情報機器･バイオ･医療分野などからMEMSなどのマイクロ・ナノメ
ータサイズの微細加工製品が強く求められており、2015年にはMEMS
市場は2兆4千億円(MMC)に拡大すると予測している。これを達成する
ためには、①現在の半導体製造方式にかわる大幅なコストダウンが
可能な新製造技術開発が重要、②新規分野への展開へ中小企業も投
入可能な新製造技術・人材育成がカギ・省エネ、環境調和である、
と考えている。
　そのキー技術となるのが微細金型によるマイクロナノ成形加工技
術である。今回、このマイクロナノ成形加工技術工技術とその応用
展開について紹介する。