TIA NMEMS拠点

 
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NMEMS拠点:つくばR&Dプラットフォーム
最新8インチMEMSライン 産総研UMEMSME 国プロジェクトの推進

NMEMS拠点のつくばR&Dプラットフォームは、次の3つの構成要素から成ります。

 
産総研集積マイクロシステム研究センターにおける8インチを中心とする最新のMEMS製造装置および評価検査装置群
それら装置群が最良の状態で使用できるようにするための研究インフラを構築・整備・管理する機能
高いレベルで研究を遂行できる研究力、すなわち産総研研究者や大学研究者などがもたらす蓄積された知恵や経験および知財

 
 このようなプラットフォームの上で、産学の研究者が結集し、協業によるシナジー効果が発揮されて、イノベーションが創出される。産学連携によるオープンイノベーションによって、コスト競争力のある製造プロセスや新規デバイスなど、国際競争力のある成果が生み出されることが期待されます。

 「つくばR&Dプラットフォームの概要 2011.2」(PDF)
  
つくばR&Dプラットフォーム


 
  最新8インチMEMSライン(TKB812)
 2010年度に実施されたGデバイス@BEANSプロジェクトにおいて、NMEMS拠点の中核的な設備となる最新8インチMEMSライン(TKB812)の整備が進められ、その後も順次装置の増強が行われています。なお、これ以外にも産総研集積マイクロシステムセンターが有する装置群の利活用もできます。

 
「最先端8インチMEMSライン(TKB812B)の構築 2010.12」(PDF)
「最先端8インチMEMSライン(TKB812F)の構築 2010.12」(PDF)
「センサネットクリーンルームと8インチMEMSラインの構築 2010.11」(PDF)

   
つくば最先端製造ラインTKB 812-B/F
 (所在地)
   茨城県つくば市並木1-2-1 産業技術総合研究所つくば東
   集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)内


 (最新の8インチMEMSラインの装置例)
  最先端8インチMEMSライン(TKB812)の装置例
 


  
  産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)
 NMEMS拠点においては、産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)が研究設備、研究者などの研究リソースの主体となります。さらに、必要に応じて国内大学、海外研究機関などの結集も図っていきます。

 
 集積マイクロシステム研究センターでは、低炭素・安心安全社会の実現を目指し、微細加工を利用したマイクロ電子機械システム(MEMS)の製造技術とその応用に関する研究を行っています。また、異分野融合型次世代デバイス (BEANS)製造技術開発プロジェクト、Gデバイス@BEANS、最先端研究開発支援プログラム 「マイクロシステム融合研究開発」 などの国/NEDOプロジェクトも推進しています。  
  AIST集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME) HP



  
  国プロジェクトの推進と知の集積

 現在NMEMS拠点においては、次のような先端技術に挑戦する国プロジェクト(大規模な産学連携の研究開発プロジェクト)が進行中です。

  
グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト 2011-2014年
異分野融合次世代デバイス(BEANS)技術開発プロジェクト2008-2012年
Gデバイス@BEANSプロジェクト 2010年
最先端研究開発支援プログラム「マイクロナノ融合研究開発」2009-2013年

 
 これらの国プロジェクトは、参加企業によってその成果の実用化・製品化が進められることは当然ですが、同時にプロジェクトの遂行によって整備された最新設備、得られた研究成果、育成された人材等が「知の集積」となってつくばR&Dプラットフォームに投入され、NMEMS拠点の強化、魅力づくりに大いに役立つことになります。

 
 今後も、MNOIC、産総研などが協力してNMEMS拠点の強化にも資するような国プロジェクトの立ち上げ・推進を支援していくこととしています。

国プロジェクトの推進と知の集積
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