MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、IC (集積回路)製造
技術を応用し、さらに機能を拡張し、ミリメートル寸法のシリコンチ
ップ上にセンサ、アクチュエータおよび制御用処理回路を集積したマ
イクロシステムである。ICは入力および出力ともに電気信号であるの
に対して、MEMSは物理(電気、機械、光学、磁気など)、化学、生体信
号など種々の信号を処理する能力を持った能動的なデバイスであり、
新産業創出に大いに期待されている。またMEMSはナノテクノロジーの
研究成果を実世界に有効に機能させるプラットホームとして重要であ
る。本稿では、MEMS技術の発展、MEMSの産業化、MEMSの応用として、
センサ、アクチュエータ、RF-MEMS、パワーMEMS、分析MEMS、ポリマ
ーMEMS、MEMSと通信機能の融合に関する研究例を紹介し、MEMS製造技
術の進展について現状および将来の展望について述べる。