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Micromachine / MEMS Technical Terms
Reference List

No. 書 籍 名  著者/編者 発行年月日  発 行 所 
Title Author/Editor Date Publisher
(1) マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス               
JPN
江刺正喜、他 1992. 6.20 培風館 
(2) マイクロ知能化運動システム-マイクロマシンの工学的実現-   
JPN
原島文雄、他 1991. 8.31 日刊工業新聞社
(3) マイクロマシンの世界-超微細機械開発へのアプローチ-
JPN
藤田博之 1992. 6. 1 工業調査会
(4) マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧             
JPN
樋口俊郎、他  1992. 3.19 ㈱フジ・テクノシステム
(5) 驚異の医療機械マイクロマシン-医療を変える超小型機械の出現- 
JPN
藤正 巖 1990. 6.20 講談社
(6) マイクロマシン開発ノートブック
JPN
藤正 巖、他 1991. 3. 1 秀潤社
(7) マイクロ加工技術-第2版-  
JPN
マイクロ加工技術編集委員会 1988.9.30 日刊工業新聞社
(8) マイクロマシン技術による製品小型化・知能化事典 
JPN
同事典編集委員会 1992.5.10 産業調査会事典出版センター 
(9) ナノテクノロジーの基礎と応用 
JPN
谷口紀男 1988.11.28 工業調査会
(10) 真空ハンドブック
JPN
1993 オーム社
(11) 理化学辞典 第4版
JPN
久保、長倉、他  1991. 1.10 岩波書店
(12) 製品小型化、知能化のためのマイクロマシン
JPN
1992. 5.10 産業調査会
(13) マイクロマシンシステムに関する基礎技術の調査研究
JPN
1993. 3. (財)機械システム振興協会
(14) 演習 圧電アクチュエータ
JPN
内野研二 1991. 7. 6 森北出版
(15) アクチュエータ革命 
JPN
高森 年 1987. 6.15 工業調査会
(16) マイクロマシンと材料 
JPN
林 輝 1991. 3. 1 シーエムシー
(17) JIS工業用語大辞典 第3版 
JPN
1991.11.20 日本規格協会
(18) センサ応用技術
JPN
宇佐見晶 1993. 4.15 工業調査会
(19) マイクロロボットに関する調査研究報告書 
JPN
1991. 3 (財)機械システム振興協会
(20) Silicon Monolithic Micromechanical Gyroscope P.Greiff, et al. 1991 Transducer '91
(21) Low wavefront aberration and high temperature stability modeled micro Fresnel lens M.Tanigami 1989 IEEE Photon Technol,Left.,
(22) 分子線エピタキシー
JPN
権田俊一 1994 培風館
(23) 薄膜化技術
JPN
早川茂、和佐清孝 1982 共立出版
(24) 応用物理ハンドブック
JPN
応用物理学会 1990 丸善
(25) レーザアシストエッチング
JPN
小薮国夫 1988.9 精密工学会誌
(26) 物理学大辞典 
JPN
牧 二郎 他 1989.6.25 丸善 
(27) Si表面のSTS
JPN
富取正彦 他 1991.4 日本物理学会誌
(28) Scanning Tunneling Microscopy Ⅱ R. Wiesendanger  1992/1 Springer-Verlag
(29) A photoelectric microscope forthe measurement of linear scales J.S.Clark  1956/9 J.of Scientific Instruments
(30) アクチュエータ実用事典
JPN
宮入庄太 1988.9.30 ㈱フジ・テクノシステム
JPN …… in Japanese
No. 書 籍 名  著者/編者 発行年月日  発 行 所 
Title Author/Editor Date Publisher
(31) 形状記憶樹脂 
JPN
林 俊一  1989.7.24 日経メカニカル
(32) 人工臓器用語解説集
JPN
人工臓器学会 1991.9.30 金原出版
(33) 日経バイオ最新用語辞典91
JPN
日経バイオテク 1991.4.25 日経BP
(34) トライボロジスト
JPN
大前伸夫 1990.11.15 日本潤滑学会
(35) ロボット工学ハンドブック
JPN
日本ロボット学会 1990.10 コロナ社
(36) 人工現実感の世界
JPN
服部 桂  1991.5.7 工業調査会
(37) バーチャルワールド
JPN
Benjamin Woolley 1993.12.1 インプレス
(38) 生命科学2 生命とエネルギー
JPN
香川靖雄 1980 培風館
(39) 精密位置決め技術
JPN
井澤 實 1989.4.15 工業調査会
(40) 超技術マイクロマシン 
JPN
東京大学マイクロマシン 共同研究体 1993 NTT出版
(41) マイクロマシン-賢く働く微小機械
JPN
宝谷紘一、他 1991 読売新聞社
(42) 超精密生産技術大系第2巻実用技術
JPN
森脇俊道 1994.8.23 ㈱フジ・テクノシステム
(43) Topics (Micromachine Summit) ・The Scope of Micromachines  Micromachine Center
(44) 応用物性
JPN
佐藤勝昭 1991.2.25 (株)オーム社
(45) Proceedings of Micro Electro Mechanical Systems '93 Real Three Dimensional Micro Fabrication Using Stereo Lithograpy and Metal Molding  Koji Ikuta, et al. 2/7,1993 IEEE 
(46) Proceedings of Micro Electro Mechanical Systems '95Development of Coil Winding Process for Radial Gap Type Electromagnetic Micro-Rotating Machine  Hitoshi Ota, et al. 1/29,1995 IEEE
(47) マイクロマシン技術の現状と将来
JPN
江刺正喜 1994 日本応用磁気学会 Vol.18,No.5
(48) マイクロマシンの基礎技術の研究 
JPN
1995.3 (財)マイクロマシンセンター
(49) 電気電子用語辞典 
JPN
1984 オーム社
(50) マイクロマシンと光技術
JPN
O plus E 1994.10 新技術コミュニケーションズ
(51) 物理学辞典 
JPN
1989 培風館
(52) 分子動力学とモンテカルロ法
JPN
片岡洋右 1994.3 講談社
(53) 分子気体力学
JPN
曽根良夫、 他 1994.12.10 朝倉書店
(54) 数値流体力学
JPN
安原、大宮司 1992.2.25 東大出版会
(55) 分子熱流体
JPN
小竹 進 1990.11.30 丸善
(56) 応用光学 光計測入門
JPN
矢田貝豊彦 1988 丸善
(57) 高感度非接触粗さ計の開発
JPN
三井公之、他 1987.2 精密工学会誌
(58) 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1)
JPN
小沢則光、他 1986.12 精密工学会誌  
(59) マイクロ化学
JPN
増原極微変換P.J.
1993 化学同人
(60) 最新医学大辞典
JPN
医歯薬出版㈱
(61) 化学大辞典
JPN
化学大辞典編集委員会 1981.10.5 共立出版
(62) 生化学事典
JPN
今堀和友、他 1987.4.1 東京化学同人
JPN …… in Japanese

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