バイオやケミカルの分野で、微小流体の均一性や応答性の良さを
利用した小型で高性能な分析システムや化学合成システムの研究開
発が活発に行われている。ここでは、それらに用いられるマイクロ
流体チップの加工技術についてご紹介する。