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2017年10月改訂 一般財団法人マイクロマシンセンター 
 今や製造業のキーデバイスとなりつつあるMEMS(メムス)は、その産業的な波及効果の大きさから、産業のマメと言われています(半導体が産業のコメと呼ばれていることに対応)。また、MEMSは未来の新たなライフスタイルを創出することも期待されています。ここでは、素晴らしい可能性を秘めているMEMS(メムス)について、わかりやすく解説します。 
 
[ 目  次 ]  
1. MEMSとは
    1.1 産業のマメ
    1.2 特長(1)
    1.3 特長(2)
    1.4 開発の歩み

2. MEMSプロセス 
    2.1 ふたつの作り方
    2.2 基本的なプロセスフロー
3. MEMSデバイスと応用
    3.1 フィジカルMEMS:センサ
    3.2 光MEMS:アクチュエータ
    3.3 RF-MEMS:アクチュエータ
4. 国内外の市場と研究開発
    4.1 世界のMEMS市場
    4.2 国内MEMS市場
    4.3 海外の主要MEMS企業
5. 産業化とMEMSの活用場面
    5.1 MEMS技術とアプリケーション 
    5.2 ロボットの機能や安全性にはMEMSセンサが必須
    5.3 MEMSのかたまりスマートフォン 
    5.4 現代の自動車にとってセンサーは必須

6. センサーネットワークへの期待
 
    6.1 今後期待されるスマートモニタリング 
    6.2 道路インフラのモニタリング
    6.3 センサ端末同期用原子力時計の研究開発
    6.4 産業インフラのモニタリング 
    6.5 超高効率データ抽出機能を有する学習型スマートセンシングシステムの研究 
    6.6 空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究

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