MEMS用設計・解析支援ソフトMemsONEのVer3.0が2010年1月18日に
リリースされたが、MemsONEの機能的な特徴とVer3.0での新規リリ
ース機能を紹介する。
　MemsONEの特徴機能としては、材料DB/知識DB、機構解析とプロセ
ス解析の密連携、プロセス逆問題、ナノインプリント、MEMS向け多
様なメッシュ生成機能、MEMS回路シミュレーションの等の機能概要
を解説する。また、MemsONEVer3.0の新機能として、材料DB/知識DB
の充実、解析機能の強化、モデリング機能・メッシュ分割機能、ME
MS回路シミュレーション機能の強化項目に関し、その要点を紹介す
る。