オムロンでは、8インチMEMS量産ラインをはじめ、5インチMEMSラ
イン、8インチCMOSライン、5インチバイポーララインが1つの工場
にそろったユニークなラインを保有しています。
　MEMSにおいては、Deep-RIEを含むエッチング、陽極接合、エレク
トロケミカルエッチストップ、メタル形成等のシリコン／ガラス加
工技術、レーザーダイシング、両面マスクアライナーなどの技術を
保有しており、経験と実績で培った高い技術力とスピードをもって、
お客様の幅広いニーズにお応えします。
　本講演では、8インチMEMSの取組みと圧力センサの開発事例に
ついてご紹介します。