アルバックのMEMSファンドリーサービスの特徴は、装置メーカー
としてプロセスを開発してきた技術とノウハウを生かし、新しいプ
ロセスや装置を必要とする加工に対しても迅速なサービスを提供す
ることである。本講演では、誘電体成膜・NLDドライエッチングなど
アルバックの独自技術を生かしたMEMSデバイス（アクチュエータや
圧力センサー）のファンドリーサービス事例をご紹介いたします。