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TIA-NMEMS拠点の整備
NMEMS拠点の概略 NMEMS拠点の背景


 国際競争力を有するアプリケーションオリエンティッドな先端MEMSデバイスの開発を行い、産学連携によるオープンイノベーションの実現を目指し、つくばイノベーションアリーナ(TIA) 事業の一環としてTIA-NMEMS拠点の整備を着実に進めています。

「TIA-NMEMSの構築を目指して 2011.1.11」(PDF)
「最先端8インチMEMSライン(TKB812B)の構築 2010.12」(PDF)
「最先端8インチMEMSライン(TKB812F)の構築 2010.12」(PDF)
「センサネットクリーンルームと8インチMEMSラインの構築 2010.11」(PDF)
「オープンイノベーションセンター(MNOIC)構想について 2010.7」(PDF) 



  TIA-NMEMS拠点の概略

   (NMEMS拠点のアウトライン)
 NMEMS拠点は、産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)を基盤にして構築を進めています。UMEMSMEの研究リソースや最新8インチMEMSラインなどのつくばR&Dプラットフォームを整備するとともに、このプラットフォームを活用してイノベーションを実現する仕組みとしてマイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)を立ち上げました。企業ユーザーは、MNOICをMyラボ、Myファブあるいは産学共同研究の場として利活用することができます。
NMEMS拠点の概略

  (TIA-NMEMS拠点内の最新装置例)
     → 最新8インチMEMSライン(TKB812)
  NMEMS拠点内の装置例

  (TIA-NMEMS拠点所在地)
        茨城県つくば市並木1-2-1 産業技術総合研究所つくば東
        集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)内 


  (問い合わせ)
     事務局(一般財団法人マイクロマシンセンターMEMS協議会)まで。
 


  NMEMS拠点の背景:MEMSの拡がりと国際競争力の強化

(拡がるMEMSデバイスと社会ニーズへの対応)
 MEMS技術の進展とともに、MEMSデバイスは今や産業のマメとして基幹デバイスの地歩を固めつつあります。さらにMEMSを活用するアプリケーションも多様化し、「環境・エネルギー」、「医療・福祉」、「安全・安心」等の分野における将来の重要な社会ニーズに応えうる新しいライフスタイルを創出していくことが期待されています。
実現が期待されるデバイス群 
社会ニーズへの対応

  
(NMEMS拠点の整備・活用へ)
 その一方で、わが国全体として革新的なMEMSデバイスを創出する総合力については、欧米、アジアの海外諸国の状況と比較すると必ずしも十分とは言えない。すなわち、大学や産総研などの基礎研究と産業側の商品化との間にギャップがあること、装置産業的な側面があるにもかかわらず、産学ともにリスクを取って大規模投資を実行し最新設備を保持する余裕が少ないこと等の問題点が指摘されています。このため、このような状況を打開して、当該分野におけるオープンイノベーションの着実な実現を図るべく、TIA-NMEMS拠点の整備を進め、わが国のMEMS産業の国際競争力を強化することが急がれます。

基礎研究と商品化のギャップ⇒NMEMS拠点の整備・活用へ
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