静電容量を利用したMEMSのセンサ、アクチュエータが、幅広く商
業用に開発生産されるようになっている。それにつれて、電極間の
正確な容量、あるいは、電極と配線間、配線同士の寄生の容量を正
確に見積もることが、歩留をあげる上で、非常に重要になっている。
　今回紹介するParadiseWorld-2では、まずプロセス形状シミュレ
ーションによってMEMSあるいは配線の3次元形状を正確に生成し、
その形状から電極や配線を自動的に抽出し、相互容量を容易にかつ
正確に抽出できる。講演では、容量抽出機能を中心としたParadise
World-2の紹介と容量計算の事例を説明する。