産業技術総合研究所のMEMS関連設備の拡充・整備と皆様へのハ
ードとソフトの提供についてご説明いたします。また、MEMS人材
育成事業の一例として、ナノインプリントについて、型製作から、
装置取り扱いおよび実習内容をご紹介いたします。