オリンパスは、永年培ってきた光学技術・精密技術・流体技術を三
次元精密加工に融合させることにより、光MEMS、バイオMEMSを中心と
した開発に注力している。マイクロプローブでは、CNTの特性に匹敵
するカーボン細線を、バッチ処理でカンチレバーの針先だけに選択成
長させたカーボンナノファイバー（CNF）探針の製品化に成功した。
また、FineMEMSプロジェクトでは、機能ごとに適した材料、構造体・
部品で製作されたMEMS基板を基板状態で接合し、機能を複合・集積化
したセンサモジュールを実現するための製造基盤技術を確立している。
本講演ではこれら融合型MEMS加工技術の開発事例について紹介する。