今年でMEMSジャイロセンサの量産12年目を迎えるシリコンセンシ ングシステムズは、多岐にわたるMEMS製造の経験を保有している住 友精密工業と90年以上のジャイロスコープのデザインと開発の歴史 を持っている英国アトランティックイナーシャルシステムズとの合 弁会社です。シリコンセンシングシステムズは長年にわたるMEMS開 発と量産の経験を活かして、このたびMEMS受託加工サービス(ファ ンドリーサービス)を開始することとなりました。車載用途として 1500万個以上のMEMSジャイロセンサの製造で培ってきたシリコンの ICPエッチングやガラス加工などのファンドリーサービスをご案内 します。