 開発の歩み

2. MEMSプロセス 
    2.1 ふたつの作り方
    2.2 基本的なプロセスフロー
3. MEMSデバイスと応用
    3.1 フィジカルMEMS:センサ
    3.2 光MEMS:アクチュエータ
    3.3 RF-MEMS:アクチュエータ
4. 国内外の市場と研究開発
    4.1 世界のMEMS市場
    4.2 国内MEMS市場の推移
    4.3 国内MEMS市場(産業分野別)
    4.4 海外の主要MEMS企業
5. 産業化とMEMSの活用場面
6. センサーネットワークへの期待
 
    6.1 今後期待されるスマートモニタリング 
    6.2 グリーンセンサ・ネットワーク 
    6.3 道路インフラのモニタリング
    6.4 産業インフラのモニタリング 
    6.5 高効率マイクロエネルギーハ-ベスタの研究 
    6.6 自動運転に不可欠な革新認識システムの研究

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