従来の電子デバイスにおける評価・試験方法に代わり、微小空間
での温度・湿度・圧力試験は新しい制御方法で行わなくてはなりま
せん。それはMEMSデバイスの評価には電気的要素だけでなく物理的
要素も加わるからです。
　今回、その方法を解説すると共に長年、開発した試験方法をご紹
介致します。さらに試験器単体だけでなくいろいろな光学機器並び
に分析機器との組み合わせによるシステムをご案内いたします。